ICP-RIE CAPITOLATO TECNICO CIG E7

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1 ICP-RIE CAPITOLATO TECNICO CIG E7 Pagina 1 di 7

2 Art. 1 - OGGETTO DELLA GARA La gara ha per oggetto la fornitura, l installazione, la messa in funzione, il training e l assistenza post installazione di un reattore ad attacco ionico profondo ICP-RIE per un ampia varietà di materiali quali semiconduttori, ossidi, metalli e polimeri, con elevata qualità di attacco in termini di uniformità spaziale, verticalità delle pareti e rugosità delle aree attaccate (nel prosieguo Oggetto ). L Oggetto dovrà rispondere ai requisiti di funzionalità e versatilità richiesti nel presente documento per le finalità specifiche che la Fondazione si è posta di conseguire nell ambito della ricerca scientifica. L Oggetto sarà collocato presso la sede IIT@CRIB di via Largo Barsanti e Matteucci, 3, 8012, Napoli. Art. 2 - CARATTERISTICHE INDISPENSABILI DELLA FORNITURA Gli elementi descritti nelle sezioni 2A, 2B e 2C rappresentano, a pena d esclusione, la configurazione minima richiesta dell Oggetto a cui l Offerente dovrà conformarsi nella sua offerta. Offerte relative a Oggetti che non rispondono ai requisiti minimi di cui alle sezioni 2A, 2B e 2C saranno escluse. 2A - Caratteristiche tecniche e funzionali dell Oggetto L Offerente dovrà formulare la propria offerta tecnica prevedendo la seguente configurazione minima dell Oggetto: - Sorgente plasma - Richiesta presenza di due generatori disaccoppiati in modo da controllare indipendentemente energia e densità degli ioni - Densità di Argon plasma di almeno cm -3 a basso potenziale del plasma - Generatore di bias a 13.6 MHz, di potenza almeno pari a 00W - Generatore ICP di potenza almeno pari a 1 kw - Camera di caricamento campione - Il sistema di caricamento deve includere un load-lock - I wafer devono poter essere fissati meccanicamente - Il sistema di trasferimento deve garantire una movimentazione senza vibrazioni che possano far muovere il campione da processare - Presenza di una finestra per il controllo della posizione dei campioni - La camera di processo deve essere in materiale anticorrosivo preferibilmente alluminio per le sue proprietà di leggerezza e inerzia chimica - Sistema di gestione del gas e del vuoto in camera - Devono essere comprese almeno linee di gas di processo di cui C4F8, SF6, O2, CHF3, Ar Pagina 2 di 7

3 - Si richiedono opportuni flussimetri tali da garantire flussi costanti e quindi condizioni riproducibili di attacco - Il sistema di pompaggio per il vuoto deve comprendere una pompa turbo molecolare ed una pompa rotativa per garantire al contempo basse pressioni <10 - mbar e alte velocità di raggiungimento del vuoto grazie a portate superiori ai 300l\s - Controllo della temperatura del piatto di supporto del campione: - Almeno in un intervallo dai -20 ai 200 C - Con uniformità spaziale della T sull intero wafer inferiore a ±10 C - Richiesta la presenza di gas He per il trasferimento di calore dal piatto al sistema di refrigerazione - Sistema di controllo: - Gli interlock hardware devono essere gestiti da un Remote Field Controller RFC per poter controllare in modo sicuro tutta la macchina da remoto contro eventuali errori dell operatore - Gli interlock software devono essere gestiti via PC con su installata l ultima versione di Windows (XP\Vista) - Il software di controllo deve comunicare con l RFC via Ethernet o opzionalmente via LAN, WAN o Internet e costituire una intuitiva interfaccia con l utente per la scrittura di programmi di processo automatici ( ricette ), per il data log dei processi effettuati, per il controllo manuale o automatico, il controllo in remoto del sistema, con differenti livelli di accesso, anche per l accesso da remoto via internet - Si richiede un bus seriale (Interbus) per un trasferimento affidabile dei dati dal PC alla macchina Prestazioni garantite: - Lavorazioni su substrati fino a 8 con possibilità comunque di alloggiare e processare wafer di dimensione inferiore - Disponibilità di una libreria di ricette di attacco per le varie tipologie di materiali, con particolare riferimento a silicio e quarzo per attacchi fino a 300micron nel primo caso e fino a 100 nel secondo caso con pareti verticali (angolo parete < ) - Comprovata capacità di effettuare attacchi profondi almeno 100micron in quarzo e fino a 300micron in Si con pareti verticali - Disuniformità di etching di valore inferiore al 10% tra centro e bordo substrato. Art. 2B-Garanzia, Assistenza e Manutenzione 1. L Oggetto dovrà essere coperto da un servizio di garanzia cd. protezione totale, inclusivo di 2 (due) anni di Garanzia, Assistenza e Manutenzione compreso e compensato nel prezzo offerto. I servizi prestati, così come le parti riparate e quelle Pagina 3 di 7

4 eventualmente sostituite, saranno garantiti per il periodo residuo della Garanzia e comunque non inferiore ad un anno dall intervento. 2. GARANZIA: L Offerente, in relazione all Oggetto del presente Capitolato, è obbligato a garantire che la fornitura sia esente da qualsiasi difetto per quanto riguarda la progettazione, il materiale, l esecuzione, la lavorazione, sia idoneo allo scopo per cui è previsto, nonché perfettamente funzionante e che sia, altresì, esente da vincoli, cauzioni o oneri, ipoteche, gravami e diritti di terzi di qualsiasi genere e da controversie imputabili a violazione di brevetti. 3. ASSISTENZA: Il servizio di assistenza deve prevedere le seguenti specifiche minime e inderogabili: Aggiornamenti software parte dell Oggetto e relativa formazione del personale per le nuove versioni, Supporto telefonico: risposta immediata garantita da parte di personale tecnico idoneo all evasione della richiesta di informazioni, adeguato supporto alla comprensione della problematica e sua immediata risoluzione ove possibile. La completa risoluzione della problematica dovrà comunque avvenire entro, e non oltre, le 24 ore dalla richiesta di assistenza dell utente. Intervento presso IIT: nel caso in cui il supporto telefonico di cui sopra non fosse risolutivo, l offerente dovrà inviare presso IIT un idoneo tecnico specializzato entro, e non oltre, 7 giorni naturali e consecutivi dalla prima richiesta di assistenza di IIT. L intervento dovrà essere concluso positivamente entro, e non oltre, 7 giorni naturali e consecutivi decorrenti dalla data del primo intervento del suddetto tecnico. Tale termine tiene conto altresì dei tempi necessari per l approvvigionamento da parte del tecnico dei relativi pezzi di ricambio necessari alla riparazione della parte. Intervento presso l Aggiudicatario: nel caso in cui la parte oggetto dell intervento debba essere riparata presso la sede dell Aggiudicatario, l intervento dovrà essere concluso positivamente entro 1 giorni naturali e consecutivi dalla data di ricezione della parte presso la sede indicata dall Aggiudicatario. Qualora l Aggiudicatario non fosse in grado di riparare la parte nei termini di cui sopra, l Aggiudicatario provvederà, a sua cura e spese e negli stessi termini di cui sopra, alla sostituzione ex novo della parte oggetto dell intervento. Il servizio di Assistenza è comprensivo di tutti gli oneri (diritto di chiamata, spese di viaggio, spese di soggiorno, mano d opera, parti di ricambio e relative spese di spedizione, attrezzi e materiali di consumo necessari all intervento). Gli offerenti potranno indicare nella propria offerta tecnica ogni ulteriore specifica e/o dettaglio relativi alle modalità di esecuzione del servizio di assistenza. Pagina 4 di 7

5 4. MANUTENZIONE: Il servizio di Manutenzione dovrà prevedere un intervento annuo da parte di un idoneo tecnico specializzato da effettuarsi, in data da concordare con il Responsabile del Procedimento, entro la fine di ogni anno. Il servizio di Manutenzione sarà comprensivo di tutti gli oneri (diritto di chiamata, spese di viaggio, spese di soggiorno, mano d opera, parti di ricambio e relative spese di spedizione, attrezzi e materiali di consumo necessari all intervento). Art. 2C - Installazione e training 1. L installazione includerà la movimentazione con personale ed attrezzature adeguati fino al luogo indicato da IIT e dovrà essere completata entro 7 giorni naturali e consecutivi a decorrere dalla data di consegna dell Oggetto. 2. L Offerente dovrà prevedere almeno due giornate distinte e separate di training in favore di minimo 4 operatori della Fondazione. La prima giornata dovrà essere effettuata entro e non oltre 1 giorni naturali e consecutivi a decorrere dall esito positivo del collaudo. La seconda giornata, da concordare con l Aggiudicatario, dovrà essere effettuata entro 180 giorni naturali e consecutivi dalla prima. 3. L Aggiudicatario, se lo ritiene opportuno, può chiedere alla Fondazione di effettuare un sopralluogo al fine di verificare i percorsi ed il locale nel quale l Oggetto dovrà essere installato. Art. 3 - CARATTERISTICHE MIGLIORATIVE DELL OGGETTO L Oggetto sarà aggiudicato con il criterio dell offerta economicamente più vantaggiosa e pertanto i concorrenti potranno proporre soluzioni migliorative dell Oggetto offerto che, sulla base dei criteri e dei relativi punteggi attribuibili di cui sotto, saranno oggetto di valutazione da parte della Fondazione. Art. 3A- Caratteristiche tecniche- funzionali e qualitative dell Oggetto Il totale dei punteggi attribuibili per migliorie di natura tecnico-funzionali è pari a 0/100 suddivisi come segue. Elementi di valutazione tecnico-funzionale Criterio di attribuzione del punteggio Punteggio Massimo Densità di plasma (Argon) Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda della densità di plasma: - 0 punti per densità fino a cm -3 ; - 3 punti per densità superiori a cm -3 e fino a x10 11 cm -3 compreso; - punti per densità > x10 11 cm -3. Generatore di bias Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda della potenza del generatore di bias: - 0 punti per potenze fino a 00W; - 3 punti per potenze superiori a 00W e fino a 600W; - punti per potenze > 600W ; Generatore ICP Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda della potenza del generatore ICP: - 0 punti per potenze fino a 1kW; Pagina di 7

6 - 3 punti per potenze superiori a 1 e fino a 2 kw compreso; - punti per potenze superiori a 2kW ; Numero massimo di linee di gas alloggiabili Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda del numero massimo di linee di gas alloggiabili: - 0 punti fino a linee comprese; - 3 punti oltre le e fino a 10 linee comprese; - punti > 10 linee opzionalmente Intervallo di temperature del tavolo di alloggio del campione da processare alloggiabili. Sarà assegnato un numero di punti da 0 a 1 a seconda dell intervallo di temperature: - 0 punti per intervallo dai -20 ai 200 C; - 3 punti per intervallo da -30 a 20 C; - 1 punti per intervallo temperature da - 10 a 400 C incluso sistema automatico di commutazione dalla modalità di raffreddamento in azoto liquido a modalità di raffreddamento con acqua. Uniformità spaziale della T su un area di 8 Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda della variazione di T su un area di 8 : - 0 punti fino a ± 10 C; - 3 punti fino a ± 2 C; - punti al di sotto di ± 2 C. Livello di vuoto Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda del livello di vuoto raggiungibile in camera: - 0 punti per pressioni almeno inferiori a 10 - mbar; - 3 punti per pressioni comprese tra 10 - e 10-6 mbar; - punti per pressioni 10-6 mbar. Velocità di raggiungimento del vuoto Sarà assegnato un punteggio compreso tra 0 e a seconda della velocità di raggiungimento del vuoto: - 0 punti per portate <300l\s; - 3 punti per portate 300l\s; - punti per portate 00l\s. PUNTEGGIO MASSIMO RELATIVO ALLE CARATTERISTICHE TECNICHE 1 0 Art. 3B- Garanzia, Assistenza, Manutenzione e Tempi di Consegna Il totale dei punteggi attribuibili per migliorie offerte in merito all assistenza e garanzia è pari a 13 /100 suddivisi come segue. 1. Estensione del contratto di Garanzia, Assistenza e Manutenzione incluso nel prezzo di fornitura, oltre i 24 mesi iniziali e con le stesse modalità riportate nell Art. 2B: per ulteriori 12 mesi di garanzia (oltre i 24 iniziali): 3 punti per ulteriori 12 mesi di assistenza e manutenzione (oltre i 24 iniziali): 3 punti Pagina 6 di 7

7 2. Tempi di consegna per consegna nell arco delle 16 settimane rispetto alle 20 garantite: 3 punti 3. Pacchetto assistenza che preveda: a. Interventi Tecnici di Emergenza presso la sede della Fondazione entro 3 giorni naturali e consecutivi dalla richiesta di Intervento: 2 punti b. Spedizione parti di ricambio entro 3 giorni naturali e consecutivi dalla richiesta di Intervento: 2 punti Art. 3C - OFFERTA ECONOMICA Il totale dei punteggi attribuibili all offerta economica è pari a 37 /100. Alla migliore offerta economica saranno assegnati 37 punti. Alle altre offerte sarà attribuito il punteggio secondo la seguente formula: Dove: P = punteggio attribuito all offerta; PM = punteggio massimo attribuibile; OM = offerta (ribasso percentuale) migliore; O = offerta (ribasso percentuale) da valutare. P = PM*(O/OM) Nel caso in cui a più offerte fosse attribuito il medesimo punteggio, si procederà a sorteggio pubblico. La Fondazione, ai sensi dell art. 81, comma 3, del D.Lgs. 163/2006 e s.m.i. potrà, comunque, a suo insindacabile giudizio sospendere e/o non effettuare l esperimento della gara in oggetto, come pure revocarla o non assegnare l Oggetto del presento appalto e/o non addivenire alla stipula del conseguente contratto con l Offerente risultato vincitore. Art. 4 TEMPI E MODALITÀ DI CONSEGNA L Oggetto dovrà essere consegnato presso la sede della Fondazione di IIT@CRIB di Via Largo Barsanti e Matteucci, 3, 8012, Napoli, entro e non oltre 140 giorni naturali e consecutivi dall emissione dell ordine e/o stipula del contratto di appalto. Le condizioni di consegna dell Oggetto sono DDP (Incoterms 2010). ART. PENALITÀ Per il mancato rispetto di uno dei seguenti termini: - Termine per la consegna dell Oggetto; - Termine per l installazione dell Oggetto; - Termine per il training del personale della Fondazione; - Non rispetto delle tempistiche relative all art. 2B, 2C ed eventualmente del miglior tempo indicato nell offerta per le prestazioni assistenza di cui all art. 3B, punto 3.a e 3.b. sarà applicata una penale pari all un per mille del valore contrattuale. Si precisa che le penali sono tra loro cumulabili fino ad un massimo del 10% del valore contrattuale. Pagina 7 di 7