Memorie a semiconduttore e tecnologia
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- Fabriciano Rizzi
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1 Memorie a semiconduttore e tecnologia Memorie a semiconduttore e tecnologia Architettura di una memoria Memorie non volatili Memorie a scrittura e lettura Tecnologia dei semiconduttori Processi di base Politecnico di Torino 1
2 Prerequisiti per la lezione Processi tecnologici di base 3 Prerequisiti per la lezione Processi tecnologici di base Struttura costitutiva nmosfet Politecnico di Torino 2
3 Prerequisiti per la lezione Processi tecnologici di base Struttura costitutiva nmosfet Struttura costitutiva pmosfet 5 Prerequisiti per la lezione Processi tecnologici di base Struttura costitutiva nmosfet Struttura costitutiva pmosfet Strutture a MOS complementari Politecnico di Torino 3
4 Prerequisiti per la lezione Processi tecnologici di base Struttura costitutiva nmosfet Struttura costitutiva pmosfet Strutture a MOS complementari Struttura costitutiva BJT 7 Obiettivi della lezione Sequenza delle fasi di fabbricazione di un processo CMOS Politecnico di Torino 4
5 Obiettivi della lezione Sequenza delle fasi di fabbricazione di un processo CMOS Analisi delle maschere utilizzate e delle sezioni produttive coinvolte nei singoli passi 9 Obiettivi della lezione Sequenza delle fasi di fabbricazione di un processo CMOS Analisi delle maschere utilizzate e delle sezioni produttive coinvolte nei singoli passi Valutazione dell evoluzione dei profili di drogaggio Politecnico di Torino 5
6 Obiettivi della lezione Sequenza delle fasi di fabbricazione di un processo CMOS Analisi delle maschere utilizzate e delle sezioni produttive coinvolte nei singoli passi Valutazione dell evoluzione dei profili di drogaggio Sequenza delle fasi di fabbricazione di in processo bipolare 11 Riferimenti bibliografici per la lezione Dispositivi a semiconduttore di Simon Sze BSH Hoepli, 1991 capitoli 8, 9, 10, 11 Dispositivi per la microelettronica di Giovanni Ghione McGraw-Hill, 1998 capitolo Politecnico di Torino 6
7 nmos e pmos: struttura e tecnologia BJT: processo bipolare Politecnico di Torino 7
8 Definizione di n-well 15 Definizione di n-well Politecnico di Torino 8
9 Definizione di n-well 17 Definizione di n-well Politecnico di Torino 9
10 Definizione di n-well 19 Definizione di p-well Politecnico di Torino 10
11 Definizione di p-well 21 Definizione di p-well Politecnico di Torino 11
12 Definizione di n/p-well 23 Evoluzione drogaggio n-well Politecnico di Torino 12
13 Evoluzione drogaggio p-well 25 Definizione aree attive Politecnico di Torino 13
14 Definizione aree attive 27 Definizione aree attive Politecnico di Torino 14
15 Definizione aree attive 29 Channel stop Politecnico di Torino 15
16 Channel stop 31 Profili zone non attive n-well Politecnico di Torino 16
17 Profili zone non attive p-well 33 Definizione aree attive Politecnico di Torino 17
18 Aree attive tipo n 35 Aree attive tipo p Politecnico di Torino 18
19 Definizione gate 37 Profili zone non attive n-well Politecnico di Torino 19
20 Profili zone non attive p-well 39 Definizione gate Politecnico di Torino 20
21 Definizione gate 41 Definizione gate Politecnico di Torino 21
22 Definizione S/D nmos 43 Definizione S/D pmos Politecnico di Torino 22
23 Definizione S/D 45 Definizione contatti Politecnico di Torino 23
24 Definizione contatti 47 Definizione contatti Politecnico di Torino 24
25 Definizione metal1 49 Definizione metal Politecnico di Torino 25
26 Definizione metal1 51 Dielettrico M1-M Politecnico di Torino 26
27 Definizione metal2 53 Definizione metal Politecnico di Torino 27
28 Definizione metal2 55 Definizione via Politecnico di Torino 28
29 Definizione metal2 57 Processo CMOS Politecnico di Torino 29
30 Definizione metal2 59 Processo CMOS Politecnico di Torino 30
31 nmos e pmos: struttura e tecnologia BJT: processo bipolare Politecnico di Torino 31
32 Processo BJT 63 Definizione strato sepolto Politecnico di Torino 32
33 Crescita strato epitassiale 65 Definizione ossido di isolamento Politecnico di Torino 33
34 Definizione trincee di ossido 67 Channel stop Politecnico di Torino 34
35 Realizzazione ossido di campo 69 Realizzazione regione di base Politecnico di Torino 35
36 Rimozione ossido 71 Definizione emettitore Politecnico di Torino 36
37 Definizione contatti 73 Realizzazione connessioni Politecnico di Torino 37
38 Realizzazione connessioni 75 Realizzazione connessioni Politecnico di Torino 38
39 Processo BJT 77 Sommario della lezione nmos e pmos: struttura e tecnologia BJT: processo bipolare Politecnico di Torino 39
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