Strumentazione e controllo processo

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Giulietta Pini
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1 MKS INSTRUMENTS Nome d indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore di produzione dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati. Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato una vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, che vanno dal prodotto finito al servizio globale di assistenza di elevata professionalità. L eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi. MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986; questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo. Strumentazione e controllo processo MKS Instruments

2 BARATRON misura e controllo della pressione I sensori a membrana capacitiva, conosciuti universalmente con il nome Baratron, sono tra i prodotti di punta di Mks. Strumentazione e controllo processo MKS Intruments Controllori automatici (analogici o digitali), valvole a farfalla e a pendolo, completano la linea di prodotti necessari al totale controllo della pressione upstream e downstream nelle linee di processo. Sistema per il controllo della pressione Upstream Trasduttore di pressione Baratron Trasduttori di pressione MicroBaratron Sistema per il controllo della pressione Downstream

3 MASSFLO misura e controllo dei flussi Le serie Mass-Flo Meter e Mass-Flo Controller misurano e controllano il flusso di gas e grazie alle loro caratteristiche, alla funzionalità e alle prestazioni, vanno incontro alle richieste dei produttori di componenti a semiconduttori, di dispositivi ottici, di display a schermo piatto ed in applicazioni ultra-pure. Alimentatore e lettore PR4000 Massflo Serie 11 Massflo Serie 15 Vuoto misura e gestione La divisone HPS produce componenti, anche customizzati, quali valvole, sensori di misura, riscaldatori, trappole per foreline, realizzati specificatamente per un ampia gamma di applicazioni in vuoto. Questi offrono soluzioni complessive ai problemi di contaminazione dei sistemi, di downtime e di degasaggio. HPS offre inoltre per i settori biofarmaceutico e biotecnologico, ove l alta purezza dei materiali è requisito essenziale, una linea completa di componenti conformi alle normative ASME BPE. Valvola a doppio stadio Esempio di realizzazione di una foreline Misuratori e trasduttori Serie 900

4 RGA - FTIR analisi dei gas MKS offre un ampia scelta di strumentazione di alta gamma per l analisi dei gas utilizzante tecniche FTIR, NDIR e RGA. Questi strumenti si rivelano specifici per analisi dei gas in continuo, per il monitoraggio dei processi, per il monitoraggio delle celle combustibili, per la rilevazione di tracce d impurità, per il monitoraggio continuo delle emissioni (CEM) e l analisi degli esausti. Vision 1000 spettrometro di massa Software Easyiew per la gestione dell analisi dei gas Multigas 2000 sistema FTIR Pico ricerca delle fughe MKS Instruments ha creato, ad integrazione dei prodotti per il controllo di flussi e pressioni, un cercafughe portatile estremamente compatto adatto all utilizzo su linee da vuoto e pressione. Pico sniffing leak detector Pico vacuum leak detector

5 RF/DC generatori per trattamenti in plasma MKS ENI produce una vasta gamma di generatori RF, alimentatori DC, DC pulsata e reti d adattamento destinati ai mercati della produzione di semiconduttori, deposizione film sottili e ottici, e della produzione di supporti magnetici. Caratteristiche peculiari di questi prodotti sono un elevata densità ed un ampio margine di potenza, un ottima stabilità, ed un elevata affidabilità, caratteristiche che rendono questi generatori adatti all utilizzo in applicazioni critiche. Generatori RF serie SurePower Astex gas reattivi Il marchio Astex include una famiglia di generatori di gas reattivi, quali NF3 e Ozono ed una gamma completa di sorgenti a microonde con potenze da 250W a 6KW. R_evolution sorgente a plasma per processi on-wafer Sistema Liquozone O 3 mega sistema integrato per la regolazione di ozono

6 Ion System controllo elettrostatico Strumentazione e controllo processo La divisione ION Systems produce strumenti atti a fornire soluzioni al problema delle cariche elettrostatiche in applicazioni tipiche del core business MKS quali i semiconduttori, del mass storage e dei display a schermo piatto. Sono naturalmente applicabili anche ad altri settori industriali. Serie Aerobar CIT control & information technology Il gruppo CIT di MKS fornisce le tecnologie più aggiornate per il monitoraggio, il controllo e la raccolta in tempo reale dei parametri di processo, elementi critici in settori ove la tracciabilità del processo risulta fattore fondamentale per la sicurezza e la ripetibilità del processo stesso. Umetrics fornisce software in grado di effettuare un analisi multivariata dei dati, per la prevenzione dei possibili problemi sugli impianti. MKS instruments

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