CIG CAPITOLATO TECNICO

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1 Gara a procedura aperta per la fornitura di un evaporatore termico ed a fascio elettronico, presso la sede della Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia, sita in Genova, Via Morego 30 CIG CAPITOLATO TECNICO 1

2 1. OGGETTO DELLA FORNITURA 1.1. La fornitura ha ad oggetto l acquisto a corpo della proprietà, a titolo esclusivo e perpetuo, di un evaporatore termico ed a fascio elettronico dotato di sorgente elettronica e termica con camera da vuoto da realizzarsi secondo puntuali specifiche tecniche fornite dalla Fondazione. Il sistema dovrà essere idoneo all installazione in camera pulita Classe ISO7 rispettante gli standard ISO Nell'oggetto del presente capitolato sono altresì comprese le seguenti prestazioni: - trasporto e consegna presso la sede della Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia sita a Genova in Via Morego, 30, di cui al successivo paragrafo 3.1; - installazione presso il locale denominato CLEAN ROOM sito al Livello -1 della suddetta sede della Fondazione, di cui al successivo paragrafo 3.2; - manutenzione ordinaria e straordinaria per la durata indicata in sede di offerta, comunque non inferiore a 12 mesi, di cui al successivo paragrafo 4; - l'attività formativa, di cui al successivo paragrafo Le caratteristiche indicate al paragrafo seguente costituiscono requisiti tecnici minimi imprescindibili dell oggetto della presente fornitura. Saranno, quindi, accettati requisiti tecnici superiori a quelli minimi richiesti. Alcune delle migliorie alle condizioni tecniche e alle prescrizioni contrattuali minime stabilite nel presente capitolato saranno valutate secondo i criteri, che fanno riferimento anche ad ulteriori aspetti dell offerta, specificati al successivo art Pertanto, nel caso in cui l offerta tecnica contenga una o più delle citate migliorie, le corrispondenti previsioni capitolari s intenderanno automaticamente sostituite con quelle apposte dall aggiudicatario in sede di offerta tecnica. 1.3 Tutta la strumentazione e i materiali della presente fornitura dovranno essere delle migliori qualità nelle rispettive loro specie, senza difetti, originali e nuovi di fabbrica o in ogni caso con caratteristiche uguali a quanto prescritto nel presente capitolato, completi di tutti gli accessori necessari al loro funzionamento e al soddisfacimento delle specifiche tecniche richieste. 1.4 Tutti i costi di trasporto, consegna e installazione a regola d arte di cui successivo paragrafo 3, di garanzia e manutenzione di cui al successivo paragrafo 4, nonché quelli di formazione di cui al successivo punto 5 sono interamente ed integralmente remunerati nel prezzo contenuto nell offerta economica presentata dall aggiudicatario. 2. REQUISITI TECNICI MINIMI 2.1 L evaporatore termico ed a fascio elettronico deve possedere i seguenti requisiti tecnici minimi: 2

3 A) Per quanto concerne la camera da vuoto: a1) distanza di lavoro tra la sorgente ed il campione non inferiore a cinquanta centimetri; a2) compatibilità con procedura di baking per ripristino a vuoto fino a 150 gradi centigradi; a3) accesso alla camera da vuoto tramite apertura a porta e load-lock; a4) possibilità di realizzare un vuoto in camera di almeno 1.0*10 6 mbar in non oltre un ora; a5) possibilità di realizzare un vuoto in camera di almeno 1.0*10 ⁷ mbar in non oltre tre ore; a6) parte esterna alla camera load-lock rimovibile (flange DN 100), per poter eseguire il trasferimento in vuoto del campione le cui dimensioni massime sono di due pollici. Per tale operazione il load-lock deve essere munito di: una valvola (su flangia CF); spazio intermedio per il venting; seconda valvola (su flangia DN 100) per estrarre il campione; possibilità extra per il venting della camera; tutte le connessioni devono essere in flangia CF. A7) devono essere presenti almeno due flange CF40 per eventuali connessioni con altri strumenti. Le flange devono essere facilmente accessibili e posizionate all altezza del campione. Una delle flange deve essere munita di connettore di almeno otto pin per connessioni elettriche; a8) lo shutter sopra la sorgente e-beam/termica deve essere automatico e quello sotto il porta campione deve avere la possibilità di regolazione manuale; B) per quanto concerne le sorgenti: b1) e-beam liner con sei pockets, dimensioni dei pocket 4cc, energia e-beam 10KV. Potenza della sorgente: minimo 5KW, controllo sulla forma e posizione del fascio elettronico; b2) gli elettroni di backscattering (retrodiffusi) devono essere rimossi dal percorso di evaporazione e non devono raggiungere in nessun modo il campione da evaporare; b3) due sorgenti termiche per la predisposizione di metalli con potenza minima 2KW (Au, Cr, Pd, Ag, Ti); C) per quanto concerne il porta campione in camera di evaporazione: 3

4 c1) il porta campione in camera di evaporazione deve essere rimovibile. L intero porta campione, inclusi gli accessori per rotazione e raffreddamento e le connessioni elettriche per misure varie, devono poter essere rimovibili dalla parte superiore della camera di evaporazione (rimozione dall alto); c2) il porta campione in camera di evaporazione deve essere montato su una piastra metallica fissabile alla camera da vuoto tramite una flangia. Il diametro minimo della flangia è di venti centimetri. Il porta campione in camera di evaporazione deve essere di dimensioni pari a quattro pollici; c3) il porta campione in camera di evaporazione deve essere dotato delle seguenti caratteristiche: rotazione a velocità regolabile; possibilità di raffreddamento del campione a temperatura ambiente (la temperatura massima del campione dopo dieci minuti di processo deve essere di 40 gradi centigradi); possibilità di fare un tilting del campione durante l evaporazione (angolo minimo +/- 90 gradi); compatibilità con l alimentazione elettrica del campione. Le suddette caratteristiche del porta campione in camera di evaporazione possono essere tutte presenti in un unico porta campione o, qualora ritenuto più opportuno, in due o più porta campioni purché la presenza delle stesse siano comunque tutte garantite. D) per quanto concerne il sistema di controllo: d1) il sistema di controllo deve permettere un controllo manuale completo (a singolo passo: apertura e chiusura degli shutter, controllo della potenza e posizione dell e-beam, monitoraggio della velocità di deposizione), come anche una esecuzione automatica di almeno dieci diverse ricette; E) per quanto concerne le pompe: e1) il sistema di pompe dovrà essere di tipo oil free. F) per quanto concerne le dimensioni: f1) l apparecchiatura deve rispettare le seguenti dimensioni: Larghezza: massimo 2 metri Profondità: massimo 2 metri Altezza: massimo 2,5 metri G) per quanto concerne il sistema di raffreddamento: 4

5 g1) il sistema di raffreddamento (chiller con scambiatore aria/acqua) deve essere dimensionato opportunamente al fine di garantire un corretto funzionamento dell apparecchiatura in ogni sua fase di processo. 3. TRASPORTO, TERMINE DI CONSEGNA E PASSAGGIO DELLA PROPRIETA DELL APPARECCHIATURA 3.1 L evaporatore termico ed a fascio elettronico dovrà essere, trasportato e consegnato a destino, alle condizioni di cui all art. 2 delle Condizioni Generali di Contratto per forniture MO UA 10/2 v.2 della Fondazione, entro otto mesi dalla data di stipula del contratto o, se anteriore, dalla data in cui si è dato avvio all esecuzione del contratto in via d urgenza, ai sensi dell art. 11, comma 9 d.lgs. n. 163/06 e dell art. 302 d.p.r. n. 207/2010. Tutti gli oneri, responsabilità e spese di tali operazioni sono a carico esclusivo dell esecutore. E fatta salva, inoltre, la facoltà per la stazione appaltante d impartire istruzioni e direttive in sede di esecuzione del contratto ai sensi dell art. 303, comma 1 d.p.r. n. 207/ L installazione dell apparecchiatura dovrà avvenire a regola d arte ad opera dei tecnici dell impresa esecutrice presso il locale denominato CLEAN ROOM al livello -1 della sede della Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia in Genova Via Morego, 30. Essa dovrà essere conclusa entro 3 settimane decorrenti dalla data della consegna. 3.3 La proprietà esclusiva dell apparecchiatura passerà alla stazione appaltante soltanto a seguito dell esito positivo della verifica di conformità dell oggetto e dell installazione a regola d arte del medesimo ai sensi dell art. 317 d.p.r. n. 207/ Ai fini della consegna si evidenzia che per garantire un agevole transito dall esterno della sede di Genova fino ai locali ove sarà collocato l evaporatore di che trattasi si raccomanda che ogni singolo collo rispetti le seguenti misure: Altezza: massimo 2 metri Larghezza: massimo 2 metri Nel caso in cui il fornitore/aggiudicatario non ritenga di poter rispettare i limiti di cui sopra, oppure qualora l offerente lo ritenga comunque opportuno e necessario, la Fondazione si rende disponibile ad un eventuale sopralluogo, da fissare con congruo anticipo mediante appuntamento, sottolineando che ogni onere o costo aggiuntivo per la consegna presso i locali ove l evaporatore sarà collocato resta esclusivamente a carico del fornitore e sarà quindi ritenuto compreso e compensato nel prezzo offerto. In tal caso l offerente, in sede di offerta, è tenuto a specificare le modalità che intende adottare per la consegna dell evaporatore. 5

6 Per ogni informazione nel merito si prega di contattare la Fondazione all indirizzo 4. ASSISTENZA TECNICA E GARANZIA IN CASO DI MALFUNZIONAMENTO DELL APPARECCHIATURA 4.1 L esecutore s impegna a fornire assistenza tecnica senza ulteriori oneri (ad esempio rimborsi, spese di trasferta, ecc ) rispetto al prezzo offerto, per qualsiasi intervento di manutenzione sia ordinaria che straordinaria per un periodo di tempo non inferiore a dodici mesi successivi dalla consegna dell apparecchiatura comprensiva di tutte le sue parti. L assistenza tecnica comprende anche la sostituzione di tutte le componenti eventualmente difettose e/o non funzionanti, anche in questo caso senza ulteriori oneri per la stazione appaltante. 4.2 Entro settantadue ore dalla segnalazione della richiesta di assistenza dovrà intervenire sul posto e provvedere alla riparazione occorrente, affinché l apparecchiatura riprenda a funzionare a regola d arte, in un termine comunque non superiore a 5 giorni dalla segnalazione. 4.3 L oggetto della fornitura dovrà essere garantita per un periodo minimo di 12 mesi Restano salve le disposizioni del codice civile in materia di vizi della cosa venduta. 5. ATTIVITA DI FORMAZIONE DEGLI OPERATORI DELLA STAZIONE APPALTANTE 5.1 Sarà cura del fornitore espletare presso la sede della stazione appaltante un corso di formazione per l utilizzo dell apparecchiatura per almeno tre persone di una durata complessiva non inferiore a 16 ore. 5.2 Le modalità di svolgimento del corso saranno definite e comunicate immediatamente dopo l istallazione dell apparecchiatura, eventualmente anche con le modalità di cui all art. 3.1, ultimo periodo. 6. CORRISPETTIVO, MODALITA DI PAGAMENTO, VERIFICA DI CONFORMITA E CERTIFICATO DI VERIFICA DI CONFORMITA 6.1 I pagamenti sono disposti entro 60 giorni fine mese, dalla data della fattura emessa successivamente all avvenuto accertamento da parte del direttore dell'esecuzione, confermato dal responsabile del procedimento, della prestazione effettuata, in termini di quantità e qualità, rispetto alle prescrizioni previste nel presente capitolato e nelle eventuali ulteriori prescrizioni contrattuali. E facoltà dell'esecutore presentare contestazioni scritte in occasione dei pagamenti. 6

7 Nel caso di ritardato pagamento resto fermo quanto previsto dal decreto legislativo 9 ottobre 2002, n Per quanto non espressamente indicato nel presente articolo trovano applicazione le previsioni di cui all art. 7 delle Condizioni Generali di Contratto per fornitura di beni MO UA 10/2 v.2 della Fondazione. 7. VARIANTI. 7.1 La stazione appaltante non può richiedere alcuna variazione ai contratti stipulati, se non nei casi e con le modalità previste dall art. 311 d.p.r. n. 207/ GARANZIE E SVINCOLO DELLA CAUZIONE 8.1 L aggiudicatario dell appalto dovrà fornire le garanzie stabilite dal disciplinare di gara, cui si rimanda per ogni ulteriore dettaglio. 9. ATTRIBUZIONE DEL PUNTEGGIO 9.1 CARATTERISTICHE TECNICHE E QUALITATIVE Sulla base dei dati forniti a ciascun partecipante sarà attribuito un punteggio massimo di 100 punti, secondo i criteri ed i punteggi elencati nella tabella sottostante. Parametri Tecnici: Elementi di valutazione Camera da vuoto Criterio Geometria: distanza di lavoro (> 50 cm, max 70 cm) Punteggio massimo attribuibile 2 Sorgente e-beam Possibilità di pulizia tramite schermi estraibili (presenza di debris shields ) Finestra per osservare il processo sul campione e sulla sorgente Potenza della sorgente pari o superiore a 10KW Controllo della forma del fascio e-beam Sistema di controllo e schermatura sugli elettroni diffusi ad alta energia (backscatterati) 6 7

8 Sorgente termica Capacità di evaporare Ni 3 Compatibilità/flessibilità col montaggio di crogioli e navicelle (boat) di varie dimensioni 2 Load lock Disegno pratico (piccolo e leggero) (max 5 punti), livello di vuoto nel load lock e tempo di permanenza in vuoto (max 4 punti), facilità nello smontaggio per il trasferimento del campione (max 5 punti) Disegno del porta campione Praticità nell uso (manovra di inserimento, montaggio del campione) Connessioni elettriche coassiali (per contatto elettrico al campione o al portacampione) 3 Termini di consegna dell impianto L offerta dovrà precisare i termini entro i quali il fornitore s impegna a consegnare ed installare l impianto dopo la stipula del contratto, atteso che detto termine non potrà comunque essere superiore a otto mesi. 2 punti se è inferiore di 6 mesi. Ingombro L offerta dovrà precisare la superficie d ingombro occupata dal sistema: sarà premiato il sistema con l ingombro minore (Per ingombro s intende l area occupata dall impianto oltre allo spazio per il passaggio di manutenzione, con tutte le sue componenti, con la sola eventuale esclusione della pompa rotativa. Tale pompa deve poter essere posizionata ad una distanza di alcuni metri dall impianto.) Assistenza successiva alla vendita L offerta dovrà precisare se sia assicurata o meno l assistenza telefonica e descrivere le relative modalità di funzionamento (tempi di intervento in sito) 2 punti (max) assistenza telefonica, 2 punti intervento sul sito entro 48 ore dalla chiamata. Contratto di assistenza L offerta dovrà precisare le modalità di assistenza successive alla vendita e la durata minima del periodo di garanzia in cui il fornitore s impegna ad intervenire anni garanzia 2 punti 3 anni garanzia 4 punti migliore contratto di assistenza dopo il periodo di garanzia 2 punti 8

9 Punteggio massimo relativo alle caratteristiche tecniche e qualitative 60 In caso di offerte non migliorative o di mancata indicazione dell elemento di valutazione di cui alla prima colonna, l offerta tecnica sarà comunque considerata ammessa, ma il punteggio della corrispondente voce sarà pari a zero. 9.2 PREZZO (OFFERTA ECONOMICA) Sulla base del prezzo a corpo della fornitura, comprensivo dell intervento di manutenzione preventiva annuale, come indicato nell offerta contenuta nella busta C, al partecipante che avrà offerto il prezzo a corpo più basso, saranno attribuiti 40 punti, mentre agli altri partecipanti sarà attribuito un punteggio, proporzionalmente inferiore, secondo la seguente formula: Prezzo a corpo più basso Punteggio concorrente n = 40 x Prezzo a corpo n 10. RITARDI E PENALI 10.1 Nel caso in cui l esecutore non rispetti il termine di consegna previsto al precedente paragrafo 3.1 oppure quello d installazione di cui al paragrafo 3.2, o eventualmente quelli migliorativi indicati in offerta, la stazione appaltante avrà la facoltà di applicare una penale pari all uno per mille dell importo contrattuale per ogni giorno di ritardo Analogamente, potrà essere applicata una penale pari alla decima parte dell'uno per mille dell importo contrattuale, per ogni ora di ritardo, e dell uno per mille dell importo contrattuale, per ogni giorno di ritardo, dell intervento in loco con riferimento ai termini rispettivamente stabiliti al primo e al secondo periodo del precedente paragrafo 4.2 od eventualmente di quelli migliorativi indicate in offerta Per ogni giorno di ritardo nello svolgimento del corso di formazione rispetto alle tempistiche che saranno successivamente pattuite, sarà erogata una penale pari allo 0,3 per mille dell importo contrattuale In tutti i casi succitati, la Fondazione si riserva il diritto di richiedere all affidatario il risarcimento degli eventuali danni conseguenti alla ritardata consegna/ritardato intervento e/o di recedere dal contratto quando tali inadempimenti siano di particolare gravità L importo complessivo delle penali applicate non può comunque superare il dieci per cento dell importo contrattuale. 9

10 11. Normativa applicabile e foro esclusivo 1. Per quanto non diversamente disposto dal presente capitolato, dal contratto, dal d.lgs. n. 163/06, dal suo regolamento di attuazione ed esecuzione di cui al d.p.r. n. 207/2010, trovano applicazione le disposizioni del codice civile italiano in materia di vendita e dalle norme da esse richiamate nonché le Condizioni Generali di Contratto per Forniture MO UA 10/2 v.2 della Fondazione. 2. Il foro esclusivo per le controversie comunque derivanti dall applicazione del presente capitolato o dal conseguente contratto è quello di Genova. Il Responsabile del Procedimento Prof. Enzo Di Fabrizio 10