CAPITOLO 2. ( ) 10 8 cm 2. μm Basandosi sulla Tabella 2.1, una resistività di 2.6 μω-cm < 1 mω-cm, quindi l alluminio è un conduttore.

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Paolo Vitali
6 anni fa
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1 CPITOLO. Basados sulla Tabella., ua resstvtà d.6 μω- < mω-, qud l allumo è u coduttore.. Basados sulla Tabella., ua resstvtà d 0 5 Ω- > 0 5 Ω-, qud l dossdo d slco è u solate.. I max 0 7 ( 5μm)μm.4 ( ) 0 8 E G BT ex x T μm 500 m Per l slco, B.08 x 0 e E G. ev:.0 x0-0 / 6.7 x0 9 / 8.6 x 0 /. Per l germao, B. x 0 0 e E G 0.66 ev:.5 S defsce u M-Fle: 5.9/.7 x0 / 8.04 x 0 5 /. fucto ftem(t) E4; f^-.08e*t^*ex(-./(8.6e-5*t)); 0 4 / er T 506 K 0 6 / er T 79 K

2 .6 v μ E 700 V s 500 V.75x0 6 s v +μ E +50 V s 500 V +6.5x0 5 s j qv (.60x0 9 C)0 7.75x0 6.80x0 4 s j qv (.60x0 9 C)0 6.5x0 5.00x0 0 s.7 v j Q 000 / 0.0C / 0 5 s.8 C j Qv 0.4 sec x0 4 M

3 .9 V 0x0 5 V V () a E 5000 () b V 0 ( 0x0 ) 00 V.0 Per l slco trseco, σ q μ σ 000 q ( Ω ) ( μ + μ ) σ.7x0 6 B.08x0 9 K x0 C BT ( + μ ) q ( μ + μ ) er u coduttore 6 ( Ω ) ( ) EG ex co kt, k 8.6x0-5 v sec ev/k e E G 4.6x0.eV Questa è u equazoe trascedetale e deve essere rsolta er terazoe. Utlzzado le route HP oure u foglo d calcolo s ottee T 70 K. S ot che questa temeratura è molto suerore alla temeratura d fusoe del slco. 9

4 . Per l slco trseco, σ q μ σ 0 q 5 ( Ω ) ( μ + μ ) σ 5.5x0 6 B.08x0 0 K ( + μ ) q ( μ + μ ) ( Ω ) 9 (.60x0 C)( ) BT er u solate 6 0 EG ex co kt, k 8.6x0 5-5 ev/k e E.70x0 v sec G.eV Utlzzado MTLB come el roblema.5 s ottee T 6.6 K.. 0 S S S oor electro flls accetor vacacy P B S S S S o c soo elettro o lacue lbere (ad eccezoe d quelle corrsodet a ).. (a) Il gallo è ella coloa e l slco ella coloa 4. uque l slco ha u elettroe ù e uò qud agre da doatore. (b) L arseco è ella coloa 5 e l slco ella coloa 4. Qud l slco ha u elettroe meo e duque agsce da accettore..4 j E jρ 0000 σ.5 V ( 0.0Ω ) 00, u ccolo camo elettrco.

5 j drft qμ E qv (.60 x0 9 )0 6 ( ) C s.6 > : Se assumamo Utlzzado e. 77x0.7 > 0 7 :.8 > : x0 7 9x0 0 l'eq.. : >> / 4 9x / / 50 9x0 : x0 4 ( 9x0 ) + 4( 5x0 ) 4 9x0 ± 9. 0x0 /. Le rsoste soo sostazalmete detche. 4x0 / 5x0 4 / ( 0 ) + 4( 0 ) ± x0 ; 7 x x x x0 x0 6 7 Utlzzado l' Eq. (.) 6. x0 / x0 7 / / 6 7 >> / x x0 / /.9 (a) Sccome l boro è u accettore, 6 x 0 8 /. S assuma 0, sccome o dversamete secfcato. Il materale è d to. 0 8 temeratura ambete, 0 / e 6x0 / >> / Così 6x0 / e 6.7/ 8 6x0 / (b) K, 08. x0 ( 00) ex 5. 8x0 / x0 ( 00) x x0 / >>, so 6x0 / ed 8.80x0 / 8 6x0 / 4

6 .0 (a) Sccome l arseco è u doatore e l boro u accettore x 0 8 /, e 8 x 0 8 /. ato che >, l materale è d to. (b) temeratura ambere, Così 6x0 8 / e 0 0 / e 6x / 6. 7/ 8 6x0 / 8 / >>. 4 x 0 6 /. S assuma 0, sccome o dversamete secfcato. 4x0 > + ρ qμ / 4x0 6 0 to 4x0 / >> x0 / 0 0.5x0 / 6 4x0 / Utlzzado la Fg.., μ 00 e μ 0 V s V s 0.5 Ω 6 4x0 00 V s :l materale è d (.60x0 C)

7 . 0 8 /. S assuma 0, sccome o dversamete secfcato. > :l materale è d to / >> x0 / / 00 / / Utlzzado la Fg.., μ 75 e μ 00 V s V s ρ Ω 8 qμ x0 C 00 V s 0. L do è ella coloa ed è u accettore. 7 x 0 9 /. S assuma 0, sccome o dversamete secfcato. > :l materale è d to x0 / 4. / 9 7x x0 / Utlzzado la Fg.., μ 0 e μ 60 V s V s ρ.49 mω 9 qμ 9 7x0.60x0 C 60 V s.4 Il fosforo è u doatore : 0 > 6 + / ρ qμ :l materale è d 0 /.60x x0 to / 0 C 800 V s 4 6 / 8 7x0 0 9 / 0.78Ω / 0 >> x0 Il boro è u accettore : 0 >> x0 / 4.5x0 / Utlzzado la Fg.., μ 800 e μ 0 V s V s /

8 .5 ρ qμ μ (.60x0 9 C)0.054Ω ( ).6x0 0 V s E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ x 0 0. x x 0 0. x x 0 0. x x ρ qμ μ (.60x0 9 C)0.75Ω ( ) 8.x0 8 V s E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ x 0 8 x x 0 8 x x x x Basados su valor d resstvtà, l materale è u solate. I og caso o è trseco, quato cotee delle murtà. L agguta d murtà ha determato u aumeto della resstvtà..8 ρ qμ μ μ (.60x0 9 C)Ω ( ).x0 8 V s E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ x 0 8 x x 0 8

9 .5 x x 0 8. x x 0 8

10 .9 (a) ρ ( ) 6.4x0 V s qμ μ μ (.60x0 9 C)0.00Ω E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ x 0 7 x x x x 0 (b) ρ qμ μ μ (.60x0 9 C)0.00Ω ( ) 6.4x0 V s E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ. x x 0.0 S, aggugedo la stessa quattà d murtà sa d to doator che accettore la mobltà s rduce, ma la cocetrazoe degl elettro e delle lacue rmae varata. S facca rfermeto al roblema.7 er u esemo. I og caso è fscamete mossble aggugere la stessa quattà d etrambe le murtà.. (a) Per l materale co resstvtà zale d ohm-: ρ qμ μ μ (.60x0 9 C)Ω ( ) 6.5x0 8 V s E rchesta ua soluzoe er ass successv. Utlzzado le equazo Fg..8: μ μ x x x x x 0 9

11 Per modfcare la resstvtà ad u valore ar a 0.5 ohm-: ρ qμ μ μ (.60x0 9 C)0.5Ω ( ).5x0 9 V s μ μ 6 x x x 0 6. x 0 9. x x 0 9 Cocetrazoe degl accettor aggutv.x x x 0 6 / (b) Se s aggugoo de doator: + μ - μ x x x 0 5. x 0 8 x 0 7. x x x x x x x x x x 0 6. x 0 9 Così u valore d 4. x 0 6 / deve essere agguto er otteere ua resstvtà d 0.5 ohm-. Il slco è stato covertto u materale d to.. Il fosforo è u doatore: 0 6 / e μ 50 /V-s dalla Fg..8. σ qμ qμ (.60 x0 9 C)50 ( )0 ( 6 ).00 Ω questo uto aggugamo accettor fo a che σ 5.0 (Ω-) - : ( ) σ qμ μ μ ( ) 5 Ω.60x0 9 C.x09 V s + μ - μ x 0 7. x x 0 6. x 0 9 x 0 7. x x 0 7. x x x x 0 6. x 0 9

12 . V T kt q.8 x0 T.60 x x0 5 T T (K) V T (mv) j q d d qv T μ dx dx j (.60x0 9 C)0.05V ( ) k 4.0 V s d j q dx (.60x0 9 C)5 s j.0x0 5 ex 5000 x I() 0 j() 0.0x0 5 0μm ( ) / x ex x0 4 x0 4 μm.0 m

13 .6 d j qμ E q dx qμ E V T d E V T dx ex 0 4 x d 0 E V T dx ( ) ( ) ex 0 4 x E() V 8 0 E( ex( 5) 5x0 4 ) ex 5 ( ) 46 V.7 drft j qμ E (.60x0 9 C)50 06 V s 0 V. drft j qμ E (.60x0 9 C)50.0x08 V s 0 V 484 dff d j q dx (.60x0 9 C) s x0 4 4 dff d j q dx (.60x0 9 C) x s x0 4 4 j T d dx.8 E C E E E V Holes.9 λ hc ( E 6.66x0 4 J s)x0 8 m / s.08 μm (.ev).60x0 9 J / ev ( ) ( )

14 .40 l - ode l - Cathode S0 -tye slco -tye slco.4 U rocesso d matazoe d o d to uò essere utlzzato er otteere la regoe + subto doo l asso (f) Fg..7. eve essere utlzzata ua maschera er corre le aerture ella regoe e lascare le aerture sora la regoe. La maschera er l mato otrebbe essere l fotoresst. Mask Io mlatato Photoresst -tye slco S0 + -tye slco -tye slco -tye slco Structure after exosure ad develomet of hotoresst layer Structure followg o mlatato of -tye murty Mask for o mlatato Sde vew To Vew

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