ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE



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1 of 11 ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE Sezione di Perugia Procedure di Sicurezza da adottare in Romeo&Giulietta del Laboratorio SERMS Premessa Premessa sulle attività in laboratorio Descrizione Descrizione della laboratorio e piantina con dimensioni e posizione macchine. Regole Regole da rispettare prima e dopo l ingresso nel laboratorio copy n controlled electronic version Delivered to: not controlled paper version A02 Format review A.Papi First emission 01/08/08 G.Scolieiri Rev. Description Date Issued by Approved by

2 of 11 CONTENTS 1. PREMESSA... 3 2. SCOPO... 5 3. DESCRIZIONE DELLA CAMERA PULITA... 5 DIMENSIONI DELLA CAMERA PULITA... 5 4. ORDINI DI SERVIZIO... 8 REGOLE COMPORTAMENTALI... 8 5 PROCEDURA DI UTILIZZO IN SICUREZZA...10 6 PERSONALE FORMATO E AUTORIZZATO ALL ACCESSO...11 7 ACRONYM LIST...11

3 of 11 1. PREMESSA Pur non essendoci particolari pericolosità all interno del laboratorio ci sono delle precauzioni che bisogna prendere per evitare rischi alla persona e danni alla struttura. Particolare cautela deve essere presa nel vestiario e nei movimenti all interno del laboratorio. Le norme riportate definiscono i parametri essenziali ai fini di un corretto comportamento in ambienti a controllo del microclima in classi miste m5.5 m3.5 (in accordo alla normativa fed std209e),soggetti a filtraggio e flussaggio di masse d aria. La componentistica in uso, wafers di silicio, monolitici vlsi, condensatori e cristalli in genere, e suscettibile di danneggiamento ad opera di scariche elettrostatiche (esd) dovrà pertanto essere posta molta attenzione a questo fenomeno. Di fondamentale importanza risulta il trattamento dell ambiente interno sotto il profilo della temperatura, del controllo dell umidità relativa e del filtraggio e flussaggio delle masse d aria. Il locale camera bianca e costantemente controllato in temperatura (+/- 1 ) ed umidità relativa (+/- 5% ur) attraverso un sistema computerizzato che segnala eventuali anomalie. Si eseguono due interventi annuali di conta particellare atti a controllare la classe della camera bianca (stato di efficienza dei pre filtri e dei filtri assoluti).

4 of 11 Tutte le macchine di condizionamento si trovano in una zona esterna, chiamata area tecnica, dove può accedere solo personale specializzato ed autorizzato.

5 of 11 2. SCOPO Lo scopo di questo documento è di informazione sulle regole e sulle procedure di sicurezza quando si lavora in camera pulita ed in particolare, lavorando sulla camera termo vuoto del laboratorio SERMS. Le seguenti regole definiscono il comportamento in aree con microclima controllato tra le classi M3.5-M6.5 (accordo con Federal Regulation STD2O9E), soggetti a flusso di aria filtrata. 3. DESCRIZIONE DELLA CAMERA PULITA Dimensioni della Di seguito una planimetria della camera pulita (figure 1). La è strutturata nel seguente modo: Entrata (Camera Decontaminazione) Clean Room Giulietta Zona di Interfaccia Clean Room Romeo La Giulietta è 499x930 cm2, classe M6.5 (Classe 100000) e CameraPulita Romeo è 490x930 cm2, classe M5.5 (Classe 10000). Il volume delle 2 camere è di circa 160 m 3 il ricambio di aria varia da 1900 a 2700 m 3 /h I parametri di Temperatura delle camere sono: Temperature: 21 C ± 1 C; Humidity: 50% ± 5%; Le camere possono essere controllate costantemente via software ed avere

6 of 11 diversi settaggi di temperature grazie ai due separate sistemi di flusso dell aria.

7 of 11 Romeo Giulietta Figure 1. Layout delle due Clean Rooms e delle zone adiacenti. L aria è ripetutamente filtrata per rimuovere le polveri ed altre impurità che potrebbero danneggiare i rilevanti sistemi tecnologici all interno. Una conta particellare controlla lo stato di efficienza dei filtri e pre-filtri della. Tutte le macchine per il flusso dell aria sono collocate in una zona esterna al laboratorio chiamata Area Tecnica,accessibile solo dal personale autorizzato.

8 of 11 4. ORDINI DI SERVIZIO Regole comportamentali Le seguenti regole lo standard per un corretto comportamento nelle aree con microclima controllato classi M4-M2 (accordi con Federal Regulation STD2O9E), soggetti a flusso di aria filtrata. 1 INDOSSARE OPPORTUNI CAMICI PULITI (TUTA INTERA SE SI INDOSSANO PANTALONI CORTI), SOTTOSCARPE, GUANTI, COPRICAPO E MASCHERINA AL FINE DI CONTENERE AL MASSIMO LA PRESENZA DI IMPUREZZE CORPUSCOLARI NELL AMBIENTE. 2 NON INDOSSARE MAI CAMICI, SOTTOSCARPE, ETC. ALL ESTERNO DELLA ZONA DI INTERFACCIA. 3 RIPORRE I SUDDETTI INDUMENTI NEGLI APPOSITI ARMADI SITI ALL INTERNO DELLE ZONE DI INGRESSO (vestibolo) 4 UTILIZZARE GLI ULTERIORI ARMADI SPOGLIATOIO, POSTI ALL ESTERNO DELLE ZONE DI INTERFACCIA, PER IL DEPOSITO DI INDUMENTI O QUANT ALTRO RISULTASSE INGOMBRANTE, O NON NECESSARIO AL LAVORO IN CAMERA BIANCA. 5 TUTTI I MATERIALI CHE DOVRANNO ESSERE PORTATI ALL INTERNO DELLA CAMERA BIANCA DOVRANNO ESSERE ACCURATAMENTE PULITI PRIMA DELL INGRESSO,NEL CASO DI MATERIALE DI GRANDI DIMENSIONI ESISTE UNA PORTA DI 2,43 m POSTA NAL LATO DELLA STRUTTTURA

9 of 11 6 NON APPORTARE ALCUNA MODIFICA DEI SET-UPS, CONFIGURAZIONI O ALTRO(PC COMPRESI), SE NON PREVENTIVAMENTE CONCORDATA CON I RESPONSABILI DEI VARI ESPERIMENTI CONTEMPORANEAMENTE PRESENTI IN CAMERA BIANCA. 7 ANNOTARE SEMPRE TUTTE LE OPERAZIONI SVOLTE SULL APPOSITO REGISTRO DI CUI E DOTATA OGNI POSTAZIONE DI LAVORO. 8 E FATTO ASSOLUTO DIVIETO DI APRIRE CONTEMPORANEAMENTE LE DUE PORTE CHE CONSENTONO L ACCESSO ALLA CAMERA BIANCA; L APERTURA DELLA PORTA INTERNA DISABILITA AUTOMATICAMENTE L INGRESSO E L USCITA DAL LOCALE DA PARTE DEL PERSONALE CHE DOVRA ATTENDERE LA RELATIVA CHIUSURA DELLA PORTA. 9 E FATTO ASSOLUTO DIVIETO DI UTILIZZARE L USCITA DI SICUREZZA E I DISPOSITIVI PER L USCITA DI SICUREZZA (SBLOCCHI AUTOMATICI DELLE PORTE) SE NON PER CASI DI EMERGENZA. 10 IN CASO DI QUALSIASI EMERGENZA VICINO AD OGNI PORTA SI TROVANO DELLE CASSETE PORTACHIAVI ROSSE PER L APERTURA MECCANICA DELLE PORTE 11 USARE MANUALE DI ISTRUZIONE PER UN CORRETTO UTILIZZO DELLE APPARECCHIATURE 12 SCOLLEGARE LA MACCHINA PRIMA DI MANUTENERLA O CAMBIARE ACCESSORI

10 of 11 5 PROCEDURA DI UTILIZZO IN SICUREZZA Nella stesura della procedura sono stati presi in considerazione i seguenti aspetti: - principali interventi adottati in materia di prevenzione e protezione - utilizzo dei dispositivi di protezione individuale - manutenzione ordinaria e straordinaria degli impianti e delle attrezzature DESCRIZIONE DELLE FASI OPERATIVE INDIVIDUAZIONE DEI PERICOLI MISURE DI PREVENZIONE E/O PROTEZIONE Ingresso 1) Blocco delle porte 1) Utilizzare le chiavi poste negli appositi scomparti rossi accanto alla porta ed uscire dal laboratorio Pulizia componenti sotto test Utilizzo di sostanze chimiche 1) Indossare adeguati indumenti protettivi (DPI) 1)Caricamento del prodotto da testare 2) Chiusura porta Manutenzione 1) Utilizzo di gru bandiera 2) Chiusura porta Rif.to: Manuale di Installazione, uso e manutenzione del fabbricante 1)Il personale autorizzato all utilizzo della grù dovrà: utilizzare DPI seguire le procedure del manuale della gru 2) Il personale autorizzato all utilizzio della macchina dovrà: Seguire la procedura scritta e assicurarsi che durante la fase di chiusura con pulsantiera sia transennata l area Rif.to: Manuale di Installazione, uso e manutenzione del fabbricante

11 of 11 6 PERSONALE FORMATO E AUTORIZZATO ALL ACCESSO NOME COGNOME STRUTTURA DI APPARTENENZA RIFERIMENTI Gianluca Scolieri INFN-Sez. Perugia Tel.: 0744 492968 Delfino Cosson INFN-Sez. Perugia Tel.: 0744 492968 Sauro Bizzaglia INFN-Sez. Perugia Tel.: Antonio Alvino INFN-Sez. Perugia Tel : 0744 492911 Roberto Battiston Università di Perugia Tel: 0744 492913 Tel:075 5852719 Bruna Bertucci Università di Perugia Tel: 0744 492913 Stefano Lucidi Consulente esterno INFN Tel: 075 5852722 Tel : 0744 492911 Serena Borsini Università di Perugia Tel : 0744 492911 Vincenzo Cascioli Università di Perugia Tel : 0744 492913 FIRMA Tutto il personale in oggetto è tenuto a prendere visione della documentazione in merito alla sicurezza e al corretto uso della macchina. 7 ACRONYM LIST SERMS: Studio degli Effetti delle Radiazioni sui Materiali per lo Spazio (Study of the Radiation Effect on Materials for Space applications). STD209E: Standard normative for clean rooms. NASA: National Aeronautics and Space Administration Fine del Documento Sezione INFN di Perugia Il Direttore Dott.Pasquale Lubrano