Informazione. Slit Valve Serie XGT. Bassa generazione di particelle. Con meccanismo di bloccaggio finale. Vita utile: due milioni di cicli.

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1 Informazione Slit Valve Serie XGT SMC Corporation -- Shimbashi, Minato-ku, Tokyo 0-89, Japan URL: 00 SMC Corporation Tutti i diritti riservati. 0-EU-IT Pubblicato: giugno, 00 D-KS P-0(KS) Per wafer di 00 mm Bassa generazione di particelle Movimento a L Con meccanismo di bloccaggio finale Possibilità di mantenere la saracinesca aperta/chiusa durante la fermata di emergenza. Vita utile: due milioni di cicli. Conforme ai test di durata di SMC. Per wafer di 00 mm Questo prodotto è idoneo per valvole di separazione situate tra la camera di bloccaggio del carico e la camera di trasferimento o tra la camera di trasferimento e la camera di processo in impianti per semiconduttori o altro tipo di impianti. Camera Valvola a slitta

2 Serie XGT Struttura movimento a L La costruzione della saracinesca si realizza mediante un'operazione a due stadi che consiste in un movimento diretto verso l'alto e verso il basso e un'operazione di presa per fissare la saracinesca. Saracinesca aperta Saracinesca bloccata Saracinesca fissata (sigillata) Struttura di protezione a soffietto L'introduzione di un raschiastelo diminuisce l'infiltrazione di corpi estranei causata da danni al wafer o ad altre sorgenti. Raschiastelo Dettaglio

3 !!!! Slit Valve Serie XGT Codici di ordinazione XGT C Slit Valve per vuoto elevato Sensore e connettore (consultare la tabella sottostante) Simbolo Numero di assi Soffietti a due assi Soffietti a un asse Dimensioni valvola Misura wafer applicabile 00 mm 00 mm Materiale o ring saracinesca Simbolo Materiale F Misure finestra di apertura Simbolo Nota) Altezza x larghezza (mm) x x x Misura wafer applicabile 00 mm 00 mm Nota) Il modello Half MESK a cassetta e il modello Full MESK a cassetta non sono impostati. Altezza Larghezza Tipo di valvola Simbolo Half MESK Full MESK Tipo di valvola Misura wafer applicabile 00 mm 00 mm Per wafer di 00 mm Per wafer di 00 mm Sensore e connettore Simbolo Sensore Connettore - Assente A Cavi: 0. m (senza connettore) C F D-A9 (Con pz. per apertura e chiusura) Con connettore multiplo Nota ) (T0 000: fabbricato da AMP) Con connettore D-sub Nota ) (CDE-9PF0: fabbricato da HIROSE ELECTRIC CO., LTD.) Per wafer di 00 mm Per wafer di 00 mm Nota ) Si raccomanda l'uso di T000 fabbricato da AMP per il connettore (tipo femmina). Nota ) Si raccomanda l'uso di CDE-9SF0 fabbricato da HIROSE ELECTRIC CO., LTD. per il connettore (tipo femmina).

4 Serie XGT Caratteristiche Misura wafer mm Misura finestra di apertura (altezza x larghezza) mm Numeri di assi Pressione ambiente d'esercizio Nota ) Pa (abs) Differenziale pressione di esercizio kpa Campo pressione d'esercizio MPa (G) Perdita interna Nota ) Pa m /s Perdita interna Nota ) Pa m /s in contropressione [Contropressione: max. 0. MPa (abs)] Perdita esterna Nota ) Pa m /s Temperatura di esercizio Nota ) C Fluido Tempo d'esercizio Nota ) s Materiale principale del componente per il vuoto Modello O ring: O ring: F O ring: O ring: F Saracinesca Attuatore Materiale di tenuta Soffietto Saracinesca Corpo Coperchio Altro XGT - XGT - XGT x x x Pressione atmosferica a 0 max x 0 0. x 0 9. x 0 8. x 0 7. x 0 0 Gas inerti 0., F (su richiesta) AM A0 A Direzione di scarico Direzione di montaggio Universale Verticale Misura attacco M Rc /8 Meccanismo di bloccaggio finale Con meccanismo di bloccaggio in posizione di apertura/chiusura Nota ) Volume del cilindro l Tipo senza cassetta 8 Tipo a cassetta: standard 0 Peso kg Tipo a cassetta: Half MESK 0 Tipo a cassetta: Full MESK Nota ) Pressione assoluta Nota ) Valore a temperatura normale: permeazione di gas non compresa. Nota ) Se la temperatura della saracinesca supera i 0 C, la temperatura di esercizio dell'attuatore potrebbe oltrepassare i limiti del campo. In questo caso, raffreddare l'attuatore. Nota ) Mostra il tempo che impiega la valvola di commutazione per attivarsi e provocare l'apertura e la chiusura della saracinesca. Nota ) La funzione di mantenimento della tenuta non è garantita quando la saracinesca è in posizione di blocco. Caratteristiche dei sensori Tipo di sensore Carico applicabile D-A9 Relè, PLC Tensione di carico Campo corrente di carico e max. corrente di carico V cc 0 ma 00 V ca 0 ma Circuito di protezione contatti Caduta interna di tensione Indicatore ottico Assente max.. V (a 0 ma)/max. V (0 ma) Il diodo luminoso rosso (LED) si accende quando è in posizione ON. Caratteristiche connettore D-sub Descrizione Polo (tipo maschio) Lato contatore Divisione di contatto Connettore (tipo femmina) Connettore D-sub Mis. alloggiamento E Poli 9 Preparare il contatto a connettore (tipo femmina) perché il corpo della valvola a slitta è un contatto a polo (tipo maschio). Utilizzare il prodotto dopo aver letto attentamente il manuale. A Acciaio inox 0 Grafico del cablaggio del connettore C: connettore multiplo (P) F: connettore D-sub (9P) N. componente terminale N. componente terminale Colore cavo Blu Marrone Marrone Blu Colore cavo Marrone Marrone Blu Blu Sensore APERTO ( ) APERTO (+) CHIUSO (+) CHIUSO ( ) Sensore APERTO (+) CHIUSO (+) APERTO ( ) CHIUSO ( )

5 Slit Valve Serie XGT Costruzione w i u q t! r y!0! e o XGT Per wafer di 00 mm XGT Per wafer di 00 mm Componenti XGT (tipo di wafer di 00 mm) N. Descrizione Saracinesca O ring (saracinesca) Raschiastelo O ring (lato di apertura corpo) O ring (assieme coperchio) Vite di fissaggio Materiale A0 F F Acciaio inox 0 Codice XGT00--S XGT00--S XGT00-9-S XGT00-9-S XGT00-9-7S XGT00-9-9S XGT00--9S XGT00-9-S XGT00-9-S XGT00--S Modello corrispondente XGT -- XGT -- XGT -- XGT -- XGT - - XGT - - XGT - - XGT (tipo di wafer di 00 mm) N Descrizione Saracinesca O ring (saracinesca) Raschiastelo O ring (lato di apertura corpo) O ring (assieme coperchio) Vite di fissaggio Materiale A0 F Acciaio inox Codice XGT00--S XGT00-9-9S XGT00-9-S XGT00--9S XGT00-9-0S XGT00-9-7S XGT00--S Modello corrispondente XGT -- XGT -- XGT --

6 Serie XGT Dimensioni standard/xgt A /XGT C Misura di apertura A Misura di apertura B B D Half MESK/XGT 0 0 A B 9 8 Lato sede valvola (comuni XGT, e ) Full MESK/XGT 0 8 (mm) Modello XGT- XGT- XGT- XGT- XGT- XGT- Tipo di valvola standard Half MESK Full MESK A B C 9 D 9 9

7 Slit Valve Serie XGT Dimensioni standard/xgt Lato sede valvola (comuni XGT, e ) Half MESK/XGT /XGT Misura di apertura Misura di apertura 9 7

8 SerieXGT Esecuzioni speciali Contattare SMC per ulteriori dettagli. Order Made Made to Order Componenti anodizzati I componenti che entrano in contatto con gas (acido ossalico, lega d'alluminio, acciaio inox, ecc.) sono stati modificati. Tipo per alte temperature ( C) O ring, guida, e simili, che fanno parte dell'attuatore sono stati modificati per essere più termoresistenti. Soffietti sostituibili Il cliente ha la possibilità di sostituire i soffietti. Funzione di mantenimento della tenuta (quando la pressione di esercizio si arresta) La tenuta è mantenuta quando si arresta la pressione di esercizio. SMC CORPORATION (Europe) Austria office@smc.at Belgium + (0) post@smcpneumatics.be Bulgaria office@smc.bg Croatia office@smc.hr Czech Republic office@smc.cz Denmark smc@smc-pneumatik.dk Estonia +7 (0)90 smc@smcpneumatics.ee Finland smcfi@smc.fi France + (0) contact@smc-france.fr Germany +9 (0)000 info@smc-pneumatik.de Greece +0 (0)07 parianos@hol.gr Hungary office@smc.hu Ireland + (0) sales@smcpneumatics.ie Italy +9 (0)97 mailbox@smcitalia.it Latvia +7 (0) info@smclv.lv Lithuania Netherlands + (0) info@smcpneumatics.nl Norway post@smc-norge.no Poland office@smc.pl Portugal postpt@smc.smces.es Romania smcromania@smcromania.ro Russia marketing@smc-pneumatik.ru Slovakia office@smc.sk Slovenia office@smc.si Spain post@smc.smces.es Sweden + (0) post@smcpneumatics.se Switzerland + (0)9 info@smc.ch Turkey +90 (0) smc-entek@entek.com.tr UK + (0) sales@smcpneumatics.co.uk European Marketing Centre SMC CORPORATION SMC CORPORATION Akihabara UDX F, --, Sotokanda, Chiyoda-ku, Tokyo 0-00, JAPAN Phone: FAX: st printing KV printing KV 0 UK Stampato in Spagna I prodotti possono essere soggetti a modifiche tecniche senza preavviso.