Trasmettitore Ultra High Purity Per aree classificate a rischio d'esplosione, Ex na ic Modelli WUC-10, WUC-15 e WUC-16

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1 Misura di pressione elettronica Trasmettitore Ultra High Purity Per aree classificate a rischio d'esplosione, Ex na ic Modelli WUC-10, WUC-15 e WUC-16 Scheda tecnica WIKA PE Applicazioni Industria dei semiconduttori e fotovoltaica, produzione schermi piatti Sistemi con fluidi ultrapuri e gas speciali (moduli per distribuzione gas di processo, pannelli gas, alimentazione bulk gas, parchi serbatoi) Caratteristiche distintive Costruzione compatta Omologazione ATEX e IECEx zona 2 FM classe I div. 2 gruppi A, B, C & D Grado di protezione IP67 (NEMA 4) con potenziometro di zero ad accesso laterale Eccellente stabilità EMC Compensazione di temperatura attiva Trasmettitore Ultra High Purity Fig. a sinistra: WUC-10, single end Fig. centrale: WUC-15, flow through Fig. a destra: WUC-16, modular surface mount Descrizione Compatto L'esecuzione compatta del trasmettitore WUC-1x consente di risparmiare spazio in impianti ed installazioni. Il trasmettitori della serie WUC-15 e 16 si distinguono per le loro eccellenti proprietà auto-drenanti. La speciale connessione del sensore elimina interferenze sul segnale dovute ai carichi sugli attacchi al processo o ai cordoni di saldatura. Versatile L'elevato grado di protezione IP67 permette inoltre di utilizzarli in condizioni esterne difficili come i parchi serbatoi o altre installazioni esterne per gas speciali. Questa serie di strumenti è stata progettata anche per l'uso in zona 2 (Ex). La classificazione di temperatura T6 garantisce che anche le misure di fluidi con basse temperature di auto-innesco, ad esempio come PH3 (fosfina), non rappresentano un problema. Scheda tecnica WIKA PE /2017 Affidabile Con risciacquo a pressione di tipo ciclico, elevati valori di strozzatura del gas (effetto Joule-Thompson) e funzionamento in esterni, possono verificarsi elevate fluttuazioni della temperatura. La compensazione attiva della temperatura rileva tali variazioni e ne riduce l'effetto. In tal modo si garantisce una misura stabile. La regolazione del punto zero ad accesso laterale è in esecuzione a tenuta stagna, mantenendo quindi l'elevato grado di protezione IP67. La facilità d'uso la protezione da regolazioni accidentali è assicurata. Per tutte le parti a contatto col fluido, vengono impiegati i materiali 316L VIM VAR e speciali sensori a film sottile in / UNS R Prima dell'assemblaggio finale, tutte le parti a contatto col fluido vengono elettrolucidate e pulite con procedure all'avanguardia. Tramite l'esame di ogni singolo trasmettitore si garantisce che i valori richiesti per la tenuta, la stabilità alla sovrapressione, la precisione e alle particelle siano soddisfatti secondo le normative applicabili SEMI. Pagina 1 di 8

2 Specifiche tecniche Modello WUC-16 Modello WUC-10, WUC-15 Campo di misura (psi) Campo di misura (bar) Protezione da sovraccarico (psi) Pressione di scoppio (psi) Principio di misura Materiali Ulteriori campi di misura a richiesta Sensore a film sottile Parti a contatto con il fluido Attacco al processo: 316L VIM/VAR Sensore a film sottile: / UNS R30003 Custodia 304 SS Particle test 0,1 µm particelle 0,1 ptc / ft3 secondo SEMI E49.8 Prova di tenuta con elio Trattamento superficiale Volume non utilizzabile Fluidi consentiti Alimentazione U+ Segnale in uscita e carico max consentito R A in Ω Potenza P max Regolazione del punto zero Tempo di risposta ( %) Tensione di isolamento Precisione < 1 x 10-9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) secondo SEMI F1 Lucidatura elettrochimica, tipico Ra 0,13 µm (RA 5); max. Ra 0,18 µm (RA 7), secondo SEMI F19 WUC-10 < 1,5 cm³, WUC-15 < 1 cm³, WUC-16 < 1 cm³ Gas speciali, vapori, liquidi Vcc con segnale di uscita Vcc / ma Vcc con segnale di uscita Vcc ma, 2 fili, R A (U+ 10 V) / 0,02 A Vcc, 3 fili R A > 5 kω Vcc, 3 fili R A > 10 kω 1 W ,5 % dello span (tramite potenziometro) segnale d'uscita in corrente % dello span (tramite potenziometro) segnale d'uscita in tensione 300 ms 500 Vcc 0,2 % dello span ( 0,4 % dello span per campi di misura 2 bar) RSS (somma radici quadrate) 0,5 % dello span 1) ( 1,0 % dello span 1) per campi di misura 2 bar) secondo IEC Non linearità 0,1 % dello span ( 0,15 % dello span per campi di misura 2 bar) (BFSL) secondo IEC Isteresi Non ripetibilità Stabilità per anno 0,14 % dello span 0,12 % dello span 0,25 % dello span (tipico) con condizioni di riferimento ( 0,4 % dello span con campi di misura 2 bar) Campi di temperatura ammessi non Ex T4 T5 T6 Fluido C Ambiente C F Stoccaggio C Campo di temperatura compensato Coefficienti nel campo di temperatura compensato (compensazione attiva) Coefficiente medio per lo zero Coefficiente medio per il fondo scala C F C F C C F C F C C, F (con compensazione attiva) 0,1 % dello span/10 K 0,15 % dello span/10 K Ambiente di produzione Camera bianca classe 5 conforme a ISO Imballo Doppio imballo conforme a SEMI E49.6 Resistenza agli shock 500 g (1,5 ms) conforme a IEC Resistenza alle vibrazioni 0,35 mm ( Hz) / 5 g (58, Hz) conforme a EN Protezione contro i cortocircuiti S + vs. U- (breve periodo) Protezione inversione polarità U + vs. U- Peso 0,1 kg circa 1) Include non linearità, isteresi, deviazione di zero e di fondo scala (corrisponde all'errore di misura secondo IEC ) C F C F C Pagina 2 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2017

3 Connessioni elettriche Connettore a baionetta (4 pin) Connettore circolare M12 x 1 (4 pin) Uscita cavo 1,5 m e 3 m fili U+ = A U- = D U+ = 1 U- = 3 U+ = red U- = nero 3 fili U+ = A U- = D S+ = B U+ = 1 U- = 3 S+ = 4 U+ = red U- = nero S+ = marrone Sezione trasversale del conduttore - - 0,22 mm² (AWG 24) Diametro del cavo - - 4,8 mm Grado di protezione secondo IEC IP67 (NEMA 4) IP67 (NEMA 4) IP67 (NEMA 4) Il grado di protezione è applicabile solo con connettori installati e del grado di protezione adeguato. Connessioni elettriche Connettore Sub-D, 9 pin Connettore Sub-D HD (15 pin) 2 fili U + = 4 U- = 8 U- = 9 3 fili U + = 4 U- = 8 U- = 9 Sezione trasversale del conduttore - - Diametro del cavo - - Grado di protezione secondo IEC IP54 U + = 7 U- = 5 U- = 12 S + = 1 U + = 7 U- = 5 U- = 12 S + = 2 Il grado di protezione è applicabile solo con connettori installati e del grado di protezione adeguato. IP54 Scheda tecnica WIKA PE /2017 Pagina 3 di 8

4 Dimensioni in pollici [mm] WUC-10 Connessioni elettriche Connettore circolare a baionetta 1/4" controdado, girevole Attacchi al processo 1/4" manicotto a saldare 1/4" dado maschio, girevole 1/4" connettore a T, manicotto a saldare Max. pressione disponibile: 300 psi Regolazione dello zero Pagina 4 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2017

5 Dimensioni in pollici [mm] WUC-15 Connessioni elettriche Connettore circolare a baionetta Regolazione dello zero Attacchi al processo 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4" dado maschio, girevole 1/4" dado maschio, girevole, high flow through, high flow through disponibile solo con campi di misura fino a 25 bar / 300 psi 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4" dado maschio, girevole Scheda tecnica WIKA PE /2017 Pagina 5 di 8

6 Attacchi al processo per WUC-15 1/4" controdado (femmina), girevole 1/4" dado maschio, girevole 1/4" manicotto a saldare 1/4" manicotto a saldare 1/4" manicotto a saldare Pagina 6 di 8 Scheda tecnica WIKA PE /2017

7 Dimensioni in pollici [mm] WUC-16 Connessioni elettriche Connettore circolare a baionetta MSM W 1 1/2" Regolazione dello zero Attacchi al processo MSM C 1 1/2" MSM C 1 1/8" Regolazione dello zero Regolazione dello zero Scheda tecnica WIKA PE /2017 Pagina 7 di 8

8 Omologazioni Logo Descrizione Paese Dichiarazione conformità UE Direttiva EMC EN emissione (gruppo 1, classe B) e immunità alle interferenze (applicazione industriale) Direttiva PED Direttiva RoHS Direttiva ATEX (opzione) Aree pericolose Unione europea - Ex n Zona 2 gas [II 3G Ex na ic IIC T4/T5/T6 Gc X] IECEx (opzione) Aree pericolose - Ex n Zona 2 gas [Ex na ic IIC T4/T5/T6 Gc] FM (opzione) Aree pericolose - Apparecchio antiaccensione per l'uso in Classe I, Divisione 2, Gruppi A, B, C, D - Antiaccensione per l'uso in Classe I, Zona 2, zone Gruppo IIC (classificate) Internazionale USA Informazioni per l'ordine Modello / Campo di misura / Attacco al processo / Segnale in uscita / Alimentazione / Collegamento elettrico / Lunghezza cavo / Omologazione 2009 WIKA Alexander Wiegand SE & Co, tutti i diritti riservati. Le specifiche tecniche riportate in questo documento rappresentano lo stato dell'arte al momento della pubblicazione. Ci riserviamo il diritto di apportare modifiche alle specifiche tecniche ed ai materiali. Pagina 8 di 8 Scheda tecnica WIKA PE / /2017 IT based on 08/2017 EN WIKA Italia Srl & C. Sas Via Marconi, Arese (Milano)/Italia Tel Fax info@wika.it