Sensori Fisici.

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1 Sensori Fisici

2 Sensori FISICI per misure biomediche Un sensore è quella parte della catena di misura che converte il misurando in un segnale elettrico. Ambiente Sorgente X(t) Elemento sensibile y(t) Modificatore Variabili influenza Temperatura Umidità Vibrazioni Gas Page 2 Tipologie: deformazione, forza, spostamento, accelerazione, velocità, temperatura, flusso termico, flusso di fluidi...

3 Sensori fisici Misure di temperatura Misure di forza deformazione Misure di accelerazione Page 3

4 Misure di temperatura Importanza biomedica Scopi diagnostici e di monitoraggio Temperatura interna del corpo La misura con sensori a contatto è il più comune e diffuso metodo di rilevazione. Temperatura superficiale del corpo Anche in questo caso la conoscenza della temperatura può rappresentare un importante strumento diagnostico. Viene misurata sia con tecniche a contatto diretto che per via radiativa. Temperatura sanguigna La temperatura del sangue è misurata con tecniche di cateterismo intravascolare. Utilizzabile per la valutazione indiretta della portata sanguigna tramite (tecnica della termo-diluizione) Page 4

5 Misure di temperatura Obiettivo: misurare la temperatura di un corpo in contatto col sensore Tutti i sensori di temperatura, a prescindere dal meccanismo di trasduzione, presentano alcune caratteristiche comuni che influiscono sulle prestazioni del sensore stesso in termini sia di precisione sia di velocità di risposta. Queste caratteristiche sono legate al fatto che un sensore di temperatura consta sempre di un elemento sensibile che, per effettuare la misura, deve essere messo in contatto con il corpo (che indicheremo con X) di cui si vuole valutare la temperatura (che indicheremo con Tx). Page 5

6 Analogia elettro-termica Il flusso di calore P (Watt) può essere rappresentato da un generatore di corrente elettrica Le temperature T nei vari punti hanno un equivalente nella tensione elettrica (Celsius C o Kelvin K) La resistenza termica R T ( C/W) è equivalente alla resistenza elettrica La capacità C T termica può essere rappresentata da una capacità elettrica ( la rispettiva reattanza sarà ancora espressa in C/W) Si può quindi ricavare un'equazione formalmente uguale alla legge di Ohm Δ T =R T P Δ V =R I Page 6

7 Misure di temperatura Caratteristiche ideali Il sensore raggiunge immediatamente la stessa temperatura del corpo in misura La temperatura del corpo non viene modificata dal contatto con il sensore Obiettivo T s =T x Errore misura e=(t s -T x ) Page 7

8 Misure di temperatura Caratteristiche reali Il sensore ha una capacità termica Cs non nulla. Questo comporta che il sensore raggiunge l'equilibrio termico con X dopo un certo tempo e che, per raggiungere questo equilibrio, deve assorbire o cedere calore ad X, tendendo a modificare la temperatura T x T La resistenza termica tra sensore e corpo ( R XS ) non è zero: questo implica che ci sarà sempre una differenza di temperatura tra sensore e corpo X dovuta al calore che scorre tra corpo e sensore. La resistenza termica tra il sensore e l'ambiente ( ) non è infinita; ciò ha come conseguenza che attraverso il sensore passa calore dall'ambiente al corpo X, e questo ne modifica ancora la temperatura. Inoltre questo flusso di calore passa attraverso la ( R T XS ) causando un salto di temperatura tra il sensore ed X, introducendo quindi un errore nella misura Il funzionamento del sensore stesso può implicare uno sviluppo di calore che si riverserà in X producendo una differenza di temperatura tra il sensore e il corpo stesso. Essendo generalmente: R T T XS R SA T R XA Page 8

9 Misure di temperatura Caso 1: Per comprendere il ruolo dei vari elementi dello schema della figura conviene far riferimento ad alcuni schemi semplificati. Mettiamo in evidenza il ruolo delle capacità termiche, consideriamo isolati sia il sensore che il corpo X, giungendo allo schema di figura (a). Page 9 Obiettivo Ts( ) = Tx(0) Vogliamo che la Ts del sensore a regime sia uguale a quella del corpo prima del contatto col sensore (il sensore non deve modificare la Tx del corpo)

10 Misure di temperatura La chiusura del tasto T simboleggia l'istante in cui X e S vengono messi a contatto per effettuare la misura. La risoluzione del circuito dà come risultato, per la temperatura T s : T s =T f +(T S (0) T f )e t τ T f = C S T S (0)+C X T X (0) C X +C S τ=r T XS C serie NB: solo se Cx>> Cs T f approssima Tx(0) C serie = ( 1 C S + 1 C X ) 1 Page 10

11 Misure di temperatura Risposta esponenziale (sistema primo ordine) Equilibrio: Tx e Ts sono uguali (Tf), ma sono diversi talla quantità che volevamo misurare Tx(0) Errore: Tf-Tx(0) diminuisce al diminuire di Cs Se il sensore ha capacità termica trascurabile rispetto al corpo Tf approssima Tx(0) Per basse capacità termiche del sensore diminuisce il tempo di risposta. Bassa capacità termica del sensore Miniaturizzazione Page 11

12 Misure di temperatura Caso 2: Tx imposta da meccanismi esterni, non perturbatile dal sensore. Sensore isolato che non produce calore T s =T f +(T S (0) T f )e t τ T f =T X (0) τ=r T XS C S Errore a regime nullo Velocità risposta determinata da Cs Page 12 Comportamento d a filtro passa basso rispetto alle variazioni di Tx 1 f c = 2 π R T XS C S

13 Misure di temperatura Caso 3: Tx imposta da meccanismi esterni. Il sensore produce calore (auto-riscaldamento) T s =T f +(T S (0) T f )e t τ T f =T X (0)+R T XS P s τ=r T XS C S Errore a regime non nullo Minimizzazione resistenza termica 1 f c = 2π R T XS C S Page 13

14 Misure di temperatura Caso 4: Tx imposta da meccanismi esterni. Il sensore non produce calore ma non è isolato dall'ambiente (cause: segnale prelevato attraverso conduttori elettrici che sono ottimi conduttori di calore) T f =T X +(T A T X )( T R XS R T SA +R XS T ) Errore a regime non nullo Minimizzazione resistenza termica tra sensore e corpo, massimizzazione resistenza termica tra sensore ed ambiente Page 14

15 Sensori resistivi Sensore resistivo: La resistenza elettrica varia in funzione del misurando Il misurando (temperatura, deformazione) può far variare conduttore le seguenti grandezze: Proprietà fisiche Dimensioni geometriche Esempi: termo-resistenze, estensimetri (strain gauges) Page 15

16 Trasduttori termoresistivi I trasduttori termoresistivi sfruttano la proprietà di alcuni metalli e semiconduttori di cambiare la loro resistenza con la temperatura. Tale dipendenza è descritta da opportune equazioni che introducono un coefficiente termico della resistenza caratteristico del tipo di metallo o semiconduttore utilizzato TCR(T )= 1 R(T ) dr dt (T ) Materiali: metalli, miscele di ossidi metallici compressi (sinterizzati), cristalli di semiconduttori drogati Il TCR dipende dalla temperatura, dalle caratteristiche del materiale utilizzato e non dalla geometria del resistore R(T )=R(T 0 )(1+α(T T 0 )+α 1 (T T 0 ) ) R(T ) R(T 0 ) (1+α(T T 0 ))=R(T 0 )(1+TCR(T 0 )(T T 0 )) Page 16 TCR(T 0 )= 1 R(T 0 ) dr dt (T 0)=α

17 Proprietà fisiche materiali termoresistivi Page 17

18 Trasduttori termoresistivi Sensori a filo o film metallico RTD: resistive temperature detectors Variazioni lineari della resistenza con la temperatura Platino: α= o C -1 Elevata linearità Elevata stabilità chimica, stabilità temporale della risposta Costi relativamente alti Altri materiali: nickel, ferro-nickel R=R 0 (1+α ΔT ) TCR(T 0 )=α= 1 R 0 dr dt (T 0 ) T 0 =0 R 0 =100Ω Page 18 PT100 Se occorrono precisioni maggiori Passo ad approssimazioni di ordine superiore R=R 0 (1+α 1 ΔT +α 2 ΔT α n ΔT n )

19 Sensori termoresistivi y=sx+r(0) Inverso funzione di taratura s=r 0 α=0.39 Ohm/C sensibilità R(0) = 100 Ohm offset (uscita con misurando nullo) c = 1/s= 2.56 C/Ohm Costante di taratura Page 19 TCR(0 o C )= 1 R(0) dr dt (0)= s R(0) = 0.39Ω/C 100Ω = C 1 Precisione: Tolleranza sul valore della resistenza a 0 o C Esempio: Ohm, ottengo una precisione di C (divido per la sensibilità o moltiplico per il coefficiente di taratura)

20 Trasduttori termoresistivi Termistori Resistori ad ossidi metallici la cui resistenza varia fortemente con la temperatura NTC TCR negativo Sono i più usati Fortemente non lineari PTC TCR positivo Usati principalmente nei circuiti di termoregolazione Page 20

21 Termistori R=R(T 0 )exp[ B ( 1 T 1 T 0 )] TCR= B T 2 R(T 0 ) [1 kohm - 1MOh] T Espressa in Kelvin T 0 Temperatura di riferimento B Temperatura caratteristica [ K] Sensibilità a temperatura ambiente un ordine di grandezza maggiore di quella degli RTD Page 21

22 Autoriscaldamento e Linearizzazione termistore (1) Relazione Resistenza/Temperatura fortemente non lineare Parametri Si consideri un termistore R(T 0 ), β, T 0 Si consideri un corpo a temperatura Tx con capacità termica infinita Si consideri il sensore alimentato con una certa corrente I Necessità di linearizzazione all'intorno del punto di lavoro Tx L'approssimazione lineare sarà valida all'interno di un intorno di Tx Necessità di valutare che l'intrinseco errore di auto-riscaldamento non invalidi l'approssimazione Equivalente termico a regime T s =T x +R T XS P s =T x +R T XS R(T s ) I 2 Errore di auto-riscaldamento Page 22 Δ T =T s T x =R T XS R(T s ) I 2

23 Autoriscaldamento e Linearizzazione termistore (2) L'errore di auto-riscaldamento (ΔT) dipende da Ts in modo non lineare (tramite R(Ts)) Linearizzazione di R(T) intorno al punto di lavoro (temperatura del corpo Tx) R(T )=R(T x )+ dr dt (T Sviluppo in serie di Taylor x)(t T x ) Fino al primo ordine R(T )=R(T x ) ( 1+ 1 R(T x ) dr dt (T x)(t Tx) ) =R(T x )(1+TCR(T T x )) R(T x )=R 0 exp[ B ( 1 T x 1 T 0 )] TCR= β T x 2 R(Tx)*TCR sensibilità Inverso costante taratura Page 23

24 Autoriscaldamento e Linearizzazione termistore (4) Determiniamo l'errore di auto-riscaldamento con la relazione linearizzata Δ T =T s T x =R T XS P s =R T XS R(T s ) I 2 Δ T =T s T x =R T XS R(T x ) (1+TCR (T s T x )) I 2 Δ T =R T XS R(T x )(1+TCR Δ T ) I 2 Δ T = R T XS R(T x ) I 2 1 R T XS TCR R(T x ) I 2 T s =Δ T +Tx Page 24

25 Autoriscaldamento e Linearizzazione termistore (4) L'approssimazione lineare è valida per ΔT piccoli (Ts vicino al punto di lavoro) Esempio T 0 =20C (293K), R(T 0 )=500 Ohm, B = 4000 K,R T XS =80 K/W, T x =36.5 C(309.5 K), I=7mA Otteniamo: ΔT=0.916C 0vvero Ts=Tx+ΔT= Se ΔT è accettabile per la nostra applicazione (e.g. ΔT<0.1 C) il sensore è utilizzabile per misurare la temperatura di interesse Attenzione valutare l'errore di linearizzazione, se ΔT fosse troppo elevata l'approssimazione lineare potrebbe essere non più valida Page 25

26 Fenomeno dell'auto-riscaldamento Sensori resistivi sono soggetti ad auto-riscaldamento in quanto attraversati dalla corrente I 0 di polarizzazione Una riduzione della corrente riduce l'auto-riscaldamento, ma riduce anche la sensibilità del sistema Effetto della variazione dovuta alla temperatura paragonabile col rumore Alternativa: polarizzazione con corrente impulsata con frequenza maggiore della frequenza di taglio del sistema e campionamento per valori alti della corrente Il sensore non fa in tempo a riscaldarsi Page 26

27 Circuiti di misura 2 fili La misura viene effettuata sugli stessi conduttori che trasportano la corrente di polarizzazione Esempio: RTD, Rc1+Rc2=0.4 Ohm, Errore 1 o C Page 27

28 Circuiti di misura 4 fili La corrente di polarizzazione viene portata attraverso conduttori separati rispetto a quelli di misura Risolve il problema precedente Page 28

29 Circuiti di misura Esempio 2 fili V u (T )= V r R 3 +R 2 R 2 R 1 R T (T 0 )α(t T 0 ) V u (T )= I 0 R T (T 0 )α(t T 0 ) I 0 Compromesso tra sensibilità e errore di autoriscaldamento Page 29

30 Circuiti di misura Esempio 4 fili I = V r R I V u = V r R 1 R T A Page 30

31 Estensimetri Strain gage L'estensimetro (Strain gage) è un sensore in cui la deformazione elastica subita da un elemento metallico oppure da un semiconduttore si riflette nella variazione della resistenza dell'elemento. Sono utilizzati per la misura di deformazione e conseguentemente di forza/pressione (conoscendo le proprietà elastiche del mezzo a cui vengono applicati) Le principali tipologie costruttive degli estensimetri son tre: filo metallico teso Un sottile filo metallico conduttore viene vincolato, in tensione, alla struttura di cui si desidera misurare la deformazione mediante dei supporti isolanti. Questi devono essere posti lungo l'asse in cui si intende rilevare la deformazione. La deformazione della struttura provoca una variazione della distanza fra i supporti e quindi una deformazione del filo metallico che subisce sia una variazione della lunghezza l, sia una variazione sia della sezione S. R=ρ l S Page 31

32 Estensimetri Strain gage deposito metallico su film Negli estensimetri a deposito metallico su film si usa come elemento deformabile un elemento simile ad un circuito stampato che vede una sottile pista conduttrice solidale ad un supporto isolante costituito da un film plastico di modesto spessore. La forma della pista conduttrice è tale da esaltare la dimensione totale lungo un asse e minimizzare quella lungo l'asse ortogonale. All'estremità della pista conduttrice sono poi ricavate delle piazzole per il collegamento dei reofori di alimentazione e misura. Spesso più estensimetri vengono disposti l'uno vicino all'altro, secondo assi concorrenti per ottenere una scomposizione vettoriale della deformazione. Page 32

33 Estensimetri Strain gage Semiconduttore Gli estensimetri a semiconduttore vengono realizzati mediante un processo di drogaggio del supporto che porta ad ottenere una pista conduttiva di forma analoga a quella dell'estensimetro a deposito metallico su film. Il supporto è frequentemente realizzato con la tecnologia del film spesso (thick film) I valori nominali di resistenza per gli estensimetri a deposito metallico su film sono compresi fra 100Ω e 1kΩ, con delle tolleranze di produzione dell'ordine del '1 2% Gli estensimetri a semiconduttore hanno invece resistenze comprese fra 60Ω e 10k Ω con delle tolleranze che vanno dall'1% al 10% Page 33

34 Estensimetri Strain gage La caratteristica di maggiore interesse nell'estensimetro è la sensibilità con cui la resistenza si modifica in conseguenza della deformazione: per giungere però un tale parametro si deve preventivamente definire come misurare la deformazione. Facendo riferimento ad una struttura cilindrica di altezza pari ad L in condizioni di riposo si consideri di applicare una sollecitazione assiale di trazione: il cilindro subirà una deformazione più o meno evidente a seconda dell'intensità della sollecitazione, delle caratteristiche del materiale e della geometria. L'altezza subirà un'allungamento pari a ΔL. Il rapporto ΔL/L costituisce l'indicazione della deformazione specifica subita dal cilindro. Il valore del rapporto, indicato col simbolo ε, viene chiamato "strain". ϵ= Δ L L ε è adimensionale, ma viene comunemente misurato in microstrain (με = ε * 10 6) Deformazione massima con strain gage metallici με (4%) Page 34

35 Estensimetri Strain gage F L ΔL ε=δl/l GF = Δ R R Δ L L R(ϵ)=R 0 (1+GF ϵ) Page 35

36 Estensimetri Strain gage Fattore di gage (gage factor) È possibile ricavare l'espressione della sensibilità dell'estensimetro rapportando la variazione relativa di resistenza ΔR/R al valore dello strain. Questo fattore viene comunemente indicato con il termine di "fattore di gage" (GF). GF = Δ R R Δ L L Δ R R=GF ϵ Il valore del fattore di gage dipende dal materiale utilizzato per la realizzazione dell'estensimetro: per gli estensimetri metallici GF è compreso fra 2 e 4. La variazione della resistenza è tipicamente molto piccola Il valore del fattore di gage è influenzato dalla temperatura R(ϵ)=R 0 (1+GF ϵ) Page 36

37 Effetto temperatura R(ϵ)=R 0 (1+GF ϵ)(1+α(t T 0 )) errore= ϵ 2 ϵ 1 =Δ ϵ= Δ R R 0 GF R(ϵ 1, T 1 ) R(ϵ 1, T 0 )=Δ R Page 37 Δ R Δ ϵ =R 0GF

38 Influenza temperatura Influenza temperatura Esempio: GF=2, ε1 = 1000 με, T0=20C, T1=40C, α = 10*10-6 C -1 errore= ( R(ϵ 1, T 1 ) R(ϵ 1, T 0 )) GF R 0 =10 4 =100μ ϵ Nota: 20C di variazione implicano 100με di errore È necessario compensare la dipendenza dalla temperatura Page 38

39 Estensimetri configurazioni Asse di sensibilità Page 39

40 Estensimetri circuiti di lettura + Ponte di Wheatstone - + Resistenza del sensore = R in assenza di deformazione - V out =V ref ( R 2R ( R ) R+R+Δ R =V ref Δ R=R 0 GF ϵ Δ R R 4+2 Δ R R ) V ref 1 4 Δ R R Page 40

41 Estensimetri circuiti di lettura Compensazione effetti temperatura Il sensore 2 Non risente della deformazione Dummy gage: Stesso effetto termico, ma non risente della deformazione Page 41

42 Estensimetri circuiti di lettura Rsg R 1 =R 2 R sg0 =R 3 Page 42

43 Estensimetri - applicazioni biomediche I sensori piezoresistivi vengono utilizzati, in campo biomedico, in quelle applicazioni in cui è importante misurare variazioni dimensionali o stati di tensione meccanica. Esempi di questo tipo possono essere la misura della variazione della circonferenza della gabbia toracica per il monitoraggio della respirazione o il rilevamento delle variabili cinematiche di parti del corpo in movimento. Un'altra importante applicazione è la pletismografia basata sull'uso di estensimetri. Il metodo consiste nel circondare l'arto in esame con un fascia elastica dotata di estensimetri e di registrare la variazione relativa di resistenza. Attraverso il fattore di gauge si può risalire alla variazione di lunghezza e di conseguenza alla variazione di volume. Sebbene qualche controversia sull'affidabilità di questa metodologia, studi comparativi con sistemi tradizionali ne hanno decretato l'efficacia. Sono utilizzati anche nella realizzazione di piattaforme di forza per lo studio della cinematica e dinamica articolari nell'analisi della camminata (gait analysis) Page 43

44 Misure di pressione Ponte estensimetrico Gli estensimetri a semiconduttore, per le ridotte dimensioni geometriche e per l'elevato GF, che può arrivare fino a 200, si prestano particolarmente per la realizzazione di sensori di pressione a membrana deformabile. In questo sensore la pressione da misurare agisce su di una membrana di materiale idoneo (silicio od altro) su cui sono stati ricavati, con le usuali tecniche di drogaggio selettivo, gli estensimetri e gli eventuali circuiti elettronici per il trattamento dell'informazione. La deformazione del substrato provoca la variazione della resistenza degli estensimetri e quindi la nascita di una tensione di squilibrio. Page 44

45 Misure di pressione Si deve però segnalare il pericolo che il fluido sotto misura possa contenere elementi chimici in grado di reagire con il materiale che compone la membrana modificando la risposta del sensore. Per questo motivo si continuano a costruire anche sensori in cui la membrana elastica è costituita da metalli inattaccabili su cui vengono montati degli estensimetri classici a deposito metallico su film. Il vantaggio principale degli estensimetri a semiconduttore e quello che sullo stesso chip possono essere integrati sia l'elemento sensibile, sia un circuito elettronico in grado di effettuare operazioni quali la linearizzazione o la compensazione in temperatura migliorando sensibilmente le prestazioni metrologiche del sistema. Page 45