1. TITOLO DELLA INFRASTRUTTURA DI RICERCA (titolo esteso e acronimo)

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1 Page 1 of 11 Scheda per la segnalazione di Infrastrutture di Ricerca (IR) per la Roadmap Italiana 1. TITOLO DELLA INFRASTRUTTURA DI RICERCA (titolo esteso e acronimo) TITOLO ESTESO ACRONIMO Foundry for prototyping of integrated photonics components and subsystems. FOCS 1.1 PROPONENTE (Ente di Ricerca, Consorzio Universitario, Associazione di scopo pubblico/privato) CNIT Consorzio Nazionale Interuniversitario per le Telecomunicazioni 1.2 IDENTIFICAZIONE DEL BACI DI UTENZA (Campo di attivita, dimensione e carattere dell utenza prevalente nazionale/internazionale)il campo di attività è costituito dalla Fotonica Applicata per ICT. La componentistica fotonica integrata, in combinazione con l elettronica, costituirà l asse portante dell ICT per applicazioni ad alta velocità nell Internet di nuova generazione, L utenza di FOCS è costituita dai soggetti di ricerca pubblica (Università, CNR, Consorzi) e dalle industrie del settore operanti nella sistemistica per ICT, sia nazionali che estere, che necessitano della capacità di traduzione integrata delle soluzioni sistemistiche dimostrate con test-beds a componentistica discreta. Una tale Foundry for prototyping verrà ad avere necessariamente un bacino d'utenza internazionale, considerata l assenza di strutture pubbliche con analoghe funzioni a livello europeo, e il fatto che all estero, nei paesi tecnologicamente avanzati, queste capacità risiedono presso poche strutture aziendali. 2. DESCRIZIONE GENERALE (barrare la casella che interessa) Realizzazione di nuova IR mettendo in rete e/o aprendo all'utenza strutture esistenti 3. PROFILO SCIENTIFICO-STRATEGICO 3.1 L IR risponde ad una domanda qualitativamente o quantitativamente nuova di utenza da parte della comunità scientifica/tecnologica/di servizio all industria/di servizio civile? L'IR FOCS risponde alla domanda qualitativamente nuova di utenza da parte della comunità scientifica e tecnologica e di servizio all'industria, consistente nel consentire la progettazione e nel rendere disponibili prototipi di componenti e sottosistemi fotonici

2 Page 2 of 11 integrati per applicazioni nell ICT, in modo da rendere il sistema-paese e il sistema- Europa competitivi con il Giappone e gli Stati Uniti in un campo tecnologico che sarà pervasivo del ventunesimo secolo. Il CNIT propone infatti di creare un infrastruttura che offra come servizio alla comunità scientifica e all industria il progetto e la realizzazione integrata di sottosistemi per l elaborazione ottica dei segnali -sfruttando il know-how già esistente -attingendo ai risultati della ricerca di centri esterni -offrendo un livello di realizzazione prototipale per prodotti di interesse industriale ed accademico 3.2 L IR offre reali prospettive di avanzamento nello sviluppo di nuove metodiche per la produzione di scienza di frontiera di alta qualità? L'IR FOCS propone reali prospettive di sviluppo di nuove metodiche per la produzione di scienza di frontiera nel campo dei materiali per la fotonica e per l'integrazione di funzionalità fotoniche ed elettroniche tramite l'utilizzo di tecnologie di deposizione, crescita e trattamento avanzate comprendenti fasi di lavorazione che impiegano le nanotecnologie. Gli obiettivi realizzativi strategici di FOCS sono: 1. Dispositivi fotonici passivi su silicio/silice per l'elaborazione ottica dei segnali 2. Dispositivi fotonici ibridi InP silicio/silice 3. Crescita di componentistica ottica attiva su substrati di silicio 4. Dispositivi fotonici attivi in InP Come punto di partenza per il raggiungimento degli obiettivi indicati si potranno utilizzare le conoscenze e le infrastrutture attualmente esistenti presso il Consorzio Corecom (consorzio pubblico-privato tra Pirelli Labs e Politecnico di Milano, membro del CNIT), quali le già esistenti capacità di progettazione di dispositivi passivi. Gli obiettivi realizzativi indicati verranno perseguiti nell ambito di quattro aree tecnologiche dell infrastruttura di ricerca così suddivise: - Area tecnologica 1: Tecnologie per lo sviluppo di dispositivi passivi su silicio e silice (obettivo 1) - Area tecnologica 2: Tecnologie per l integrazione ibrida dei componenti / dispositivi e packaging (obiettivo 2) - Area tecnologica 3: Tecnologie per la crescita di componentistica ottica attiva su substrati di silicio - Area tecnologica 4 Tecnologie per lo sviluppo di dispositivi ottici attivi in InP Le tecnologie individuate per le varie aree tecnologiche sono le seguenti:

3 Page 3 of 11 - Area tecnologica 1: Tecnologie di deposizione e trattamento dei materiali (ossidi ed ossinitruri) Ossidi (SiO2) Nitruro di silicio (SiN) Ossinitruro di silicio (SiON) BPTEOS annealing Tecnologie di litografia e attacco Nanolitografia con utilizzo di E-beam Fotolitografia con utilizzo di mask aligner Tecnologie di dry-etching Tecnologie per controllo dimensionale e metrologia ottica in linea Miscroscopia elettronica a scansione Metrologia dell indice di rifrazione - Area tecnologica 2: Tecnologie per pigtailing e packaging Tecnologie di allineamento e posizionamento (pick and place) Soldering dei componenti Laser welding dei componenti Tecnologie di die attach e wafer bonding Flip chip bonder Wafer bonder Wire bonder Tecnologie per wafer cut e die polishing Wafer cut Polisher - Area tecnologica 3: Tecnologie di crescita epitassiale di strati di materiale semiconduttore su substrati di silicio MBE Tecnologie di caratterizzazione degli strati cristallini cresciuti quali: AFM SEM / TEM MS

4 Page 4 of 11 Area tecnologica 4: Tecnologie di crescita di strati di materiale semiconduttore su substrati di InP MOCVD Tecnologie di caratterizzazione degli strati cristallini cresciuti Integrazione di quanto previsto per l area tecnologica Qual è il grado di rilevanza della proposta scientifica (Nazionale, Europeo, Globale) Il grado di rilevanza della proposta FOCS è Europeo, ma sicuramente la proposta è in grado di attrarre interesse a livello mondiale nell ambito della ricerca pubblica e di quelle aziende che non dispongono di analoghe strutture proprie. 4. OPPORTUNITÀ NEL PARAMA SCIENTIFICO-STRATEGICO 4.1 L IR risponde a reali specifiche necessità nel settore e su quale scala di sviluppo temporale? L'IR FOCS risponde a reali necessità nel settore della fotonica per la essenziale fase di ricerca sulle tecnologie realizzative e di prototipazione di componenti fotonici integrati per le reti di telecomunicazione del futuro (Next Generation Internet), anche in combinazione con l elettronica. L'assenza di una tale IR rende estremamente oneroso, e spesso impossibile, per il singolo Ente operante nel campo dei sistemi, lo sviluppo e il raggiungimento di obiettivi analoghi. La scala di sviluppo temporale è medio-lunga con i primi obiettivi realizzativi collocabili a 2-4 anni dall'avvio della realizzazione dell IR 4.2 L IR permetterà un significativo progresso scientifico in confronto ad altre esistenti infrastrutture dello stesso tipo e quale grado di unicità avrà a livello Nazionale/Europeo/Globale? Analoghe IR non sono oggi accessibili, o lo sono molto difficilmente e solo per taluni aspetti parziali, in Europa con le modalità di servizio che si pensano per l infrastruttura FOCS. IR simili sono in fase di realizzazione nei Paesi dell'est Asiatico. L'IR FOCS consentirebbe la possibilità di competere a livello globale. 4.3 Lo sviluppo dell IR avrà impatto e importanza per stimolare altre esistenti o future installazioni? L'IR FOCS avrà la capacità di inserirsi in una più vasta rete a livello Europeo, già in fase di elaborazione teorica nell'ambito della Piattaforma Tecnologica Photonics21 e darà la possibilità agli operatori del settore di poter sviluppare soluzioni avanzate sia in campo scientifico/tecnologico sia in campo industriale. 4.4 Qual è il livello di collaborazione che ha portato alla formulazione della proposta (nazionale, europeo, globale)? Nazionale 5. PROSPETTIVE DI SVILUPPO TECNICO E TECLOGICO

5 Page 5 of Grado di maturità della proposta (barrare la casella che interessa) Fase A: piano scientifico dettagliato; valutazioni preliminari degli aspetti tecnici, della fattibilità e del funzionamento; stima preliminare dei costi. 5.2 La scala temporale per le fasi di progettazione, costruzione e funzionamento è definita? 5.3 L analisi dei rischi e dei vantaggi è sviluppata? 5.4 Il progetto della IR è basato su contenuti fortemente innovativi sul piano strumentale o metodologico? 5.5 E già disponibile personale addestrato per le fasi di sviluppo e funzionamento della IR? 5.6 In caso di IR localizzata all estero e possibile prevedere un forte contributo in-kind ad alto contenuto scientifico/tecnico e industriale (parti della infrastruttura principale)? (annulla) 5.7 La IR si interfaccerà/integrerà con e-infrastructures internazionali? (ad. es. Geant, grid, banche dati ). 6.VALUTAZIONE DELL UTENZA 6.1 Quale sarà il bacino di utenza della IR a livello nazionale/europeo/globale? globale 6.2 Quantificare l utenza potenziale Vi sono due tipi di utenza della IR proposta. Vi è un utenza di tipo accademico e di ricerca pubblica con l esigenza di utilizzare l infrastruttura per finalità di ricerca avanzata di lungo termine e per finalità formative. Tale utenza sarà messa in grado di sperimentare soluzioni tecnologiche a concezioni sistemistiche innovative e a fornire una formazione di livello internazionale agendo sull aspetto più debole dell attuale offerta, ovvero sulla formazione sperimentale. Vi è un utenza rappresentata dall industria italiana ed europea produttrice della

6 Page 6 of 11 componentistica fotonica che necessita dell IR per attività di R&S avanzate per le proprie esigenze di competitività sui mercati internazionali. Su questo punto maggiori dettagli sono forniti al punto 8.13: Valutazione del ritorno industriale. 6.3 Qual è il grado di coinvolgimento e di internazionalità dell utenza nell elaborazione del progetto (caso scientifico, proposta, caso tecnico)? caso tecnico Spiegazioni/chiarimenti: Il coinvolgimento dell'utenza scientifica, accademica ed industriale, nazionale ed Europea, deve essere elevato e tecnicamente concreto sin dalla fase di proposta al fine di orientare l'ir FOCS verso le effettive esigenze del settore, che sono peraltro già individuate con chiarezza da parte dell utenza nazionale. 6.4 L impiego e l impatto della IR hanno natura multidisciplinare o specifica? multidisciplinare Spiegazioni/chiarimenti: L'impiego e l'impatto dell'ir FOCS hanno carattere multidisciplinare poichè riguardano la scienza dei materiali, la teoria e la fisica dei fenomeni elettromagnetici, la sistemistica fotonica ed opto-elettronica per l ICT. 6.5 Ci si attende un utenza più ampia rispetto a quella di riferimento? Spiegazioni/chiarimenti: L'utenza è destinata a crescere con l'affermarsi della fotonica in campi di applicazione sempre più vasti, e per il modello organizzativo di accesso all IR previsto per FOCS. 6.6 Come sono trattati gli aspetti della formazione di nuovi e giovani utenti? Lo staff permanente di gestione del IR FOCS svolgerà anche una funzione di training verso i nuovi e giovani utenti che si presentino alla fase di progettazione e realizzazione integrata di un sottosistema multifunzione con la fase di concezione di sistema completata e di specificazioni definite. 6.7 La proposta prevede le modalità di open access a tutti i potenziali utenti internazionali sulla sola base della qualità scientifica dei progetti sottomessi? 6.8 Come si valuta (previsione) l impatto che l IR avrà sulla qualità e quantità di progetti nazionali e sulla loro competitività internazionale? L impatto sarà prevedibilmente molto significativo, in quanto la creatività attuale dei ricercatori di sistema si scontra con l impossibilità di dare seguito alle verifiche di integrabilità delle soluzioni ideate. Inoltre ogniqualvolta un test bed o una IR complessa si rende disponibile, l esperienza insegna che ad essa si rivolgono in quantità ricercatori di tutti i paesi per l accesso e l inclusione in progetti europei e internazionali. 6.9 In caso di IR localizzata all estero e previsto un contributo in kind rivolto all utenza scientifica? (strumentazione, stazioni sperimentali, outstations italiane) (annulla) TE

7 Page 7 of 11 La proposta è riferita al completamento e sviluppo delle attrezzature e competenze già disponibili in Italia presso Corecom e Pirelli con un ruolo promotore ed eventualmente gestore di FOCS da parte di CNIT, pertanto si suppone che l IR FOCS sia collocata in Italia. 7. ASPETTI SOCIO-ECOMICI 7.1 La proposta di IR prevede opportunità di addestramento e trasferimento tecnologico verso il territorio? Spiegazioni/commenti: La proposta di IR FOCS prevede la messa a disposizione ad altre unità di ricerca delle tecnologie altrimenti non accessibili per lo sviluppo di nuovi modelli e dispositivi per la realizzazione di funzionalità fotoniche ed opto-elettroniche avanzate e mette a disposizione dell'industria la possibilità di effettuare, direttamente o indirettamente, l attività di ricerca e prototipazione su macchine avanzate in grado di rendere rapida ed economicamente efficiente la successiva fase di industrializzazione 7.2 La proposta prevede partenariati nazionali/internazionali per le diverse fasi di realizzazione e conduzione della IR? Spiegazioni/commenti: Il CNIT come Consorzio di 37 università italiane è in grado di realizzare e condurre la IR FOCS in stretta collaborazione con Corecom e Pirelli Labs, e con l apporto delle strutture e competenze esistenti in Italia in ambito CNR, che fossero disponibili. 7.3 Sono previsti meccanismi di associazione di altri potenziali partner in una fase successiva? Spiegazioni/commenti: La risposta è affermativa in linea di principio, pur non essendo al momento definito un meccanismo applicabile a potenziali partners, anche in ragione della loro tipologia (pubblico, privato) 7.4 La IR individua ulteriori obiettivi di tipo socio-economico? Spiegazioni/commenti: La risposta è positiva se si considera la ricaduta industriale potenziale dei prodotti dell IR, quali ad esempio la disponibilità a basso costo di soluzioni per l abbattimento del Digital Divide e la diffusione della larghissima banda per l accesso a Internet di Seconda generazione. TE:

8 Page 8 of ASPETTI FINANZIARI E TERRITORIALI 8.1 Indicare la valutazione dei costi della IR inclusivi di costruzione, funzionamento e decommissioning. FASE 1 (7,8 M ) Tecnologie di deposizione e trattamento dei materiali (ossidi ed ossinitruri) Tecnologie di litografia e attacco Tecnologie per controllo dimensionale e metrologia ottica in linea FASE 2 (4,2 M ): Tecnologie per pigtailing e packaging Tecnologie di allineamento e posizionamento Tecnologie di die attach e wafer bonding Tecnologie per wafer cut e die polishing FASE 3 (6,8 M ): Tecnologie di crescita e metrologia di cristalli su substrato in silicio FASE 4 (4,5 M ): Tecnologie di crescita e metrologia di cristalli su substrato in fosfuro d indio Costi impiantistici (4,0 M ) Costo totale delle apparecchiature dell infrastruttura FOCS: 27,3 M. Sono previsti staff tecnico e progettista pari a 20 persone per la Fase 1 e 2 da accrescersi a 35 con la realizzazione della Fase 3 e a 50 persone, con la realizzazione della Fase 4. Il costo di funzionamento è stimato in 5M /anno finchè nelle Fasi 1 e 2, e 8,5M /anno Fase 3 e a 12M /anno Fase I costi dichiarati della IR riguardano la configurazione massima oppure un suo sotto-insieme iniziale da incrementare successivamente? (investimento iniziale e successivi costi di sviluppo e completamento) I costi dichiarati riguardano la configurazione massima, articolabile in 4 fasi complete in se stesse, nel senso che ogni fase riguarda una area tecnologica con caratteristiche sue proprie, in grado di produrre una corrispondente tipologia di componentistica. L IR FOCS può quindi essere realizzata per incrementi successivi di operatività. 8.3 La proposta contiene un piano finanziario con copertura realistica delle spese? C è già un piano di supporto finanziario espresso a livello istituzionale? Il piano finanziario è in via di determinazione. A livello istituzionale l infrastruttura indicata risponde a quanto in via di proposizione nell ambito del VII P.Q. dell UE dalla Piattaforma Tecnologica Photonics Quali fasi del progetto sono eventualmente già finanziate e con quale schema di contribuzione in presenza di più partners? Non vi sono attualmente fasi del progetto già finanziate 8.5 La valorizzazione del sito (per es. IR preesistenti) è rilevante ai fini della realizzazione della nuova IR?

9 Page 9 of La dimensione dei costi del progetto merita o necessita di supporto finanziario a livello EU? Se sì, è necessario un approccio Pan-Europeo? Spiegazioni: La natura e la dimensione del progetto meritano supporto finanziario a livello EU nell ambito del VII P.Q. L infrastruttura indicata risponde a quanto in via di proposizione nell ambito del VII P.Q. dell UE dalla Piattaforma Tecnologica Photonics21. Tuttavia, l approccio pan-europeo non è strettamente necessario, considerato il costo complessivo dell ordine dei 27 M per CAPEX, la sua realizzabilità per fasi in sé compiute, e da 5 a 12 M /anno per OPEX, sempre in relazione alle fasi, come detto. 8.7 Esiste la possibilità di un recupero finanziario se la IR va a sostituirne o a migliorarne una già esistente, della stessa tipologia? Spiegazioni: L infrastruttura proposta è di fatto una nuova infrastruttura, sia pure a partire da talune attrezzature esistenti, i conteggi effettuati si riferiscono al costo di sviluppo inftrastrutturale e ai costi operativi ex-novo relativi al personale e al funzionamento. 8.8 È stata esplorata la possibilità di utilizzare Fondi Strutturali? 8.9 È stata valutata la possibilità di proporre la nuova IR per la roadmap ESFRI (impatto pan-europeo)? 8.10 La IR è già prevista nella strategia di un Ente o Consorzio o ATI italiani o internazionali? Se Sì, indicare l'ente o il Consorzio o l'ati: 8.11 È stata esplorata la possibilità di concorso finanziario regionale? 8.12 Valutazione del ritorno socio/economico territoriale della IR In termini di occupazione diretta l iniziativa proposta è in grado di garantire circa 50 posizioni al livello più alto di specializzazione nel campo delle tecnologie per la micro e nano fotonica. Le attrezzature ed i macchinari proposti, in grado di consentire anche una fase di sviluppo e prototipazione ben intergrabile con lo sviluppo pre-industriale, darebbero l opportunità di giungere ai prodotti in tempi brevi e con uno sforzo relativamente contenuto dando, di fatto, la possibilità di rendere competitive idee imprenditoriali

10 Page 10 of 11 altrimenti non realizzabili sul territorio. L iniziativa proposta ha, quindi, il potenziale per alimentare distretti tecnologici fisici e virtuali con promettenti prospettive di competitività a livello internazionale Valutazione del ritorno industriale della IR Si valuta (sorgente: OVUM-RHK) che il mercato mondiale delle interfacce ottiche abbia nel 2010 una dimensione mondiale pari a 3260 M. I produttori europei copriranno circa il 25% del mercato mondiale e che l Italia, in particolare, possa coprirne circa il 5%. Tutto questo conduce ad una previsione di volume pari a M all anno per il mercato diretto di riferimento al quale l infrastruttura proposta intende rivolgersi. La crescita prevista è compresa tra il 10 ed il 15% annuo negli anni successivi. Il mercato citato è relativo alle sole interfacce ottiche. A tale ritorno industriale bisogna aggiungere quello ottenibile dall industria nazionale ed europea delle apparecchiature elettroniche per telecomunicazioni, che si avvantaggeranno dalla disponibilità dei dispositivi oggetto dell attività di ricerca. L infrastruttura di ricerca proposta darebbe la possibilità di tutela e sviluppo dell industria nazionale in uno dei pochi settori ad alta tecnologia ancora presenti nel Paese Valutazione dell impatto formativo di ricercatori/tecnici/ingegneri/gestionali della IR La struttura darà la concreta possibilità di supportare anche corsi di laurea specialistici con un livello di formazione su tecnologie ed attrezzature di altissimo livello difficilmente oggi disponibili nell ambiente universitario nazionale La proposta prevede la partecipazione a IR localizzate all estero? Sono stati valutati i possibili contributi in-kind, il ritorno industriale, scientifico e formativo? Questi aspetti non sono ancora stati valutati. Tabella Costi Costi Strategia di finanziamento Costo Fase Preparatoria ,00 Frazione già spesa o impegnata: 0,00 Costo Fase di Costruzione ,00 Allo stadio attuale di maturazione, la strategia di finanziamento non risulta ancora definita Costo Operatività Annua (incluso supporto utenti) Costo Chiusura e Smantellamento ,00 Allo stadio attuale di maturazione, la strategia di finanziamento non risulta ancora definita ,00 Allo stadio attuale di maturazione, la strategia di finanziamento non risulta ancora definita 9. Scala temporale prevista per la progettazione e la costruzione, inizio

11 Page 11 of 11 attività con utenti, periodo di operatività e chiusura/smantellamento Fase Preparatorio Nella prima fase la tempistica prevede la definizione specifica delle competenze da coinvolgere e/o reclutare insieme alla verifica delle tecnologie presenti e del loro stato di utilizzo. Allo stesso tempo verranno valutate quelle da acquisire, la loro reperibilità sul mercato, il loro costo nel momento prossimo all acquisto, le condizioni e le competenze necessarie all istallazione, alla manutenzione ed al corretto funzionamento. Si prevede che in questa fase sarà necessario un numero di persone approssimativamente pari a quindici. Fase di Costruzione La costruzione prevede l impiego approssimativo dello stesso numero di persone relativo alla fase preparatoria. Dal punto di vista della tempistica vengono stimati due anni per la realizzazione delle infrastrutture e la messa in opera dei principali impianti relativi alle tecnologie individuate. Periodo di Attività L'attivita è prevista per un lasso temporale di almeno dieci anni Smantellamento Lo smantellamento richiederà 6 mesi TE: La fase di Costruzione è comprensiva dell avvio dell infrastruttura 10. Indicare la persona di riferimento del progetto e sue coordinate Cognome PRATI Nome GIANCARLO Ente di appartenenza Scuola Sup. di Studi Univ. e Perfezionamento S.Anna di PISA giancarlo.prati@cnit.it Telefono

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