CUP B41D CIG EA Capitolato Tecnico

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1 Gara a procedura aperta per l'affidamento della fornitura di un microscopio elettronico ad emissione di campo completo di colonna ionica focalizzata destinato al Center for Biomolecular Nanotechnologies della Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia CUP B41D CIG EA CAPITOLATO TECNICO 1

2 Art. 1 - PREMESSE Scopo del presente documento è fornire una descrizione tecnica completa dell'oggetto dell'appalto e delle condizioni di fornitura richieste. Tali descrizioni non identificano nessuna casa costruttrice e devono essere ritenute quali standard qualitativi e prestazionali minimi. Art. - OGGETTO DELL'APPALTO L appalto ha come oggetto la fornitura, l installazione, la messa in funzione ed il relativo training di un microscopio elettronico a emissione di campo, completo di colonna ionica focalizzata (FIB). Il microscopio fornisce immagini tramite una colonna a fascio di elettroni (SEM), comprensiva di una suite completa di sensori, mentre il fascio di ioni focalizzato (FIB) realizza una fresatura veloce (a scala nanometrica) e applicazioni per la preparazione e nanostrutturazione del campione. Le caratteristiche descritte di seguito rappresentano i requisiti tecnici minimi che deve possedere il microscopio elettronico a scansione ad emissione di campo con fascio di ioni focalizzati d ora in poi, per brevità FIB/SEM. Art. 3 - REQUISITI TECNICI MINIMI Il FIB/SEM deve essere nuovo di fabbrica, privo di difetti, completo di tutti gli accessori e sistemi necessari al suo funzionamento e a soddisfare le esigenze tecniche riportate di seguito. Il luogo d installazione sarà predisposto dalla Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia, d ora in poi, per brevità, Fondazione, presso la sua sede di Arnesano (LE) con tutte le utility necessarie per il funzionamento del FIB/SEM (energia elettrica, gas quali azoto e aria compressa). 1. Camera porta campioni a) Multi-port, con un numero di porte accessorie per le varie opzioni non inferiore a 15 (quindici), dotata di colonna elettronica e ionica. b) La camera dovrà alloggiare e consentire la movimentazione di wafer e campioni con dimensioni di 150 mm o inferiori. c) La camera dovrà essere predisposta per l'installazione di un sistema di trasferimento dei campioni (load-lock).. Colonna elettronica a) Sorgente: emettitore a effetto di campo termoassistito di tipo Schottky. b) Tensione di accelerazione: regolabile tra 00V e 30kV (estremi compresi), con la capacità di variare la tensione in modo continuo o con piccoli steps (non più di 100V per singolo step) per regolazione fine. c) Corrente di sonda: regolabile tra 4.0pA e 0nA (estremi compresi). d) Stabilità della corrente di sonda: uguale o inferiore all' 1% in 10h. e) Stabilità di posizionamento fascio: < 100nm al giorno. f) Risoluzione alla distanza ottimale di lavoro: uguale o migliore di 1.0nm a 15kV, e uguale o migliore di 3.0nm a 1kV. g) Distanza di lavoro analitica: uguale o inferiore a 10mm. 3. Colonna ionica a) Fonte: gallio metallo liquido con la durata non inferiore a 1000 ore in condizioni di lavoro (tensione di estrazione e accelerazione operative). b) Tensione di accelerazione: regolabile tra 1kV e 30kV (estremi compresi), con la capacità di variare la tensione in modo continuo o con piccoli steps (non più di 100V per singolo step) per regolazione fine. c) Corrente di sonda: regolabile tra 1.0pA e 45nA (estremi compresi). d) Stabilità della corrente di sonda: uguale o inferiore all' 1% in 1h. e) Stabilità di posizionamento fascio: < 100nm al giorno. f) Risoluzione nel punto di coincidenza: uguale o migliore di 5.0 nm a 30kV.

3 4. Il punto di coincidenza delle colonne elettronica e ionica deve essere raggiunto quando la distanza del campione dalla colonna elettronica è uguale o inferiore a 5mm. 5. Sistema di iniezione dei gas a) Il sistema deve essere dotato di quattro o più iniettori di gas, in grado di depositare a scelta dell utente Pt, Au, W, C, un materiale isolante (ad esempio SiOx) e gas per attacchi selettivi (ad esempio XeF). b) Il posizionamento degli iniettori deve consentire la deposizione di strutture mediante fascio elettronico e mediante fascio ionico in tutte le possibili condizioni, successivamente dettagliate, di tilt del campione. c) Possibilità per l utente di controllare la posizione degli iniettori sul campione. d) Per il sistema o i sistemi di iniezione di gas quali Pt e SiOx, il flusso di iniezione deve garantire rate di deposizione indotta da fascio ionico non inferiori a µm 3 /s (con fascio ionico accelerato a 30kV, corrente di sonda 10pA), con una variazione tollerata inferiore a +/-10% in 30 minuti di iniezione continuata. Per tali condizioni di flusso, la durata dei serbatoi interni dei relativi precursori non deve essere inferiore a 100h lavorative (conteggiate solo come tempo di apertura effettiva della valvola di iniezione). e) Dimensione laterale minima delle strutture depositate mediante fascio elettronico: uguale o inferiore a 15 nm. f) Dimensione laterale minima delle strutture depositate mediante fascio ionico: uguale o inferiore a 10 nm. 6. Tavolino: eucentrico con 5 assi motorizzati con le seguenti traslazioni minime: a) Asse X: 100 mm (ripetibilità di almeno 1.0 m, step dimensione minima (minimum step size) migliore di 100 nm) b) Asse Y: 100mm (ripetibilità di almeno 1.0 m, step dimensione minima (minimum step size) migliore di 100nm) c) Asse Z: 10 mm. d) Tilt (inclinazione): da -10 a +60. e) Rotazione di 360, continua. 7. Rivelatori a) È richiesto che i rilevatori di cui ai punti che seguono siano tutti indipendenti. b) Rivelatore di elettroni secondari (del tipo In-column/In-lens). c) Rivelatore di elettroni retrodiffusi (del tipo In-column/In-lens). d) Rivelatore di elettroni secondari del tipo Everhardt-Thornley, in camera per immagini topografiche. e) Telecamera a raggi infrarossi (IR-CCD) per visualizzare l interno della camera (l'obiettivo finale, lo stadio e l'area di rivelatori) durante le operazioni di movimentazione del campione e/o di lavoro/analisi. f) Rivelatore SCM (specimen current monitor) per la misura della corrente del fascio ionico ed elettronico nel range da 1pA a 10 ma (estremi compresi). 8. Compatibilità dello strumento con sistema di microanalisi EDS in dispersione di energia con: a. rivelatore multicanale di tipo SDD con area attiva di almeno 30mm, b. risoluzione in energia minima di almeno 17eV (a bassa energia: 5-60eV) e conteggi minimi di almeno cps per microanalisi qualitativa e quantitativa, sia per mappe D e 3D e line-scan, c. hardware e software che non riducano le specifiche tecniche dello stesso microscopio in termini di risoluzione delle colonne FIB/SEM. Il software di gestione del sistema di microanalisi di cui è garantita la compatibilità con il FIB/SEM deve includere: 3

4 a. utilità di acquisizione dello spettro, b. controlli del tavolino e della colonna, c. acquisizione dell immagine, d. mappature chimiche e profili di scansione, e. mappatura quantitativa EDS, f. mappatura spettrale EDS, g. l'analisi delle fasi. 9. Micromanipolatori a) In numero minimo di, per polarizzazione elettrica dei campioni in camera e applicazione di pressioni controllate. b) Con movimentazione uguale o superiore a 10mm lungo gli assi X-Y, e rotazione minima di 90. c) Con controllo remoto e risoluzione nanometrica. 10. Plasma cleaner per la pulizia della camera e del campione. 11. Porta campioni: a) multi-stub holder. b) porta campioni singolo stub. c) porta campioni pre-tiltato per avere superficie del campione ortogonale alla colonna ionica. 1. Software di sistema totalmente integrato per il controllo automatico e manuale delle funzioni per: a) l'imaging SEM. b) le operazioni FIB compreso patterning di base con concomitante imaging SEM. c) controllo del sistema di iniezione dei gas e della deposizione mediante fascio elettronico e fascio ionico. 13. Beam Blanker della colonna elettronica e della colonna ionica con tempi di salita/discesa uguali o inferiori a 50ns e frequenza di oscuramento uguale o maggiore di 1 MHz. 14. Sistema di patterning avanzato a fascio elettronico e ionico che non riduca le caratteristiche tecniche del microscopio quali per esempio la risoluzione garantita del FIB/SEM. Il sistema deve avere le seguenti caratteristiche minime: a. ADC/DAC a 16bit, b. dwell time da 400nsec a 10msec (incremento di 100nsec); c. capacità di importare file di disegno di diverso formato (BMP, GDSII, etc). 15. Risoluzione dell immagine in pixel: Capacità di selezionare la dimensione dell immagine in un range da 51x384 pixel fino a 048x1536 pixel. 16. Soluzione tecnica per fare immagini e analisi con il SEM, a qualunque tensione di accelerazione e su materiali dielettrici non rivestiti con coating conduttivo. 17. Sistema del vuoto totalmente automatizzato e controllato dal computer. 18. Sistema UPS per la protezione elettrica del sistema fornito (strumentazione elettronica e sistema del vuoto). 19. Sistema di acquisizione e controllo costituito da una workstation (PC) con: a. sistema operativo del tipo Windows XP, Vista o "Windows 7" o similari, b. due monitor di 19, c. disco rigido di 500Gbyte o superiore, 4

5 d. interfacce di rete e porte USB, e. lettori e masterizzatori DVD, 0. Accesso remoto per la diagnostica interattiva che consenta al personale del servizio tecnico di contattare direttamente il FIB/SEM e controllare il funzionamento del sistema da remoto. Art. 4 - GARANZIA, ASSISTENZA E MANUTENZIONE Il FIB/SEM dovrà essere coperto da un servizio di garanzia cd. protezione totale, inclusivo di (due) anni di Garanzia, Assistenza e Manutenzione compreso e compensato nel prezzo offerto. I servizi prestati, così come le parti riparate e quelle eventualmente sostituite, saranno garantiti per il periodo residuo della Garanzia e comunque non inferiore ad un anno dall intervento. GARANZIA: L Offerente è obbligato a garantire che la fornitura del FIB/SEM sia esente da qualsiasi difetto per quanto riguarda la progettazione, il materiale, l esecuzione, la lavorazione ed il processo, sia idoneo allo scopo per cui è previsto, nonché perfettamente funzionante e che sia, altresì, esente da vincoli, cauzioni o oneri, ipoteche, gravami e diritti di terzi di qualsiasi genere e da controversie imputabili a violazione di brevetti. Durante il periodo di validità della garanzia, l Aggiudicatario ha l obbligo di fornire l'assistenza tecnica nel luogo dove è stata effettuata l'installazione, con intervento di tecnici specializzati in FIB/SEM entro 3 giorni lavorativi dalla richiesta, e risoluzione del malfunzionamento entro i successivi 15 giorni lavorativi, provvedendo, a proprie spese e senza costi per la Fondazione, a tutte le operazioni di riparazione dell apparecchiatura guasta, compresa la sostituzione delle parti difettose o danneggiate in conseguenza a funzionamento difettoso di altre parti. ASSISTENZA: Il servizio di assistenza deve prevedere le seguenti specifiche minime e inderogabili: aggiornamenti software e relativa formazione del personale per le nuove versioni; supporto telefonico: risposta immediata garantita da parte di personale tecnico idoneo all evasione della richiesta di informazioni, adeguato supporto alla comprensione della problematica e sua immediata risoluzione ove possibile; la completa risoluzione della problematica dovrà comunque avvenire entro, e non oltre, le 4 ore dalla richiesta di assistenza dell utente; intervento presso la Fondazione: nel caso in cui il supporto telefonico di cui sopra non fosse risolutivo, l offerente dovrà inviare presso la Fondazione un idoneo tecnico specializzato entro, e non oltre, 7 giorni naturali e consecutivi dalla prima richiesta di assistenza della Fondazione, l intervento dovrà essere concluso positivamente entro, e non oltre, 7 giorni naturali e consecutivi decorrenti dalla data del primo intervento del suddetto tecnico. Tale termine tiene conto altresì dei tempi necessari per l approvvigionamento da parte del tecnico dei relativi pezzi di ricambio necessari alla riparazione della parte; intervento presso l Aggiudicatario: nel caso in cui la parte oggetto dell intervento debba essere riparata presso la sede dell Aggiudicatario, l intervento dovrà essere concluso positivamente entro 15 giorni naturali e consecutivi dalla data di ricezione della parte presso la sede indicata dall Aggiudicatario. Qualora l Aggiudicatario non fosse in grado di riparare la parte nei termini di cui sopra, l Aggiudicatario provvederà, a sua cura e spese e negli stessi termini di cui sopra, alla sostituzione ex novo della parte oggetto dell intervento. Il servizio di Assistenza è comprensivo di tutti gli oneri (diritto di chiamata, spese di viaggio, spese di soggiorno, mano d opera, parti di ricambio e relative spese di spedizione, attrezzi e materiali di consumo necessari all intervento). Gli offerenti potranno indicare nella propria offerta tecnica ogni ulteriore specifica e/o dettaglio relativi alle modalità di esecuzione del servizio di assistenza. MANUTENZIONE: Il servizio di Manutenzione dovrà prevedere un intervento annuo da parte di un idoneo tecnico specializzato da effettuarsi, in data da concordare con il Responsabile del Procedimento, entro la fine di ogni anno. Il servizio di Manutenzione sarà comprensivo di tutti gli oneri (diritto di chiamata, spese di viaggio, spese di soggiorno, mano d opera, parti di ricambio e relative spese di spedizione, attrezzi e materiali di consumo necessari all intervento) e del servizio di controllo remoto del FIB/SEM, almeno 1 volta ogni 4 mesi, attraverso rete informatica, per verificare il corretto 5

6 funzionamento e, in caso di necessità, tempestivamente inviare un tecnico specialista FIB/SEM per sostituire le parti che risultino guaste o anormalmente usurate. La connessione del FIB/SEM alla rete internet e la messa a disposizione dei servizi di rete per rendere possibile il controllo remoto, sono a carico della Fondazione. Art. 5 CONSEGNA, INSTALLAZIONE E TRAINING Il FIB/SEM dovrà essere consegnato presso la sede della Fondazione di Arnesano (Le) in via Barsanti - piano interrato, entro e non oltre 10 giorni naturali e consecutivi dalla stipula del contratto di appalto. Le condizioni di consegna del FIB/SEM sono DDP (Incoterms 010). L installazione includerà la movimentazione con personale ed attrezzature adeguati fino al luogo indicato dalla Fondazione e dovrà essere completata entro 15 giorni naturali e consecutivi a decorrere dalla data di consegna dell Oggetto. L Offerente dovrà prevedere almeno due giornate distinte e separate di training in favore di minimo 4 operatori della Fondazione. La prima giornata dovrà essere effettuata entro e non oltre 15 giorni naturali e consecutivi a decorrere dall esito positivo del collaudo. La seconda giornata, da concordare con l Aggiudicatario, dovrà essere effettuata entro 180 giorni naturali e consecutivi dalla prima. Art. 6 - ALTRI ONERI PARTICOLARI A CARICO DELL AGGIUDICATARIO Sono a carico dell Aggiudicatario e s'intendono compresi nel prezzo offerto, gli oneri di seguito indicati: a) la presa visione dello stato dei luoghi, delle condizioni locali e di tutte le circostanze generali particolari che possono influire sulla realizzazione dell'appalto e la comunicazione alla Fondazione, entro 7 giorni dalla stipula del contratto/emissione dell ordine, dei requisiti tecnici ed ambientali cui devono rispondere i locali in cui saranno installate le apparecchiature e il suggerimento delle opere eventualmente necessarie per la corretta installazione del FIB/SEM; b) il trasporto, la consegna a piè d opera e il disimballo e di tutto il materiale occorrente alla fornitura, entro e non oltre 10 giorni dalla stipula del contratto, presso la sede della Fondazione in Arnesano (LE) in via Barsanti - piano interrato; c) il montaggio, l'installazione e la messa in funzione delle apparecchiature fornite entro e non oltre 15 giorni successivi alla consegna, inclusi l'allacciamento agli impianti tecnici (gas, energia); d) la manutenzione ordinaria e straordinaria delle apparecchiature fornite fino al collaudo; e) l adozione di tutte le cautele e prestazioni idonee a prevenire danni alle suppellettili e ai manufatti; f) lo sgombero dei locali interessati dalla fornitura da tutti i materiali di risulta, inclusi imballaggi, mezzi d opera e impianti di proprietà dell aggiudicatario, entro sette giorni dalla ultimazione dell'installazione; g) la consegna alla Fondazione, prima delle operazioni di collaudo, di tutti i manuali di uso e manutenzione della strumentazione fornita, inclusi gli schemi elettrici, idraulici e meccanici, al fine di consentire alla stessa di utilizzare correttamente e mantenere efficiente la strumentazione. I manuali e la documentazione saranno forniti in lingua inglese o italiana. L'Aggiudicatario aggiornerà e sostituirà ove necessario tutti i manuali e la documentazione durante l intero periodo di garanzia; h) garantire, per un periodo di almeno 10 anni dall approvazione del certificato di collaudo, la disponibilità di parti di ricambio, tali da consentire la corretta manutenzione della strumentazione; i) la fornitura e installazione degli aggiornamenti software (se disponibili) per almeno 10 anni dall approvazione del certificato di collaudo. j) In caso di tempi di risoluzione del malfunzionamento superiori ai 15 giorni, il periodo di garanzia viene inoltre automaticamente prolungato per un arco temporale pari ai giorni necessari al ripristino del funzionamento in specifica. La garanzia include anche l eventuale rottura dei filamenti. La prima sostituzione del filamento elettronico e di quello ionico sarà effettuata nel luogo dove è stata effettuata l'installazione, entro i primi 5 anni decorrenti dalla data di approvazione del certificato di collaudo. Art. 7 - COLLAUDO 6

7 L appalto si considera regolarmente eseguito solo dopo il positivo esito delle operazioni di collaudo, che saranno compiute entro 30 giorni dalla messa in funzione, a cura della Fondazione in contraddittorio con l aggiudicatario. Art. 8 - SELEZIONE DELLE OFFERTE Ai fini della selezione dell'offerta economicamente più vantaggiosa, gli 80 punti relativi alle caratteristiche tecniche e qualitative dell'offerta saranno assegnati in base ai criteri di seguito descritti: Parametri Tecnici (fino a 65 punti) Elemento di Valutazione Criterio di Valutazione Punteggio Massimo Miglioramento della tensione di Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti, a accelerazione del fascio di elettroni: seconda del range del valore minimo della tensione di valore inferiore della soglia di 00 V accelerazione: della tensione di accelerazione del 0 punti per un valore di 00 V; fascio di elettroni. 1 punto per valori minori di 00 e maggiori di 100 V; punti per valori inferiori o uguali a 100 V Miglioramento della tensione di accelerazione per il fascio ionico: valore minimo inferiore della tensione di accelerazione (basso kv FIB). Miglioramento della corrente di sonda per il fascio ionico: valore massimo più alto della corrente di sonda. Miglioramento della stabilità della corrente di sonda di elettroni (percentuale su 10 ore). Miglioramento del fast beam blanker : la frequenza di oscuramento è superiore. Miglioramento del tavolino porta campioni. Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti, a seconda del range del valore minimo della tensione di accelerazione: 0 punti per un valore di 1000 V; 1 punto per valori minori di 1000 e maggiori di 750 V; punti per valori inferiori o uguali a 750 V Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti, a seconda del range del valore massimo superiore della corrente di sonda: 0 punti fino a 45 na; punti per il valore massimo più alto offerto di corrente di sonda; 1 punto per i valori intermedi (comunque superiori a 45 na). Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti, a seconda della stabilità della corrente di sonda del fascio di elettroni in percentuale su 10 ore: 0 punti per l'1% in 10 h; punti per la più stabile corrente di sonda offerta; 1 punto per i valori intermedi (comunque superiori a 1% in 10h). Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti, a seconda della frequenza di oscuramento superiore: 0 punti per la frequenza di oscuramento di 1 MHz; punti per il più alto valore di frequenza di oscuramento offerto; 1 punto per i valori intermedi. Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti a seconda delle migliorie proposte sulla stabilità del tavolino porta campioni: 1 punto per il minore errore di posizionamento garantito 7

8 Miglioramento del sistema di iniezione gas (GIS) Miglioramento dei micromanipolatori. dallo stage offerto; 1 punto per la presenza di uno stage eucentrico compreso di 6 assi e con movimentazione piezo; Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e 1 punti a seconda della durata garantita per i precursori di Au a partire dall installazione in camera: 0 punti per una durata inferiore a 6 mesi; 1 punto per una durata uguale o superiore ai 6 mesi. Sarà inoltre assegnato un punteggio compreso tra 0 e punti a seconda della stabilità del rate di deposizione minimo garantito (Au, Pt, SiOx) nelle condizioni espresse al punto 5d): 0 punti per una variazione massima del +/-10% durante l iniezione continuata di gas fino a 30 minuti; 1 punto per una variazione massima del +/-10% durante l iniezione continuata di gas da 30 minuti a 60 minuti; punti per una variazione massima del +/-10% durante l iniezione continuata di gas superiore a 60 minuti. Sarà assegnato 1 punto aggiuntivo all offerta comprendente il maggior numero di gas compatibili con il sistema di iniezione proposto. Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e 3 punti in base alle caratteristiche dei micromanipolatori offerti: 1 punto per un intervallo di operatività X-Y superiore a 10mm; 0.5 punti per un ampiezza di rotazione superiore a 90 e uguale o minore di 180 ; 1 punto per un ampiezza di rotazione superiore a 180 ; 1 punto per una risoluzione di movimentazione inferiore a 0.5nm 4 3 Valutazione elettro-ottica della colonna elettronica: -Corrente di probe elettronica min -Dimensione minima del fascio -Metodo di deflessione fascio elettronico per la scansione (raster e/o vettoriale) -Beam blanker esterno -Velocita di scrittura > 35 Mhz -Range ingrandimenti Valutazione elettro-ottica della colonna ionica: -Corrente di probe minima -Dimensione minima del fascio -Metodo di deflessione fascio ionico per la scansione (raster e/o vettoriale) -Sistema di correzione scansione Sulla base dei documenti tecnici, la Commissione assegnerà, un punteggio compreso tra 0 e 1 punti. Sulla base dei documenti tecnici, la Commissione assegnerà, un punteggio compreso tra 0 e 1 punti

9 fascio in particolare a bassi dwell time -Beam blanker esterno -Velocita di scrittura >35Mhz -Range ingrandimenti -Stabilità della HV (stabilita del suppressor) Valutazione del sistema di iniezione gas (GIS) -Numero di linee di gas fornite -Movimentazione degli iniettori -Uso degli iniettori in varie condizioni di tilt del campione -Presenza di flussimetri per il controllo e la stabilità delle linee di gas -Riscaldamento linee -Durata dei serbatoi interni Caratteristiche generali comprendenti: - Software per la gestione automatica del sezionamento progressivo del campione mediante milling con fascio ionico e contemporaneo imaging SEM, con possibilità di ricostruzione 3D delle sezioni acquisite. - Fornitura di un sistema EDS di microanalisi dei campioni con caratteristiche uguali o migliori rispetto a quanto indicato nel punto 8. - Rivelatori di elettroni: secondari e back a settori circolari. - Rivelatori di ioni secondari. - Rivelatori STEM. - Trattamento campioni in camera sia conduttori che isolanti mediante strategie di scansioni intelligenti (smart scan) per ridurre la carica sul campione (compensazione del drift). - Neutralizzatore di carica ad elettroni durante l utilizzo del fascio ionico su campioni isolanti. - Compensatore di carica a gas (ad es. Ossigeno o Azoto) per la neutralizzazione di campioni isolanti durante l ispezione con elettroni/ioni. - Deceleratore di fascio mediante bias dello stage/campione per minimizzare gli effetti di carica del Sulla base dei documenti tecnici, la Commissione assegnerà, un punteggio compreso tra 0 e 4 punti. Sulla base dei documenti tecnici, la Commissione assegnerà, un punteggio compreso tra 0 e 18 punti

10 campione. - Decremento dei coefficienti di aberrazione sferica e cromatica nella colonna elettronica con la diminuzione della tensione di accelerazione del fascio elettronico. - Software di scrittura elettronica e ionica incluso la possibilita di caricare file da CAD esterni compatibili con GDSII. - Numero di pixels indirizzabili dal sistema di patterning non inferiore a 1GPixels. - Possibilita di realizzare, internamente al software di scrittura elettronica e ionica, routine di movimentazione fascio con sequenzialita spazio temporale a piacere, incluso il controllo delle condizioni di probe delle colonne ionica ed elettronica (tensione di accelerazione, corrente di probe) e del sistema di iniezione dei gas. - Manipolatori per fabbricazione campioni TEM incluso di porta campioni per l alloggiamento e l osservazione di griglie TEM e di software per automatismi di prelievo lamelle TEM. - Caricamento campione con load lock e vuoto (in camera e sistema di pompaggio differenziale). - Trappola cryo in camera per evitare contaminazione del campione. - Sistema di visualizzazione infrarosso e navigazione del campione in camera - Passante fibre ottiche. - Lettura vuoto in camera che copre il range a partire dalla pressione atm fino a 10-7 mbar. Parametri Qualitativi (fino a 15 punti) Elemento di valutazione Criterio di valutazione Punteggio massimo Durata della garanzia Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e 7 punti, in funzione dei seguenti criteri: 7 0 punti per un periodo fino a 4 mesi; 7 punti per il massimo periodo offerto; un punteggio intermedio normalizzato a 7 punti, in proporzione al periodo proposto rispetto alla massima garanzia offerta secondo la seguente formula: 10

11 Servizio manutenzione ordinaria Training di manutenzione ordinaria mesi_ garanzia_ offerti Punti_ assegnati = 7 massimo_ n _ mesi_ garanzia_ offerti Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e 5 punti, in funzione dei seguenti criteri: punti per controllo on-line ogni due mesi; 1 punto per la durata del servizio tra 5 e 36 mesi; punti per la durata del servizio tra 37 e 48 mesi; 3 punti per la durata del servizio oltre 48 mesi. Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e 3 punti, in funzione della fornitura di un training specifico avente ad oggetto la manutenzione ordinaria riguardante, a titolo di esempio: - sostituzione autonoma di pezzi consumabili quali filamenti e serbatoi del sistema di iniezione dei gas; - operazioni di bakeout; - ispezione e sostituzione di componenti esposti al rischio di collisione con il tavolino porta campioni (teste delle colonne ioniche ed elettroniche, sistema di iniezione dei gas, detector in camera etc.); - verifica dell efficienza dei sistemi di interlock per la protezione del macchinario fornito. 5 3 Art. 9 - OFFERTA ECONOMICA Il totale dei punteggi attribuibili all offerta economica è pari a 0/100. Alla migliore offerta economica saranno assegnati 0 punti. Alle altre offerte sarà attribuito il punteggio secondo la seguente formula: P = PM*(O/OM) Dove: P = punteggio attribuito all offerta; PM = punteggio massimo attribuibile; OM = offerta (ribasso percentuale) migliore; O = offerta (ribasso percentuale) da valutare. Nel caso in cui a più offerte fosse attribuito il medesimo punteggio, si procederà a sorteggio pubblico. Art PENALITÀ Per il mancato rispetto di uno dei seguenti termini: 1. termine per la consegna del FIB/SEM;. termine per l installazione del FIB/SEM; 3. termine per il training del personale della Fondazione; 4. termini indicati all art. 4 per l espletamento del servizio di garanzia, assistenza e manutenzione; sarà applicata una penale pari all un per mille del valore contrattuale. Si precisa che le penali sono tra loro cumulabili fino ad un massimo del 10% del valore contrattuale. Il Responsabile del Procedimento Prof. Pier Paolo Pompa 11