Caratterizzazione superficiale

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1 La società è nata nel 1973, e originariamente si occupava della produzione e progettazione di sistemi di deposizione sotto vuoto. I primi sistemi di deposizione offerti erano destinati al mercato della preparazione dei campioni per microscopia a trasmissione, dove sono richiesti film ultra sottili. In seguito nel 1986 ampliò la sua gamma di prodotti, introducendo sistemi di freeze-etch, applicando a questi prodotti il concetto di modularità. Nel 1991 decise di entrare nel mercato più ampio relativamente ai sistemi di deposizione per la microscopia a scansione (SEM) introducendo la serie desktop 108 sia in versione sputter coater sia in versione carbon coater, grazie alla loro efficienza e facilità di utilizzo questi sistemi divennero subito molto popolari in questo settore. Nel 1993 la linea di questi metallizzatori fu ulteriormente ampliata, introducendo la serie di sputter coater 208HR e per grafite 208C dedicati per la microscopia a scansione ad alta risoluzione FEG Schotty Field Emission. La scelta di introdurre questa nuova linea di prodotti si rivelò giusta, visto la forte espansione nelle vendite di microscopi FEG negli ultimi anni, e grazie a questo la serie 208 è attualmente è divenuta lo standard per chi debba metallizzare campioni per alta risoluzione. Caratterizzazione superficiale Nel 1999 a seguito dell esperienza maturata in questi anni, ha deciso di introdurre un nuovo sistema di deposizione con camera da 12 di diametro denominato 308R. Il sistema ha avuto fin dall inizio un buon successo per la preparazione di campioni delicati per la microscopia FEG e TEM, e come sistema multiuso per chi si occupa di ricerca e sviluppo e film sottili.

2 Serie auto Sputter coater Caratterizzazione superficiale Lo sputter coater della serie 108auto può essere usato in modo automatico o manuale. Il sistema permette inoltre di poter effettuare il rientro in camera del gas alla pressione atmosferica in automatico con un gas inerte o non a seconda delle preferenze del cliente. In modalità automatica, il metalizzatore può essere utilizzato in due modi: il timer digitale per avere dei film ripetibili, o in alternativa la microbilancia MTM-20 che controlla il processo di deposizione in base allo spessore desiderato. 108 auto in configurazione con camera standard La corrente di processo è selezionata tramite un della camera. La regolazione della pressione e programmatore digitale ed è indipendente dalla della corrente di deposizione è regolata in modo pressione del gas di processo argon all interno indipendente. 108auto/SE Sputter coater Il sistema 108auto/SE ha le medesime specifiche della versione 108auto, ma con differente dimensione della camera di processo che è 150mm Ø (5.9 ) x 165 mm (6.5 ). È proposto per chi necessiti che lo spessore del film deposto abbia un elevata uniformità. Per migliorare ulteriormente l uniformità del film, è possibile utilizzare lo stage rotante, che è stato sviluppato per la serie del metallizzatori per alta risoluzione 208HR. 108carbon/A Carbon coater Il metalizzatore 108carbon/A utilizza una innovativa sorgente di evaporazione. La tensione e la corrente sono monitorate da un sensore a filo, inserito all interno della testa di evaporazione, grazie a questo accorgimento la sorgente è controllata come parte del ciclo di retroazione. Inoltre utilizzando le barre in grafite si riesce a garantire una elevata stabilità e riproducibilità nella deposizione. L assorbimento di corrente è basso, la sorgente inoltre evidenzia ciclo dopo ciclo una ottima stabilità. La deposizione può essere fatta in modalità pulsata o continua. Il metalizzatore 108carbon/A può essere utilizzato in modalità manuale o totalmente automatica. 108 auto in configurazione con camera alta SPECIFICHE TECNICHE SERIE 108 Pompa Rotativa High speed, direct drive 2-stage Velocità di Pompaggio 2.5/3.0 m3/h (50/60Hz) ci vogliono circa 25/30 sec. per arrivare a 0.1mb. Sistema da tavolo La pompa da vuoto in adiacenza al metalizzatore Dimensioni Larghezza 330mm (13.0 ), Profondità 215mm (8.5 ), Altezza210mm (8.3 ), 270mm (10.6 ) con il filtro 15Kg (33.2 lbs) or VAC, 50/60Hz 175 VA max. Gas Argon Purezza min. 99.9% Regolazione pressione 7-8 psi ( bar) Connessioni per linea gas, 6.0mm (¼ )

3 In modalità automatica la sorgente di evaporazione opera utilizzando il voltaggio programmato per il tempo stabilito. In modalità manuale grazie al particolare alimentatore utilizzato, si può operare in modalità pulsata o continua con la tensione di uscita regolata attraverso l apposito controllore. Sistema di Pompaggio Il progetto modulare combina l unità di metallizzazione per grafite, il sistema di pompaggio e il misuratore di spessore, e occupa uno spazio di soli 42cm x 60cm (16 x24 ). Il sistema di pompaggio da tavolo è completamente integrato utilizzando connettori metallici con serraggio di tipo veloce. Misuratore di spessore Il carbon coater 108 carbon può essere ulteriormente migliorato utilizzando con un misuratore di spessore ad alta risoluzione. Per la grafite la risoluzione che si raggiunge è migliore di 0.1 nm. Utilizzando con perizia il metalizzatore insieme al misuratore di spessore, si riesce ad ottenere una riproducibilità migliore del 5% con spessori dell ordine di 15nm 25nm. SPECIFICHE CRESSINGTON 108CARBON/A Automatic carbon coater Dimensioni della camera 120mm Ø x 120mm altezza (4.75 x 4.75 ) Sorgente di evaporazione Di tipo Bradley (6.15mm Ø rods) robusta in acciaio inossidabile. Alimentatore della sorgente Controllo a microprocessore di tipo a retroazione controllato con sistema di rilevazione remoto corrente/tensione. Interlock di sicurezza variabile, 180A max con protezione per sovratensioni. Porta campioni Supporta 12 SEM ½ stubs Regolazione dell altezza fino a 60 mm Display analogico Vuoto, Atm mb Corrente, 0-200A Metodo di controllo Controllo automatico dell evaporazione utilizzando la programmazione del voltaggio e il timer. Controllo manuale in modalità pulsate o continua. Timer digitale 1 30 secondi. Impostazione digitale del voltaggio da 0,1 a 5,5 V. Rientro gas fine processo automatico. Misuratore di spessore Opzionale, MTM-10 solo Dimensioni Larghezza 420mm (16.5 ), Profondità 295mm (11.6 ), Altezza 287mm (11.3 ) 14Kg (30.9 lbs) 800 VA max (excluding rotary pump) Sistema di pompaggio Pompa rotativa Pfeiffer a doppio stadio, con accoppiamento diretto 2.5/3.0 m3/h (50/60Hz) Tempo vuotatura a 0.1mb circa 30/25 sec. Sistema da tavolo La pompa è montata su un sistema antivibrante da tavolo Dimensioni Larghezza 330mm (13.0 ), Profondità 215mm (8.5 ), Altezza 210mm (8.3 ), 270mm (10.6 ) con filtro originale 15Kg (33.2 lbs) 130 VA Servizi richiesti or VAC, 50/60Hz (da specificare in fase d ordine) 930 VA max. Serie HR Metalizzatore per alta risoluzione Le caratteristiche principali sono: Ampia scelta di materiali da deposizione Il raffinato progetto della testa magnetron e l efficiente sistema della gestione del gas, consentono di utilizzare una vasta gamma di target da sputtering. Raffinato controllo dello spessore deposto Il film deposto è ottimizzato per i microscopi FEG utilizzando il controllore di spessore MTM-20 ad alta risoluzione.

4 Porta campioni rotante Grazie ad un porta campioni rotante con angolazione regolabile, è possibile ottimizzare la distribuzione del film depositato su tutta la superficie dei campioni. Camera a geometria variabile Questa caratteristica consente di poter regolare la velocità di deposizione da 1.0 nm/sec a 0.002nm/sec. Ampia gamma di pressioni operative La regolazione indipendente della potenza/pressione consente di utilizzare l argon di processo in un campo di pressioni da 0.2 a mbar. Sistema compatto da tavolo Grazie al design innovativo, lo spazio necessario all utilizzo del 208HR è minimo, e inoltre non necessita di acqua per il raffreddamento e connessioni elettriche particolari. Deposizione di film su campioni difficili per FE-SEM Il 208HR offre una reale soluzione ai problemi che si incontrano durante la preparazione di campioni difficili per i microscopi ad alta risoluzione di tipo Field Emission FEG. 208HR in configurazione con camera standard Il metalizzatore 208HR, consente di poter utilizzare una vasta gamma di materiali per la metallizzazione dei campioni, e questo garantisce di poter scegliere il metallo o la lega che minimizzano gli effetti dovuti alla dimensione della grana grain size. Per minimizzare gli effetti della carica sul campione, dovuti generalmente ad una cattiva uniformità del film, il 208HR è stato progettato da avere un porta campioni rotante con l angolazione regolabile. SPECIFICHE TECNICHE CRESSINGTON 208HR Dimensione della camera 150mm Ø (5.9 ) - Altezza variabile, 165mm - 250mm ( ) Testa sputtering Di tipo planar magnetron a basso voltaggio. Sistema per il cambio del target di tipo veloce con distanziatore circolare, e shutter per il condizionamento del target. Target disponibili Cr, Pt/Pd standard (Ta, Au, Au/Pd, Pt o W opzionali) Alimentatore per sputtering Di tipo a microprocessore, con interlock di sicurezza, controllo della corrente indipendente del vuoto, correnti selezionabili (20, 40, 60 or 80mA) in modalità digitale. Stage porta campioni Planetario rotante per 4 stubs di tipo non ripetitivo, con inclinazione manuale compresa tra Velocità di rotazione variabile. Testa di misura dello spessore integrata. Display analogico Vuoto, Atm mb Corrente, 0-100mA Metodo di controllo Automatico per ingresso gas processo, e rientro gas fine processo. Impostazione della sequenza del processo completamente automatico, oppure completamente manuale. Timer digitale, secondi, con pausa e rientro per fine processo automatico. Controllo dello spessore Attraverso la microbilancia MTM-20 Sistema di pompaggio Configurazione Vuoto finale Sistema da tavolo Servizi richiesti Pompa combinata di tipo Turbo - drag/rotativa. Opzionale pompa a diaframma al posto della pompa rotativa mb 1 min. a 1x10-3mb (1.5 min. con la pompa a diaframma opzionale) 1x10-5mb La pompa rotativa è montata sopra un supporto per tavolo di tipo antivibrante o VAC, 50/60Hz (da specificare in fase d ordine) 550 VA max. Argon gas Purezza, min. 99.9% - Pressione, compresa tra 7-8 psi ( bar.) - Connettori, 6.0mm (¼ ) Dimensioni del sistema Dimensione Larghezza 600mm (23.6 ), Profondità 600mm (23.6 ), Altezza 450mm (17.7 ) 40Kg (88.5 lbs)

5 208carbon Carbon coater per alto vuoto Il metalizzatore 208carbon, rappresenta il più avanzato metalizzatore per applicazioni quali TEM, SEM e microsonde. Il suo progetto di tipo modulare consente una rapida modifica della configurazione garantendo così una impareggiabile flessibilità. Alimentatore della sorgente Elettronica completamente integrata, con controllo della potenza di tipo fa retroazione. La corrente e la Caratteristiche principali Il controllo del voltaggio della sorgente di evaporazione consente di poter effettuare multi deposizioni Il controllo automatico dell evaporazione garantisce facilità di utilizzo La microbilancia per il controllo dello spessore garantisce risultati riproducibili. La pompa turbo molecolare da 80 lt/sec garantisce un pompaggio veloce. Riduzione dei costi operativi: nessuna pompa a diffusione da lasciare sempre accesa; il sistema non necessita di raffreddamento con acqua; non necessita di gas argon (azoto come opzione); il design compatto consente di risparmiare sprechi di spazio 208C in configurazione standard tensione sono monitorate con un sensore a filo integrato nella sorgente, la testa di evaporazione è parte del circuito di retroazione. Questo garantisce alle barre di grafite convenzionali, una elevata stabilità e riproducibilità. La sorgente di evaporazione può operare in modalità pulsata o automatica continua. La modalità pulsata, quando è usato insieme alla microbilancia opzionale MTM-10 per il controllo dello spessore, consente un controllo estremamente preciso dello spessore di grafite di depositare. SPECIFICHE CRESSINGTON 208CARBON Dimensioni della camera 150mm Ø (5.9 ) - Altezza variabile, 165mm - 250mm ( ) Sorgente di evaporazione Di tipo Bradley (6.15mm Ø rods) - Robusta in acciaio inossidabile Alimentatore della sorgente Controllo a microprocessore di tipo a retroazione controllato con sistema di rilevazione remoto corrente/tensione. Interlock di sicurezza. Variabile, 180A max. con protezione da sovratensioni Porta campioni Il piatto di tipo statico alloggia fino a 12 SEM ½ stubs Regolazione in altezza fino a 60mm Planetario porta campioni rotante (opzionale) Display analogico Vuoto, a doppia scala Atm mb - 1x10-3mb - 5x10-6mb - Corrente, 0-200A Metodo di controllo Controllo automatico dell evaporazione utilizzando la programmazione del voltaggio e il timer. Controllo manuale in modalità pulsate o continua. Timer digitale 1 30 secondi. Impostazione digitale del voltaggio da 0,1 a 5,5 V. Rientro gas fine processo automatico Misuratore di spessore Opzionale solo MTM-10 Sistema di pompaggio Configurazione Configurazione con pompa rotativa e turbomolecolare 80 litri/sec Tempo vuotatura 1.5 min. a 1x10-4mb Pressione finale 5x10-6mb Sistema da tavolo La pompa è montata su un sistema antivibrante da tavolo Servizi richiesti o VAC, 50/60Hz (da specificare nell ordine) 1200 VA max. Dimensioni del sistema Dimensioni Larghezza 600mm (23.6 ), Profondità 600mm (23.6 ), Altezza 360mm (14.2 ) 45Kg (99.5 lbs)

6 Camera porta campioni Concepita per essere modulare in modo da alloggiare differenti tipi di campioni, la regolazione della distanza di evaporazione è semplice e rapida. Un efficiente sistema di regolazione con valvola a spillo consente di poter regolare con precisione la pressione da ALTO-VUOTO a BASSO-VUOTO. Il planetario porta campioni di tipo rotante con angolazione regolabile consente di alloggiare una ampia varietà di campioni, inclusi gli stubs da ¾ per analisi GSR. Caratterizzazione superficiale Misuratori di spessore MTM-10 e MTM-20 Misuratori di spessore Lo strumento compatto MTM-10, è un misuratore di spessore a basso costo. Originariamente è stato progettato per essere applicato nella preparazione dei campioni per microscopia elettronica, ma è anche adatto in applicazioni in sistemi di deposizione più complessi. Consente di memorizzare parametri per due soli materiali. Misuratore di spessore MTM-10 Lo strumento MTM-20 include un controllo dello spessore presettabile, ma può memorizzare i parametri di un solo materiale di deposizione. Caratteristiche principali Sistema a basso costo compatto sviluppato per usi molteplici Parametri di input facile (densità materiale, fattore di compensazione) Veloce refresh della lettura 5 misure il secondo Alta risoluzione: migliore di 0,1 nm per l Alluminio Elevata, capacita del cristallo: fino a 15 um di spessore totale per l alluminio Campo di misura di 1000nm con opzione di visualizzazione Crystal life display La fornitura include i passanti, oscillatore, cavi, testa di misura, e unità di controllo. SPECIFICHE MTM-10 E MTM-20 Display A 4 digit con LED rossi LED (0.56 ) - Rare di aggiornamento 10/sec - Pulsante reset lettura Controllo spessore -99.9nm a nm Risoluzione Migliore di 0.1nm Gamma densità gm/cm3 Fattore di compensazione Tipo di cristallo Standard 6 MHz, 0.55 Ø Au coated Controllo del cristallo Visualizzazione tempo vita, 0.0 a 999.9KHz Parametri di configurazione Memoria non-volatile con sistema d incremento della velocità della visualizzazione durante lo scrolling o VA, 50/60Hz Dimensioni Larghezza 208mm (8.2 ), Altezza 76mm (3.0 ), Profondità 160mm (6.3 ), 1.7Kg (3.75 lbs) MTM-10 Numero di materiali 2 Funzione di fine processo Non collegato MTM-20 Numero di materiali 1 Funzione di fine processo Pulsante abilita/disabilita Range di fine processo nm Uscita per fine processo Relè a contatto di tipo SPCO, a tensione libera - VAC, 24 VDC