Lampade per microlitografia per sistemi i-line Nikon

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3 Dati tecnici Dati elettrici Dimensioni e peso Durata Tensione nominale Corrente nominale Tipo di corrente Diametro Lunghez za per il montag gio HBO 1002 W/NIL 1) 27,1 V 25,8 A 29,0 mm 168,0 mm HBO 2000 W/NIL 26,0 V 67,0 A 55,0 mm 219,0 mm Lungh con attacco,senza spinotti/conness Altezza centro luminoso (LCL) HBO 2001 W/NIEL 26,0 V 67,0 A DC 55,0 mm 229,00 mm 112,0 mm Distanza fra gli elettrodi a freddo Durata 1500 h 1500 h 4,5 mm 2500 h HBO 2001 W/NIL 2) 26,0 V 67,0 A 52,0 mm 2200 h HBO 2002 W/NIL 26,0 V 67,0 A DC 999,0 mm 2250 h HBO 2011 W/NIL 23,5 V 85,0 A DC 55,0 mm 234,00 mm 107,75 mm 4,5 mm 2250 h HBO 2011 W/NILH 3) 24,0 V 0,083 A 55,0 mm 1500 h HBO 2501 W/NIL 23,0 V 109 A 70,0 mm 1500 h HBO 2510 W/NIL 23,0 V 109 A DC 70,0 mm 325,00 mm 157,75 mm 4,5 mm 2250 h HBO 3500 W/NIL 3) 27,0 V 130 A DC 82,0 mm 335,00 mm 180,0 mm 5,5 mm 2250 h HBO 1000 W/NEL 4) 47,0 V 16,0 A 28,0 mm 2500 h HBO 1002 W/NEL 4) 47,0 V 16,0 A 28,0 mm 2500 h HBO 7500 W/NILH 3) 35,5 V 205 A DC 110,0 mm 445,00 mm 205,0 mm 7,5 mm 1500 h Caratteristiche Dati di prodotto aggiuntivi Posizione di funzionamento Raffreddamento Attacco anodo Attacco catodo HBO 1002 W/NIL 1) Verticale 5) HBO 2000 W/NIL Verticale 6) Lampade per microlitografia per sistemi i-line Nikon Pagina 3 di 5

4 Caratteristiche Dati di prodotto aggiuntivi Posizione di funzionamento Raffreddamento Attacco anodo Attacco catodo HBO 2001 W/NIEL Verticale 5) Forzato 9) SFc27-10/35 SFc27-7/35 8) HBO 2001 W/NIL 2) Verticale 5) HBO 2002 W/NIL Verticale 6) HBO 2011 W/NIL Verticale 6) Forzato 9) SFc27-7/35 8) SFc27-12x1.5/35 HBO 2011 W/NILH 3) Verticale 6) HBO 2501 W/NIL Verticale 5) HBO 2510 W/NIL Verticale 6) Forzato 9) SFc /50 8) SFc /50 HBO 3500 W/NIL 3) Verticale 6) Forzato 9) SFc /50 10) SFa /50 8) HBO 1000 W/NEL 4) Verticale 5) HBO 1002 W/NEL 4) Verticale 5) HBO 7500 W/NILH 3) Verticale 6) Forzato 9) SFaX46-15/72 8) SFaX85-16/70 1) Lampada adatta a funzionamento pulsato tra W 2) Disponibile anche come versione Super Longlife con durata di 2250 ore: HBO 2001 W/NIEL ( ) 3) La lampada contiene elementi in sovrapressione anche quando è fredda. Rispettare le istruzioni aggiuntive di sicurezza fornite insieme alle lampade. Leggere con attenzione il bollettino tecnico DO-SEM TB 004 4) Lampada adatta a funzionamento pulsato tra W/La potenza massima consentita è 750 W per il funzionamento a potenza costante 5) Anodo in basso 6) Anodo in alto Distanza dall'estremità della base alla punta dell'anodo o del catodo (freddo) 8) Con cavo di connessione (M 8) 9) Temperatura attacco massima consentita: 200 C 10) Con filettatura (M 16) Lampade per microlitografia per sistemi i-line Nikon Pagina 4 di 5

5 Informazione sulla sicurezza A causa della loro elevata luminanza, della radiazione UV e della forte pressione interna (quando sono calde), le lampade HBO possono essere utilizzate solo in involucri chiusi appositamente realizzati. Se la lampada si rompe, ne fuoriesce mercurio. È necessario adottare precauzioni di sicurezza specifiche. Ulteriori informazioni sono disponibili su richiesta o possono essere reperite nel leaflet fornito insieme alla lampada o nelle istruzioni per l'uso. Consigli di applicazione Per informazioni più dettagliate e grafici consultare la scheda tecnica Referenze/links Per maggiori informazioni sulle lampade HBO e le indicaizoni per i fabbricanti di alimentatori, puoi consultare le seguenti pubblicazioni disponibili su richiesta presso OSRAM: Specifications for power supply units for dc operated HBO mercury short-arc lamps Specifications for power supply units for ac operated HBO mercury short-arc lamps Specifications for igniters for HBO mercury short-arc lamps Availability of power supplies and igniters Mercury short arc lamps HBO for microlithography, Technology and Application Clausola Con riserva di modifiche senza preavviso. Salvo errori o omissioni. Assicurarsi sempre di utilizzare la versione più recente. Lampade per microlitografia per sistemi i-line Nikon Pagina 5 di 5