Trasmettitore Ultra High Purity Per aree classificate a rischio d'esplosione, Ex na ic Modelli WUC-10, WUC-15 e WUC-16

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1 Misura di pressione elettronica Trasmettitore Ultra High Purity Per aree classificate a rischio d'esplosione, Ex na ic Modelli WUC-10, WUC-15 e WUC-16 Scheda tecnica WIKA PE Applicazioni Industria dei semiconduttori e fotovoltaica, produzione schermi piatti Sistemi con fluidi ultrapuri e gas speciali (moduli per distribuzione gas di processo, pannelli gas, alimentazione bulk gas, parchi serbatoi) Caratteristiche distintive Costruzione compatta Omologazione ATEX e IECEx zona 2 Grado di protezione IP 67 (NEMA 4) con potenziometro di zero ad "accesso laterale" Eccellente stabilità EMC Compensazione di temperatura attiva Fig. sin.: modello WUC-10, single end Fig. centro: modello WUC-15, flow through Fig. destra: modello WUC-16, modular surface mount Descrizione Compatto L'esecuzione compatta del modello WUC-1x consente di risparmiare spazio in impianti ed installazioni. Il trasmettitorii della serie WUC-15 e 16 si distinguono per le loro eccellenti proprietà auto-drenanti. La speciale connessione del sensore elimina interferenze sul segnale dovute ai carichi sugli attacchi al processo o ai cordoni di saldatura. Versatile L'elevato grado di protezione IP 67 permette inoltre di utilizzarli in condizioni esterne difficili come i parchi serbatoi o altre installazioni esterne per gas speciali. Questa serie di strumenti è stata progettata anche per l'uso in zona 2 (Ex). La classificazione di temperatura T6 garantisce che anche le misure di fluidi con basse temperature di auto-innesco, ad esempio come PH 3 (fosfina), non rappresentano un problema. Affidabile Con risciacquo a pressione di tipo ciclico, elevati valori di strozzatura del gas (effetto Joule-Thompson) e funzionamento in esterni, possono verificarsi elevate fluttuazioni della temperatura. La compensazione attiva della temperatura rileva tali variazioni e ne riduce l'effetto. In tal modo si garantisce una misura stabile. La regolazione del punto zero ad "accesso laterale" è in esecuzione a tenuta stagna, mantenendo quindi l'elevato grado di protezione IP 67. La facilità d'uso la protezione da regolazioni accidentali è assicurata. Per tutte le parti a contatto col fluido, vengono impiegati i materiali 316L VIM VAR e speciali sensori a film sottile in / UNS R Prima dell'assemblaggio finale, tutte le parti a contatto col fluido vengono elettrolucidate e pulite con procedure all'avanguardia. Tramite l'esame di ogni singolo trasmettitore si garantisce che i valori richiesti per la tenuta, la stabilità alla sovrapressione, la precisione e alle particelle siano soddisfatti secondo le normative applicabili SEMI. Scheda tecnica WIKA PE /2014 Pagina 1 di 8 Schede tecniche degli accessori: Indicatore a inserto UHP con LED; modello WUR-1; vedi scheda tecnica PE 87.20

2 Specifiche tecniche WUC-16 WUC-10, WUC-15 Campo di misura psi bar Sovrapressione di sicurezza 1) psi Pressione di scoppio 1) psi Altri campi di misura e unità di pressione (es. MPa, kg/cm 2 ) su richiesta Principio di misura Sensore a film sottile Materiale Parti a contatto con il fluido - Attacco al processo 316L VIM/VAR - Sensore di pressione / UNS R30003 Custodia 304 SS Particle test 0,1 µm particles 0,1 ptc / ft 3 secondo SEMI E49.8 Prova di tenuta con elio inboard < 1 x 10-9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) secondo SEMI F1 Qualità superficiale secondo SEMI F19 Volume non utilizzabile Fluidi consentiti Alimentazione U+ Segnale in uscita e carico max consentito R A in Ω Potenza Pi Regolazione del punto zero Tempo di assestamento ( %) Tensione di isolamento Precisione Elettrolucidata typ. R a 0,13 µm (R A 5) max. R a 0,18 µm (R A 7) WUC-10 < 1,5 cm³ WUC-15 < 1 cm³ WUC-16 < 1 cm³ Gas speciali, foschie, liquidi Vcc Vcc senza uscita V ma, 2 fili R A (U+ 10 V) / 0,02 A Vcc, 3 fili R A > 5 kω Vcc, 3 fili R A > 10 kω 1 W ,5 % dello span (tramite potenziometro) segnale d'uscita in corrente % dello span (tramite potenziometro) segnale d'uscita in tensione 300 ms 500 Vcc 0,2 % dello span ( 0,4 % dello span per campi di misura 2 bar) RSS (root sum squares) incl. nonlinearità, isteresi e non-repetibilità 0,5 2) % dello span ( 1,0 2) % dello span per campi di misura 2 bar) secondo IEC Non linearità 0,1 % dello span ( 0,15 % dello span per campi di misura 2 bar) (BFSL) secondo IEC Isteresi 0,14 % dello span Non ripetibilità 0,12 % dello span Stabilità a lungo termine 0,25 tipico/anno (alle condizioni di riferimento) Campi di temperatura ammessi Non Ex T4 T5 T6 Fluido C C C C Ambiente C C C C Stoccaggio C C C C Campo di temperatura C (con compensazione attiva) compensato Coefficienti di temperatura entro campo di temperatura compensato (compensazione attiva): Coefficiente medio per lo zero 0,1 % dello span/10 K Coefficiente medio per il fondo 0,15 % dello span/10 K scala Conformità RoHS Conformità CE Direttiva PED Direttiva EMC Direttiva ATEX Protezione antideflagrante (ATEX, IECEx) Tipo di protezione Ex Sì (non con connettore circolare a baionetta) 97/23/CE 2004/108/EC, EN (gruppo 1, classe B) emissioni e immunità alle interferenze (applicazione industriale) 94/9/CE Categoria 3G (per trasmettitori con marchio Ex) II 3G Ex na ic IIC T4/T5/T6 Gc (per trasmettitori con marchio Ex) Pagina 2 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2014

3 Specifiche tecniche Protezione Ex (FM) Classe I Tipo di protezione Ex Non.incendive classe I divisione 2 gruppo A, B, C e D Ambiente di produzione Camera bianca classe 5 conforme a ISO Imballo Doppio imballo conforme a SEMI E49.6 Resistenza agli shock 500 g (1,5 ms) conforme a IEC Resistenza alle vibrazioni 0,35 mm ( Hz) / 5 g ( Hz) secondo EN Protezione contro i cortocircuiti S+ vs. U- (breve periodo) Protezione inversione polarità U+ vs. U- Peso circa 0,1 kg 1) 1 psi = 0,069 bar 2) Include non linearità, isteresi, deviazione di zero e di fondo scala (corrisponde all'errore di misura secondo IEC ). Calibrato in posizione di montaggio verticale con attacco al processo verso il basso. Connettore a baionetta (4 poli) Connettore circolare M12 x 1 (4 poli) Uscita cavo 1,5 m e 3 m fili U + = A U- = D U + = 1 U- = 3 U + = red U- = black 3 fili U + = A U- = D S + = B U + = 1 U- = 3 S + = 4 U + = red U- = black S+ = marrone Sezione dei conduttori - - 0,22 mm² (AWG 24) Diametro del cavo - - 4,8 mm Grado di protezione IP 67 (NEMA 4) IP 67 (NEMA 4) IP 67 (NEMA 4) secondo IEC Le classi di protezione specificate valgono solamente quando il trasmettitore di pressione è collegato ai connettori femmina che forniscono la classe di protezione corrispondente. Connettore Sub-D HD (15 poli) Connettore Sub-D (9 poli) 2 fili U + = 7 U- = 5 U- = 12 3 fili U + = 7 U- = 5 U- = 12 Sezione dei conduttori - - U + = 4 U- = 8 U- = 9 S + = 2 U + = 4 U- = 8 U- = 9 S + = 1 Diametro del cavo - - Grado di protezione IP 54 IP 54 secondo IEC Le classi di protezione specificate valgono solamente quando il trasmettitore di pressione è collegato ai connettori femmina che forniscono la classe di protezione corrispondente. Scheda tecnica WIKA PE /2014 Pagina 3 di 8

4 Dimensioni in pollici [mm] WUC-10 Connettore circolare a baionetta 1/4" controdado, girevole Attacchi al processo 1/4" attacco a saldare 1/4 dado maschio, girevole 1/4" connettore a T, attacco a saldare Regolazione dello zero Pagina 4 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2014

5 Dimensioni in pollici [mm] WUC-15 Connettore circolare a baionetta Regolazione dello zero Attacchi al processo 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4 dado maschio, girevole 1/4 dado maschio, girevole, high flow through, high flow through disponibile solo con campi di misura fino a 25 bar / 300 psi 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4 dado maschio, girevole Scheda tecnica WIKA PE /2014 Pagina 5 di 8

6 Attacchi al processo per WUC-15 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4 dado maschio, girevole 1/4" attacco a saldare 1/4" attacco a saldare 1/4" attacco a saldare Pagina 6 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2014

7 Dimensioni in pollici [mm] WUC-16 Connettore circolare a baionetta MSM W 1 1/2" Regolazione dello zero Attacchi al processo MSM C 1 1/2" MSM C 1 1/8" Regolazione dello zero Regolazione dello zero Scheda tecnica WIKA PE /2014 Pagina 7 di 8

8 Orientamento connettore per il montaggio degli indicatori a inserto Orientamento connettore Standard 0 Opzionale Accessori Indicatore a inserto con LED WUR-1 Display a 4 cifre Grado di protezione IP 65 Precisione: 0,5 % ± 1 digit Fino a 2 uscite di commutazione configurabili 5 differenti unità di pressione selezionabili Vista frontale Vista dall'alto Modello WUR-1 N. d'ordinazione Ingresso Uscita Segnale Vista frontale Vista dall'alto M12 x 1 M12 x ma, 2 fili M12 x 1 M12 x 1 0,1 10,1 Vcc, 3 fili M12 x 1 M12 x 1 0,1 5,1 Vcc, 3 fili Baionetta Baionetta ma, 2 fili Baionetta Baionetta 0,1 10,1 Vcc, 3 fili Baionetta Baionetta 0,1 5,1 Vcc, 3 fili Baionetta Cavo ma, 2 fili Informazioni per l'ordine Modello / Campo di misura / Attacco al processo / Segnale in uscita / Alimentazione / Collegamento elettrico / Lunghezza cavo / Omologazione 2009 WIKA Alexander Wiegand SE & Co. KG, tutti i diritti riservati. Le specifiche tecniche riportate in questo documento rappresentano lo stato dell'arte al momento della pubblicazione. Ci riserviamo il diritto di apportare modifiche alle specifiche tecniche ed ai materiali. Pagina 8 di 8 Scheda tecnica WIKA PE / /2014 IT based on 06/2014 EN WIKA Italia Srl & C. Sas Via G. Marconi, Arese (Milano)/Italia Tel Fax info@wika.it