PROSPETTO MODULO A DOMANDA DI BREVETTO PER INVENZIONE INDUSTRIALE

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1 PROSPETTO MODULO A DOMANDA DI BREVETTO PER INVENZIONE INDUSTRIALE NUMERO DOMANDA: i I DATA DEPOSITO:129 febbraio 2008 A. RICIIIEDENTE/I COGNOME E NOME O DENOMINAZIONE, RESIDENZA OSTATO; ENEA - Ente per le Nuove Tecnologie, l'energia e l'ambiente, di,nazionalità italiana, con sede in Lungotevere Grande Ammiraglio Thaon di Revel, Roma TITOLO METODO PER LA FABBRICAZIONE DI UN RIVESTIMENTO SPETTRALMENTE SELETTIVO A BASE CERMET PER IL TUBO RICEVITORE DI UN CONCENTRATORE SOLARE, E MATERIALE COSÌ OTTENUTO SEZIONE CLASSE SOTTOCLASSE GRUPPO SOTTOGRUPPO E. CLASSE PROPOSTA O. RIASSUNTO Materiale di rivestimento superficiale per tubi ricevitori di impianti solari, in particolare del tipo a specchi para bolici lineari, costituito da una struttura multistrato comprendente uno strato inferiore di metallo ("back reflector") altamente riflettente nell'infrarosso ed uno strato superiore di materiale antiriflesso, tra i quali è predisposto uno strato di un innovativo materiale composito ceramico-metallico (CERMET) del tipo "graded", nella fattispecie con frazione volumetrica di metallo che diminuisce passando dal riflettore metallico allo strato antiriflettente. In particolare: i) la matrice ceramica del CERMET è composta da ossido di alluminio (Al 203), mentre le particelle metalliche disperse nella matrice ceramica sono costituite da tungsteno (W); ii) il "back reflector" è tungsteno nella sua forma cristallina a; iii) lo strato antiriflesso è ossido di alluminio oppure ossido di silicio. P. DISEGNO PRINCIPALE 1 1 CERMET "graded" A 4 FUNIIADEL/DEI RICHIEDENTE/I

2 Descrizione dell'invenzione industriale dal titolo: METODO PER LA FABBRICAZIONE DI UN RIVESTIMENTO SPETTRALMENTE SELETTIVO A BASE CERMET PER IL TUBO RICEVITORE DI UN CONCENTRATORE SOLARE, E MATERIALE COSÌ OTTENUTO; a nome dell'enea - Ente per le Nuove Tecnologie, l'energia e l'ambiente, con sede in Lungotevere Grande Ammiraglio Thaon di Revel, Roma. Inventori designati: ANTONAIA Alessandro, ESPOSITO Salvatore. La presente invenzione riguarda il settore degli impianti solari per la produzione di energia, ed in particolare un materiale innovativo da utilizzare come rivestimento superficiale del tubo ricevitore di un impianto solare, preferibilmente del tipo a specchi parabolici lineari, adatto ad operare ad elevata temperatura. Il tubo ricevitore, posizionato lungo la linea focale degli specchi parabolici, deve svolgere la funzione di assorbire la massima quantità di radiazione solare concentrata ed, allo stesso tempo, disperdere verso l'esterno la minima quantità del calore immagazzinato. Attualmente, i materiali adatti all'impiego come rivestimenti superficiali del tubo ricevitore sono 2

3 quelli che si comportano in maniera otticamente selettiva, cioè quei materiali le cui proprietà ottiche di riflettanza, assorbanza ed emissività emisferica si modificano apprezzabilmente con la lunghezza d'onda della radiazione passando dalla zona d'irradianza dello spettro solare alla zona dell'infrarosso termico. Il rivestimento da realizzare deve avere un comportamento quanto più prossimo a quello ideale: riflettanza nulla (assorbanza unitaria) nella regione spettrale della radiazione solare (lunghezza d'onda pm) e riflettanza unitaria (assorbanza ed emissività nulla) nella regione dell'infrarosso termico (lunghezza d'onda pm), con un passaggio a gradino tra le due regioni. I materiali generalmente utilizzati come assorbitori solari sono i metalli porosi, semiconduttori degeneri e i "CERMET", che sono materiali compositi ceramico-metallici dove nanoparticelle metalliche sono disperse in una matrice ceramica. In particolare, i CERMET sono materiali che soddisfano i requisiti sopraindicati avendo un elevato assorbimento nella regione dello spettro solare e risultando trasparenti nella regione 3

4 dell'infrarosso termico. Inoltre, essi risultano abbastanza stabili quando impiegati ad alta temperatura. L'interesse verso questi materiali compositi è incominciato nel 1950, quando Tabor, Gier e Dunkle presentarono i loro primi risultati sull'utilizzo dei CERMET come materiali di rivestimento per l'assorbimento selettivo della radiazione solare. Da quel momento sono state studiate le caratteristiche selettive di assorbimento di numerosi materiali compositi, in cui Cu, Ni, Co, Pt, Cr, Mo, W, Al e Ag sono stati i materiali metallici più utilizzati mentre la matrice ceramica è stata prevalentemente realizzata con SiO, Si02, Al203, AlN and MgO. Alcuni di questi materiali sono stati commercializzati per realizzare principalmente impianti solari termici di generazione di potenza (da pochi kw a decine di MW). I primi materiali compositi realizzati come assorbitori selettivi erano costituiti da uno strato di CERMET, con una frazione volumetrica omogenea di metallo, inserito tra uno strato metallico che fungeva da riflettore per l'infrarosso ed uno strato di materiale antiriflettente che consentiva un miglioramento dell'assorbimento dello spettro solare. T. S. Sathiaray et Al. depositarono, su un substrato 4

5 di Mo, 70nm di CERMET Ni-Al203 con una frazione volumetrica di 0,21 di Ni e coprirono il tutto con 60nm di antiriflettente Si02. Questa struttura presentò un assorbimento pari a 0,87 con un'emissività di 0,07 a 100 C. Strutture analoghe furono realizzate e di volta in volta fu possibile abbassare l'emissività accettando valori più bassi dell'assorbimento o migliorare l'assorbimento accettando valori più alti dell'emissività. In ogni caso i valori dell'assorbimento ottenuti con questo tipo di struttura non erano sufficientemente alti per essere utilizzati nella realizzazione di materiali di rivestimento per applicazioni termoelettriche; inoltre, quando la temperatura di lavoro saliva al di sopra dei 300 C l'emissività aumentava drasticamente degradando le prestazioni del rivestimento. Si è quindi passati a studiare rivestimenti superficiali con strutture più complesse in modo da ottenere assorbimenti superiori a 0,9 ed emissività le più basse possibili ad alte temperature. La prima struttura studiata e realizzata fu quella a contenuto variabile di metallo disperso nella matrice ceramica. Numerosi lavori condotti a partire dal 1977 mostrarono i benefici che si ottenevano inserendo tra il riflettore metallico e lo strato antiriflesso un 5

6 CERMET con frazione volumetrica di metallo che diminuiva passando dal riflettore metallico allo strato antiriflettente. Gli studi condotti in quegli anni da I.T. Ritche and B. Window misero in evidenza che fra i vari possibili profili che descrivevano il contenuto del metallo nella matrice ceramica quello lineare era quello che massimizzava l'assorbimento solare. Studi successivi, tra i quali quelli condotti da Qi-Chu Zhang, evidenziarono che questi tipi di materiali pur presentando il più alto assorbimento possibile, mostravano un'emissività che aumentava rapidamente con la temperatura. L'aumento era spiegabile mediante due tipi di effetti: la sovrapposizione in lunghezza d'onda dello spettro solare con lo spettro reirradiato dal rivestimento, che aumentava con l'aumentare della temperatura; la selettività della struttura a profilo variabile con continuità che non era così netta passando dalla regione a bassa riflettività nello spettro solare a quella ad alta riflettività nell'infrarosso. Per ovviare a questo comportamento alle alte temperature dei CERMET a profilo variabile con continuità, Qi-Chu Zhang propose una struttura alternativa costituita da una serie di strati sovrapposti di CERMET ciascuno con diverse frazioni volumetriche di metallo inseriti 6

7 tra un riflettore metallico e uno strato antiriflesso. Scegliendo opportunamente la percentuale volumetrica di metallo negli strati di CERMET era possibile modificare le proprietà selettive del rivestimento spostando la transizione tra la zona a bassa riflettività e quella ad alta riflettività così come avveniva nelle strutture a profilo lineare variabile con continuità modificando la pendenza del profilo. Infine, lavorando sullo spessore degli strati era possibile ottenere una transizione molto più netta tra la bassa riflettanza nello spettro solare e l'alta riflettanza nell'infrarosso sfruttando gli effetti benefici dell'interferenza tra i segnali riflessi dai vari strati. Pertanto, nonostante questa struttura non fosse capace di fornire valori di assorbimento comparabili con quelli della struttura a profilo variabile con continuità, riusciva a garantire prestazioni tanto migliori quanto maggiore era la temperatura operativa del rivestimento. A tutt'oggi entrambe le strutture, quella con il CERMET multistrato e quella col CERMET a profilo variabile con continuità, hanno trovato impiego nel settore commerciale per la realizzazione di sistemi domestici ed industriali di produzione di acqua calda 7

8 e di produzione di energia elettrica. E' da notare che, in generale, le temperatura d'impiego dei rivestimenti non supera i 400 C per cui le prestazioni dei sistemi sono confrontabili indipendentemente dalla struttura utilizzata come rivestimento. Come risulta evidente da un'analisi di mercato sui prodotti attualmente disponibili sul mercato dei tubi ricevitori per impianti solari del tipo a specchi parabolici lineari, uno dei maggiori limiti dei rivestimenti CERMET attualmente noti, è il valore della massima temperatura a cui possono lavorare garantendo delle buone prestazioni ed una buona stabilità nel tempo. Un parametro utile per confrontare le prestazioni dei concentratori solari degli impianti termoelettrici è l'efficienza di conversione foto-termica (npt): at 2 11p, =a c h C7 dove a è l'assorbanza, eh è l'emissività, a è la costante di Stefan-Boltzmann, T è la temperatura del rivestimento, I è l'irradianza della componente diretta dello spettro solare valutata ad AM 1,5 e C è il fattore di concentrazione (apertura dello specchio/circonferenza del tubo ricevitore). Costituisce un primo scopo dell'invenzione, 8

9 quello di fornire un materiale di rivestimento per tubi ricevitori dotato di una buona stabilità chimica, strutturale e meccanica in tutto l'intervallo di temperatura di funzionamento, in particolare fino a 380 C negli impianti solari tradizionali che utilizzano olio diatermico come fluido di scambio, fino a 580 C negli impianti solari innovativi che utilizzano Sali fusi come fluido di scambio. Un secondo scopo del trovato è di fornire un materiale di rivestimento del tipo suddetto atto a fornire un'elevata assorbanza nella regione spettrale della radiazione solare (lunghezza d'onda Un terzo scopo dell'invenzione è di fornire un materiale di rivestimento del tipo suddetto atto a fornire una bassa emissività fino alla massima temperatura di funzionamento, preferibilmente pari a 580 C, in un impianto solare per la produzione di energia con tecnologia a specchi parabolici lineari. Un quarto scopo del trovato è di fornire un materiale di rivestimento del tipo suddetto atto a fornire eccellenti prestazioni in termini di alta assorbanza e di bassa emissività in tutto l'intervallo di variazione della temperatura di 9

10 esercizio ( C) lungo il collettore lineare solitamente in acciaio (la cui lunghezza è, ad esempio, 0+600m) che si traduce nella possibilità di produrre un solo tipo di materiale come rivestimento con evidenti benefici tecnologici ed economici nella fase di realizzazione dell'impianto. Un quinto scopo del trovato consiste nel fornire un processo di fabbricazione degli strati costituenti il rivestimento caratterizzato da alta affidabilità e riproducibilità di deposizione, mediante l'impiego di tecniche di deposizione quali sono quelle di sputtering DC ed RF e quelle di sputtering reattivo. Ciò è stato ottenuto, secondo il trovato, fornendo un materiale di rivestimento multistrato secondo la rivendicazione l, comprendente uno strato inferiore di metallo altamente riflettente nell'infrarosso ed uno strato superiore di materiale antiriflesso, tra i quali è predisposto uno strato di un innovativo materiale composito ceramico-metallico CERMET del tipo "graded", nella fattispecie con frazione volumetrica di metallo che diminuisce passando dal riflettore metallico allo strato antiriflettente. In particolare : A) Il primo strato otticamente attivo del 1 0

11 rivestimento selettivo è il riflettore nell'infrarosso ("back reflector") ed è costituito da tungsteno depositato tramite sputtering DC nella forma cristallina a, la quale rappresenta la struttura del tungsteno a più alta riflettività nell'infrarosso. Secondo una caratteristica peculiare dell'invenzione, al fine di ottenere la formazione di strati di W con fase a al 100% su un substrato di acciaio senza la necessità di costosi pretrattamenti del substrato stesso e senza la necessità di lavorare in ambienti speciali, è reso possibile prevedendo una deposizione preventiva di uno strato di adattamento costituito da uno strato di CERMET W-Al203 a contenuto metallico costante: la deposizione di detto strato di adattamento, producendo sia un innalzamento di temperatura del substrato di acciaio sia l'incorporazione delle specie "avvelenanti" (come ad es.: H20, CO2) per il W, evita la germinazione di grani di fase p e favorisce la crescita diretta di W di fase a. Il tungsteno di tipo a così prodotto rappresenta: i) un ottimo riflettore ottico nell'infrarosso anche per spessori di deposito molto contenuti (< 0.15 micron); 11

12 ii) un materiale ad alta stabilità chimico-fisica quando impiegato ad alta temperatura; iii) un ottimo strato-barriera che impedisce diffusioni elementali inquinanti (C, Ni) dall'acciaio verso il CERMET. B) La matrice ceramica del CERMET è composta da ossido di alluminio (Al203) depositato mediante sputtering RF oppure mediante tecnica di sputtering reattivo in ambiente con miscela Argon-Ossigeno, mentre le particelle metalliche disperse nella matrice ceramica sono costituite da tungsteno (W) depositato mediante sputtering DC. Il processo complessivo per la fabbricazione del CERMET risulta quindi essere un co-sputtering DC-RF oppure un cosputtering DC-Reattivo, mentre la deposizione di tipo "graded", nella fattispecie caratterizzata da un contenuto metallico che diminuisce al crescere dello spessore, viene ottenuta mediante variazione continua della potenza di catodo durante il tempo di fabbricazione del CERMET. Vantaggiosamente, il CERMET W-Al203 di tipo "graded" così prodotto risulta essere un materiale molto stabile ad alta temperatura e con le migliori prestazioni in termini di elevato assorbimento dello spettro solare. 12

13 C) Lo strato antiriflesso è costituito da ossido di alluminio (Al203) o ossido di silicio (Si02) ed è fabbricato mediante sputtering RF oppure mediante sputtering reattivo. Una migliore comprensione dell'invenzione si avrà con la presente descrizione e con riferimento alle figure allegate che illustrano, a solo titolo esemplificativo e non già limitativo, una preferita forma realizzativa del trovato e le peculiari caratteristiche di selettività ottica. Nei disegni: la figura l mostra la struttura del rivestimento secondo il trovato, relativamente alla preferita forma di realizzazione in cui il primo strato depositato è un materiale di adattamento di tipo CERMET, il secondo è uno strato di tungsteno di fase a, il terzo è un CERMET W-Al203 di tipo "graded", il quarto è uno strato di allumina o di silice, per un totale di quattro strati sottili; la figura 2 è un diagramma che mostra la Riflettanza spettrale sperimentale di un rivestimento realizzato in laboratorio secondo il trovato, nonchè i dati sperimentali relativi ai parametri fototermici di interesse, in particolare l'assorbanza solare a e l'emissività emisferica c valutata a 2 13

14 differenti temperature operative (400 e 580 C) Nella preferita forma realizzativa che si descrive (fig. 1), il rivestimento comprende quattro strati che, a partire dal substrato inferiore di acciaio, sono rispettivamente costituiti da: 1. uno strato di adattamento 4 costituito da un materiale di CERMET W-Al203 a contenuto metallico costante avente uno spessore da 0.06 a 0.13 Rm, preferibilmente di 0.09 pm; 2. uno strato di tungsteno l con fase cristallina a avente uno spessore da 0.05 a 0.25 Rm, preferibilmente di 0.12 Rm; 3. uno strato di materiale composito 2 ceramicometallico CERMET W-Al203 del tipo "graded" avente uno spessore da 0.05 a 0.15 Rm, preferibilmente di gm, il cui contenuto metallico diminuisce dallo strato inferiore l "back reflector" verso lo strato superiore 3 antiriflesso; 4. uno strato antiriflesso 3 costituito da Al203 o Si02 avente uno spessore da a 0.15 Rm, preferibilmente di 0.07 gm. Come si è già avuto modo di accennare, la presente invenzione nasce dall'esigenza di realizzare un materiale innovativo le cui proprietà selettive in 14

15 lunghezza d'onda della radiazione solare consentano di impiegarlo come rivestimento dei tubi ricevitori del sistema di concentrazione lineare di un impianto solare termoelettrico operante a temperatura medioalta (con fluido di scambio fino a ). Allo stesso tempo, vi è l'esigenza di fornire processi di fabbricazione di detto rivestimento che siano affidabili e perfettamente ripetibili. In altre parole, si tratta di un rivestimento la cui struttura selettiva utilizza un materiale composito metallo-ceramica CERMET (W-Al203) altamente stabile e che assicura, ad una temperatura massima di funzionamento dell'impianto pari a 550 C, efficienze di conversione foto-termica superiori allo 0,75 per un fattore di concentrazione solare superiore a 50. Questa struttura selettiva è composta preferibilmente da quattro strati che vengono fabbricati, preferibilmente mediante tecnica di sputtering DC e di sputtering RF oppure di sputtering reattivo, a partire da target metallici e ceramici oppure da soli target metallici. Allo stato attuale, già vengono proposti processi di sputtering DC, RF e reattivo per la fabbricazione dei rivestimenti spettralmente selettivi, ma nessuno di questi rivestimenti multi- 15

16 strato viene fabbricato utilizzando tungsteno sia per lo strato di "back reflector" sia per lo strato di CERMET. Inoltre, secondo il trovato, la possibilità di produrre, tramite sputtering DC e con ottima ripetibilità, degli strati di tungsteno con struttura cristallina in fase a senza utilizzare accorgimenti particolarmente costosi ed impegnativi, quali riscaldamento diretto del substrato e sistema di pompaggio per ultra-alto vuoto, è un fattore che rende economicamente e tecnologicamente molto vantaggioso l'utilizzo del tungsteno stesso in qualità di riflettore ottico per l'infrarosso. E' anche interessante osservare che, poichè il materiale di rivestimento secondo il trovato è atto ad essere usato per rivestire un collettore solare che si sviluppa lungo la linea focale dei concentratori e che raggiunge una temperatura massima di circa 580 C, assicurando una temperatura del fluido in uscita sostanzialmente pari a 550 C, il rendimento termoelettrico dell'impianto rivestito con il materiale secondo l'invenzione è vantaggiosamente superiore a quello dei sistemi fino ad oggi realizzati, che lavorano a temperature più basse (<400 C) o ricorrono ad ulteriori riscaldamenti di 16

17 tipo tradizionale del fluido per portarlo alla temperatura ottimale di lavoro. Secondo il trovato infatti, l'impiego di temperature del fluido più elevate consente di avere alte efficienze in turbina perchè non è necessario riscaldare il fluido prima dell'ingresso nella girante. Da quanto detto sopra, si evince che costituisce oggetto della presente invenzione anche il metodo di fabbricazione del rivestimento multistrato per collettori solari. Tale procedimento comprende sostanzialmente le seguenti fasi: A. mediante tecnica di co-sputtering DC-RF a partire da target di tungsteno ed allumina ovvero mediante tecnica di co-sputtering DC-Reattivo a partire da target di tungsteno ed alluminio e con potenze di catodo costanti, realizzazione di uno strato di adattamento 4 costituito da un materiale di CERMET W-Al203 a contenuto metallico costante; B. mediante tecnica di sputtering DC a partire da un target di tungsteno, realizzazione di uno strato inferiore di tungsteno 1 con fase cristallina a sopra lo strato di adattamento 4; C. mediante tecnica di co-sputtering DC-RF a partire 17

18 da target di tungsteno ed allumina ovvero mediante tecnica di co-sputtering DC-Reattivo a partire da target di tungsteno ed alluminio e con potenze di catodo variabili nel tempo, realizzazione di uno strato di materiale composito 2 ceramico-metallico CERMET W-Al203 del tipo "graded", il cui contenuto metallico diminuisce dallo strato inferiore l "back reflector" verso lo strato superiore 3 antiriflesso; D. mediante tecnica di sputtering RF a partire da un target di allumina o di silice ovvero mediante tecnica di sputtering reattivo a partire da un target di alluminio o di silicio, realizzazione di uno strato antiriflesso 3 costituito da Al203 oppure da Si02. La presente invenzione è stata descritta ed illustrata in una sua preferita forma di realizzazione e di attuazione, ma è evidente che qualunque tecnico esperto del ramo potrà apportarvi modifiche e/o sostituzioni tecnicamente e funzionalmente equivalenti, senza peraltro esulare dall'ambito di tutela della presente privativa industriale. 18

19 RIVENDICAZIONI: 1. Materiale di rivestimento superficiale per tubi ricevitori di impianti solari, in particolare del tipo a specchi parabolici lineari, caratterizzato dal fatto di essere costituito da una struttura multistrato comprendente uno strato inferiore di metallo riflettente nell'infrarosso (1) ed uno strato superiore di materiale antiriflesso (3), tra i quali è previsto uno strato di materiale composito(2) ceramico-metallico o CERMET, la cui componente metallica è tungsteno (W) mentre la componente ceramica è ossido di alluminio (Al203). 2. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione l, caratterizzato dal fatto che il metallo riflettente nell'infrarosso (1) è tungsteno (W) ottenuto nella sua forma cristallina a ad alta riflettività per mezzo di una deposizione preliminare, sul substrato di acciaio, di un ulteriore strato di adattamento (4) di uno strato di adattamento (4) costituito da un materiale di CERMET W-Al203 a contenuto metallico costante. 3. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione l, caratterizzato dal fatto che lo strato intermedio di CERMET (2) è di tipo "graded" il cui contenuto metallico diminuisce con continuità dal 19

20 riflettore metallico (1) verso lo strato superiore antiriflesso (3). 4. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione l, caratterizzato dal fatto lo strato antiriflesso (3) è allumina (Al203) ovvero silice (Si02). 5. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione 2, caratterizzato dal fatto che il tungsteno è depositato mediante tecnica di sputtering DC a partire da target metallico. 6. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione 4, caratterizzato dal fatto che lo strato antiriflesso (3) di allumina o di silice è depositato mediante tecnica di sputtering RF a partire da target ceramico ovvero mediante tecnica di sputtering reattivo a partire da target metallico. 7. Materiale di rivestimento secondo la rivendicazione 2, caratterizzato dal fatto che gli strati (2 e 4) di materiale composito CERMET W-Al203 sono depositati mediante co-sputtering DC-RF a partire da target metallico per il metallo e da target ceramico per l'allumina ovvero mediante cosputtering DC-Reattivo a partire da due target entrambi metallici. 8. Materiale di rivestimento secondo la 20

21 rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che lo strato inferiore metallico (1) è di tungsteno nella sua forma cristallina a, che è altamente riflettente nell'infrarosso anche per spessori di deposito molto contenuti (< 0.20 micron), stabile in vuoto, poco diffondenti ad alta temperatura, e funge anche da ottimo strato barriera contro le diffusioni elementali dall'acciaio verso lo strato CERMET (2). 9. Materiale di rivestimento secondo una delle rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che è stabile fino ad una temperatura di esercizio di 580 C; ottenendosi così una temperatura massima per il fluido di lavoro pari a circa 550 C. 10. Materiale di rivestimento secondo una delle rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che, per una temperatura operativa pari a 580 C, ha un'assorbanza a>0,94; un'emissività Eh<0,14; ed un'efficienza di conversione foto-termica ript>0, Procedimento per la fabbricazione di un materiale di rivestimento superficiale per collettori di impianti solari, in particolare del tipo a specchi parabolici lineari, caratterizzato dal fatto di comprendere sostanzialmente le seguenti fasi: A. realizzazione di uno strato (4) di adattamento su un substrato di acciaio costituito dalla superficie del 21

22 collettore solare da rivestire; detto strato di adattamento essendo costituito da un materiale CERMET W-Al203 depositato mediante tecnica di cosputtering DC-RF ovvero mediante tecnica di cosputtering DC-Reattivo, ed essendo atto a fungere da substrato ottimale per la crescita di tungsteno con fase cristallina a. B. realizzazione di uno strato di metallo riflettente (1) che è costituito da tungsteno con fase cristallina a ottenuto mediante tecnica di sputtering DC. C. realizzazione di uno strato intermedio (2) di CERMET "graded" W-Al203 mediante tecnica di co-sputtering DC-RF, a partire da un target metallico per il tungsteno e da un target ceramico per l'ossido di alluminio ovvero mediante tecnica di co-sputtering DC-Reattivo a partire da due target entrambi metallici. D. realizzazione di uno strato superiore antiriflesso (3) di ossido di alluminio o di ossido di silicio mediante tecnica di sputtering RF a partire da un target ceramico ovvero mediante tecnica di sputtering reattivo a partire da un target metallico. 12. Materiale di rivestimento superficiale per 22

23 collettori di impianti solari, in particolare del tipo a specchi parabolici lineari, come sostanzialmente descritto ed illustrato nella presente descrizione e nelle figure allegate. Per il Richiedente, il Rappresentante. 23

24 1/1./ CERMET { "graded" 4o-- 2 FIG u_ 40 T a (solar) =0.96 E =0.06 (400 C) ir\ E = 0.11 (580 C) i i I i ' ' I MAr r I C) 6 I 1, I li, I. i. it i o i O t 1' 1, - i 9 I 12 r e A i l 1.,' "el I II - l. o u \ LUNGHEZZA D'ONDA (nm) 2000 r: E 1000 < o 500 o CE CE FIG. 2

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