Sistemi da vuoto. Sistemi reali Q. F superficie. Per avere basse pressioni: - Elevate velocità di pompaggio. Q in V.

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1 ondizioni stazionarie ondizioni dinamie d istemi da vuoto qf q F q portata/superficie i F superficie qf Ke t er avere basse pressioni: -materiali e trattamenti tt tia basso q - Elevate velocità di pompaggio ondizioni i idinamie i ed diniezioni i i idi gas Ke t qf in qf in G H amberump H{ q istemi reali G B B AT costante t èl la grandezza e si conserva lungo il sistema B ump H ump B B B H pompa di alto vuoto B pompa di basso vuoto o meglio back ( di pre - vuoto),,, max in,, maxout, max all ingresso = max H out ingresso e uscita Uscita atm K= fattore di compressione K= fattore di compressione Le velocità di pompaggio devono tener conto delle tra le varie parti, quindi della velocità di pompaggio efficace.

2 Automazione e controllo Utile sematizzare Gli utilizzi e/o servici con flow art della Logica. Flow art per: tart up, tand by, Bake-out, Operation onnessioni per vuoto KF (klamp Flange) LF (Long Flange) F (onflat Flange) NW Range di utilizzo fino 10-7 (mbar) O-ring di vari materiali Nitrile, Buna-N, iton, Kalrez DN 16, 25, 40, , 100, 160 UH bake-out Guarnizioni in rame DN 16, 40, 63, 100

3 Misure di intensità (portata) dei fasci Tecnica del volume di compressione tot abs out d d abs d ; : abs 1 e abs t Necessità di un sistema di Iniezione gas. recisione? ITEMA ALIBRATO Di iniezione istema di ibrazione di portate Devo misurare al

4 Misura di d ( ) costante : t ( t) (0) e (0) e t 9 bm ExpDec1 fit of aug17meas_bm bm (mbar) 8 Data: aug17meas_bm Model: ExpDec1 Equation: y = A1*exp(-x/t1) + y0 Weighting: 7 y Instrumental hi^2/dof = R^2 = 1 y ± A ± t ± Misura di mediante Evacuazione di attraverso ; inoltre time (min.) e? Misura di Ho un volume di riferimento noto grazie ad una misura (ex situ) del liquido id e puo contenere ( ref ). da =costante In situ mediante l espansione del gas contenuto ref, posso determinare. ref dopo l'espansione ref ref ( ) ref ( i ) ( ( i 1) ) Non abbiamo misuratori di pressione in ref, pertanto si usa la misura di effettuata prima dell espansione c quando i due volumi sono comunicanti, poi iudo la valvola l tra essi, evacuo e faccio un altra misura.

5 Misure di portata ibrate I misuratori i a ionizzazione i i hanno un accuratezza bassa %, ma una migliore riproducibilità 1-5%. abs IG ossiamo riportare la risposta di IG ( cv ), rispetto alla portata ibrata e quindi poi dedurre la misura di abs con errori dell ordine del % olume di compressione cv conduttanza del tubo del alibrazione di cv ib (mba ar l/s) 1,6x qal Linear Fit of c0fins230_qal alibrated througput measured with a 1% error 0 fins for 23 august 1,4x10-3 inear Regression for c0fins230_qal: Y = A + B * X 1,2x10-3 Weight given by c0fins230_err error bars. arameter alue Error 1,0x A -7,2146E-5 1,96151E-6 B 8, , ,0x R D N 6,0x ,9999 6, , ,0x10-4 6,0x10-5 8,0x10-5 1,0x10-4 1,2x10-4 1,4x10-4 1,6x10-4 1,8x10-4 2,0x10-4 cv (mbar) uando inietto gas dall AB e msuro per esempio: AB inlet cv mbar Ottengo per la portata AB mbar l s alibrazione della lettura di pressione cv pressione mediante portate ibrate

6 istema di alibrazione 1 alvola per evacuare G 3 da alte pressioni > 10-1 mbar G 2 l 2 6 cv 2 alvola di prevuoto ompa 3 per la turbo Turbo 3 p 3 alvola per evacuare da basse pressioni < 10-1 mbar G 1 4 l 1 4 e 5 alvole del volume ref di riferimento l2 alvola termoregolata 5 da G e bypass 1 ompa A membrane l1 alvola a perdita regolabile eee p pneumatica, ref, cv olumi G 1, G 2,G 3 misuratori di vuoto ATTENZIONE: Ricontrollare lo sema a bloci e l etiettatura tt t del sistema di ibrazione sulla situazione attuale nel laboratorio (serve in caso di modifie e per prendere confidenza) Misure di Intensità / portata uesito: alcolare l intensità del fascio dalla misura di portata. I atomi / sec f ( )

7 Misure con errori minimi Misure di Intensità in un tubo di iniezione ( cv ) alibrare la misurazione di ( cv ) o erve al e da al al o s i ricava dall evacuazione dl al oi misura poi l intensità sottraendo il fondo con la bandierina Misure di Attenuazione alibrare la misurazione di in tutti i rami dove passa il fascio o erve una sonda precisa per confrontare in un intervallo di sovrapposizione le misure assolute. o Ovviamente si deve ibrare ogni misuratore sul gas utilizzato. t Ma (m mbar) time (min.) d 1 ( a b) Attribuiamo a medio ( 0) (0) / e 2 i potrebbe fare un migliore stima. d ( ) f costante : a b d ( a b) 1 a b ln a

8 procedure ERIFIARE LE REEDENTI MIURE ondizionare tutto il sistema esposto ad H 2 per almeno 3 ore. erifare la stabilità di (meno del 5% in 1 h) Misurare 3 punti almeno 1.5 h per ogni misura, o utilizzare fit migliore. Misurare cv ad una data, stabilità (3 punti almeno). alibrare IMR 265 verso MK 0.02 Torr icurezza in Laboratorio rima di tutto buon senso e lucidità Manuale di sicurezza disponibile in laboratorio er pinlab: Bombole ad alta pressione, controllo in caso di utilizzo He. Rumori : vicino i agli appartati ti ci sono livelli lli superiori i a 80 db, utilizzare cuffie o tappi olventi:» Isopropilico: non tossico» Etilico non tossicco» Acetone tossico per inalazione (utilizzare sotto cappa e/o piccoli quantitativi e» Acidi, sotto cappa e con indumenti e guanti. Movimentazione carroponte, solo autorizzati non stare sotto