Laboratorio di MIcro. Tecnologie Abilitanti dell Emilia. e Submicro MIST E-RE

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Giovanna Bonfanti
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1 Laboratorio di MIcro e Submicro Tecnologie Abilitanti dell Emilia milia-romagna MIST E-RE 10 µm 5 µm

2 Perché un Laboratorio di Microtecnologie? Le Microtecnologie sono ormai identificate come lo strumento principale per mantenere competitive le produzioni tradizionali in settori quali i la Meccanica, Robotica, Elettro-Biomedicale Biomedicale,, Aerospaziale, ecc, che rappresentano punti di eccellenza nelle attività produttive della nostra Regione

3 Microtecnologie Le micro e nano tecnologie sono alla base del concetto di ambient intelligence ( intelligenza che ci circonda ) che la Comunità Europea considera come paradigma di sviluppo per il prossimo futuro In Regione esistono: realtà di Eccellenza Scientifica, che da sempre collaborano con aziende nazionali e internazionali nel settore della microelettronica e dei microsistemi. attività imprenditoriali ad alto contenuto innovativo interessate e ad accedere alle potenzialità offerte dalle microtecnologie. È dimostrato che la presenza di competenze e attrezzatrure di alta tecnologia favorisce la nascita e il richiamo di nuove attività imprenditoriali (come già avvenuto con imprese attive nel settore spaziale, che hanno aperto una sede a Bologna ed inviato personale a lavorare negli Istituti CNR, su progetti di interesse comune nelle tematiche MEMS e MOEMS)

4 Partners del Laboratorio: Enti di Ricerca ed Università Consiglio Nazionale delle Ricerche Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi (IMM) - Bologna Istituto dei Materiali per l Elettronica l ed il Magnetismo,, (IMEM) - Parma Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati (ISMN) - Bologna UNIVERSITÀ DI BOLOGNA Dipartimento di Elettronica Informatica e Sistemistica (DEIS) UNIVERSITÀ DI FERRARA Dipartimento di Fisica Laboratorio sensori e semiconduttori Dipartimento di Ingegneria

5 Partners del Laboratorio Imprese o Consorzi Supporter RI.MOS. S.R.L. MEDICAL PRODUCTS Distribuzione degli enti e delle imprese

6 Missione di MIST E-RE (1) - Eccellenza Scientifica 1. Creare un Laboratorio a Rete dedicato alle Tecnologie Abilitanti per la realizzazione di Microsistemi (Ottici,( Meccanici, Chimici, Fotonici, ), associando competenze complementari già esistenti nella Regione. 2. Divenire punto di riferimento per le lavorazioni superficiali micro e sub-micrometriche, mediante tecnologie innovative Top-Down Down,, (fabbricazione( non convenzionale di Strutture Meccaniche, Fotoniche, Sensoristica innovativa, Telecomunicazioni, ecc.) 3. Sviluppare strumenti innovativi per la ingegnerizzazione multifunzionale dei materiali e per la realizzazione di sistemi di interfaccia fra nanostrutture e mondo macroscopico.

7 Missione MIST E-RE (2) - Trasferimento Tecnologico Guidare la crescita di nuovi prodotti e nuovi segmenti di mercato usando le tecnologie dei microsistemi: Dimostrando le potenzialità industriali dei microsistemi con lo sviluppo di materiali, processi, sistemi, Prototipi Precompetitivi. Favorendo il Trasferimento Tecnologico dei risultati conseguiti in progetti nazionali o europei (FP5 e FP6) Creando un ponte, fra Ricerca ed Imprese, basato sulla integrazione delle attività che si genera quando personale appartenente ai due mondi opera congiuntamente per la realizzazione di Progetti di interesse comune

8 Obiettivi Operativi MIST E-RE Attrazione di Capitale Umano, che rappresenta la più importante risorsa di una struttura che ambisce all eccellenza Formazione sul campo dei giovani coinvolti, utilizzando le strutture messe a disposizione dai partners Divulgazione dei Risultati con Seminari e realizzazione di una banca dati con motore di ricerca Promozione di Spin-Off ponendo a disposizione le strutture di MIST E-R E R nella fase di start-up della creazione di impresa

9 Piano di Attività Articolazione in due sottoprogetti: 1. Tecnologie di micro funzionalizzazione di materiali e superfici per Meccanica, Ottica e Sensoristica 2. Sviluppo di Tecnologie Abilitanti per la realizzazione di Micro e Sub-micro Sistemi Ibridi

10 Forze in Campo Sono impegnati Ricercatori e Tecnici per un totale di 48 anni uomo, di cui 32 anni uomo si riferiscono a Ricercatori di nuova assunzione

11 Principali attività di Ricerca Ottica Integrata Micromachining MEOS Micro Electro-Optical Systems MEMS Micro Electro-Mechanical Systems Micro Opto MOEMS Opto-Electro-Mechanical Systems Elettronica di Pilotaggio e Gestione Segnali

12 Microtecnologie MEMS e MOEMS Le tecnologie di fabbricazione dei MEMS e/o dei MOEMS sono in gran parte le stesse messe a punto negli ultimi decenni per la microelettronica. Pertanto, le Tecnologie Abilitanti per la realizzazione di microsistemi sono comuni sia al settore elettromeccanico dei MEMS.. µ Accelerometro µ-thruster Sia al settore Elettro-ottico o Fotonico dei MOEMS. Micromotore µ-interferometro Guida ottica integrata Struttura Fotonica

13 Roadmap per Settore di Mercato (Nexus)

14 Mercato mondiale dei microsistemi (per volumi di vendita, MLD ) (Nexus)

15 Distribuzione di mercato in Europa (per attori e vendite, 2002) (Nexus)

16 Impatto Previsto per Settore

17 Applicazioni Oggi Mature Settore Logistica, Safety and Security

18 Settore Bio-Elettro Medicale Patient Home Monitoring: : (ECG, Blood Pressure, Blood Sugar, etc.) Endoscopia Micro-Iniezione

19 Applicazioni Oggi Mature Confort e Sicurezza nel Settore Automotive Automotive Pneumatici

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