CHIMICA DELLE SUPERFICI ED INTERFASI

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1 CHIMICA DELLE SUPERFICI ED INTERFASI DOTT. GIULIA FIORAVANTI UNIVERSITÀ DEGLI STUDI DELL AQUILA LAUREA MAGISTRALE IN INGEGNERIA CHIMICA LAUREA MAGISTRALE IN SCIENZE CHIMICHE

2 MICROSCOPIA ELETTRONICA Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 2

3 MICROSCOPIO ELETTRONICO LO STRUMENTO CHE PERMETTE DI VEDERE MICRORGANISMI E STRUTTURE CELLULARI PIÙ PICCOLE DEL LIMITE DI RISOLUZIONE DEL MICROSCOPIO OTTICO È IL MICROSCOPIO ELETTRONICO, CHE BASA IL SUO FUNZIONAMENTO NON SULLA LUCE, BENSÌ SU FASCI DI ELETTRONI. GLI ELETTRONI HANNO BASSISSIME LUNGHEZZE D'ONDA (DELL'ORDINE DEGLI Å), QUINDI SI OTTENGONO RISOLUZIONI PIÙ ELEVATE. NON SARÀ POSSIBILE USARE I NORMALI DISPOSITIVI OTTICI, CHE NON DEVIANO IL FASCIO DI ELETTRONI, MA SI USERANNO LENTI ELETTROSTATICHE/ELETTROMAGNETICHE (PRESENZA DI CAMPO ELETTRICO E MAGNETICO CHE DEVIA IL FASCIO). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 3

4 INTERAZIONE FASCIO ELETTRONI-MATERIA Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 4

5 INTERAZIONE ELETTRONE-MATERIA LA RADIAZIONE ELETTROMAGNETICA INTERAGISCE CON: LA NUVOLA ELETTRONICA GLI ELETTRONI INTERAGISCONO CON: NUVOLA ELETTRONICA NUCLEO I NEUTRONI (PARTICELLE NEUTRE) INTERAGISCONO CON: NUCLEO GLI ELETTRONI SONO CARICHE NEGATIVE E SUBISCONO IL FENOMENO DI DIFFUSIONE (SCATTERING) PER INTERAZIONE COULOMBIANA. GLI ELETTRONI VENGONO DIFFUSI MOLTO DI PIÙ RISPETTO A RAGGI X E NEUTRONI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 5

6 L ELETTRONE SI COMPORTA COME: SCATTERING (DIFFUSIONE) E in, in PARTICELLA (ENERGIA E) SCATTERING ELASTICO: E ~ 0 (1-10 IN AVANTI; >10 RETRODIFFUSI) SCATTERING ANELASTICO: E > 0 (< 1 ) ONDA (FASE ) COERENTE ~ 0 (1-10 IN AVANTI) INCOERENTE 0 centro diffusore E out, out > 90 < 90 DIFFUSIONE ALL INDIETRO (SEM) DIFFUSIONE IN AVANTI (TEM) Scattering Elastico Coerente Scattering Elastico Incoerente Scattering Anelastico Incoerente Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 6

7 FENOMENI DI SCATTERING SCATTERING ELASTICO È IL RISULTATO DELLO SCATTERING CON I NUCLEI DEGLI ATOMI DEL CAMPIONE, PARZIALMENTE SCHERMATI DAGLI ELETTRONI DI LEGAME. NON C È TRASFERIMENTO DI ENERGIA, L ENERGIA CINETICA DEGLI ELETTRONI RIMANE INVARIATA. C È UN CAMBIAMENTO NELLA DIREZIONE DEL MOTO DELL ELETTRONE DEL FASCIO. SCATTERING ANELASTICO È IL RISULTATO DELLO SCATTERING CON GLI ELETTRONI DEGLI ATOMI DEL CAMPIONE. C È TRASFERIMENTO DI ENERGIA VERSO GLI ATOMI DEL CAMPIONE, L ENERGIA CINETICA DEGLI ELETTRONI DIMINUISCE. NON C È UN CAMBIAMENTO NELLA DIREZIONE DEL MOTO DELL ELETTRONE DEL FASCIO. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 7

8 e - primari Microscopia elettronica in trasmissione (TEM) e - retrodiffusi (BSE): pochi e - Auger e - secondari (SE) raggi X caratteristici (microanalisi) nm e - diffusi (contrasto Z) raggi X e - continuo trasmessi (immagini/diffrazione/ Energy Loss) Campione sottile ( trasparenza elettronica ) Volume di interazione Microscopia elettronica a scansione (SEM) e - retrodiffusi (BSE): tanti (immagini) e - Auger e - primari e - secondari (SE) (immagini) raggi X caratteristici (microanalisi) e continuo Volume di interazione Campione massivo Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 8

9 MICROSCOPIO ELETTRONICO A TRASMISSIONE (TEM) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 9

10 MICROSCOPIO ELETTRONICO A TRASMISSIONE (TEM) IL PRIMO MICROSCOPIO ELETTRONICO, SVILUPPATO NEGLI ANNI TRENTA DEL SECOLO SCORSO, È IL MICROSCOPIO ELETTRONICO A TRASMISSIONE (TEM), CHE PERMETTE UNA VISIONE BIDIMENSIONALE DEL CAMPIONE. GLI ELETTRONI GENERATI DAL RISCALDAMENTO DI UN FILAMENTO DI TUNGSTENO E ACCELERATI, DOPO AVER ATTRAVERSATO IL CAMPIONE, DA CUI VENGONO IN PARTE DISPERSI, COLPISCONO UNO SCHERMO FLUORESCENTE, DOVE FORMANO L IMMAGINE INGRANDITA (CHE PUÒ ESSERE OSSERVATA). CON IL TEM L INGRANDIMENTO ARRIVA A VOLTE, MENTRE IL LIMITE DI RISOLUZIONE È DI 0,5 nm. IL TEM È QUINDI UNO STRUMENTO FONDAMENTALE PER LO STUDIO DEI VIRUS (LE CUI DIMENSIONI SONO COMPRESE TRA nm) E DI COSTITUENTI CELLULARI E MOLECOLARI DEI SISTEMI VIVENTI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 10

11 MICROSCOPIO ELETTRONICO A TRASMISSIONE (TEM) SORGENTE: TUBO A RAGGI CATODICI O CANNONE DI ELETTRONI LA SORGENTE PRODUCE UN FASCIO DI ELETTRONI TRAMITE DIVERSI FENOMENI: 1. EFFETTO TERMOIONICO (CATODO CALDO) 2. EMISSIONE DI CAMPO (CATODO FREDDO) 3. EMISSIONE SCHOTTKY (CANNONE) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 11

12 LaB 6 EFFETTO TERMOIONICO IN PRESENZA DI UN CATODO METALLICO (TUNGSTENO W O ESABORURO DI LANTANIO LaB 6 ), SOTTOPOSTO AD ECCITAZIONE TERMICA, SI OTTIENE EMISSIONE DAL FILAMENTO PER EFFETTO TERMOIONICO. L'EMISSIONE NON È LINEARE, E SI FANNO CONVERGERE GLI ELETTRONI IN UN PUNTO (CROSS-OVER) CHE È LA SORGENTE REALE DI ELETTRONI. PROBLEMI: Filamento IL CROSS-OVER È UN PUNTO CRITICO (DIAMETRO m). SI HA FLUTTUAZIONE DEL FASCIO CHE INCIDE SULLE ABERRAZIONI. Cross-over (REPULSIONI COULOMBIANE TRA GLI ELETTRONI DEL FASCIO) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 12

13 EMISSIONE DI CAMPO L'EMISSIONE DI ELETTRONI AVVIENE PER EFFETTO TUNNEL (EFFETTO QUANTISTICO), SENZA SCALDARE (CATODO FREDDO). SI OTTENGONO FASCI PIÙ COERENTI, DEL DIAMETRO DEI nm. funzione lavoro E f metallo superficie vuoto Energia di Fermi V 0 ELETTRONE IN UN METALLO È ASSIMILATO AD UNA PARTICELLA LIBERA (FUNZIONE D ONDA SINUSOIDALE). IN PRESENZA DI UNA BARRIERA DI POTENZIALE (ES. SUPERFICIE), LA FUNZIONE D ONDA DECADE ESPONENZIALMENTE SE L ENERGIA CINETICA E K < NOTA: IN EMISSIONE DI CAMPO A FREDDO: SI DEVE LAVORARE IN ULTRA ALTO VUOTO (UHV) PER NON AVERE OSSIDI O CONTAMINANTI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 13

14 EMISSIONE DI CAMPO GLI ELETTRONI SONO ACCELERATI VERSO IL CAMPIONE DA UNA DIFFERENZA DI POTENZIALE (ANCHE 10 6 V) FRA LA SORGENTE (CATODO) ED UNO SCHERMO FORATO (ANODO). AMPLIFICAZIONE DEL CAMPO ELETTRICO SULLE PUNTE. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 14

15 EMISSIONE SCHOTTKY SI HA UN FILAMENTO DI W RICOPERTO DA ZrO 2. LA PRESENZA DELL OSSIDO FA DIMINUIRE LA BARRIERA DI POTENZIALE, QUINDI SERVE MENO ENERGIA TERMICA (EMISSIONE TERMOIONICA ASSISTITA). SI OTTENGONO FASCI DEL DIAMETRO DEI 10 nm. NOTA: VIENE USATO COME COMPONENTE DEI TUBI CATODICI PER TELEVISORI O MONITOR. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 15

16 Catodo Sistema ottico Campione OTTICA ELETTRONICA IL SISTEMA OTTICO PUÒ ESSERE COSTITUITO DA: LENTI ELETTROSTATICHE LENTI MAGNETICHE (MAGNETI) LENTI ELETTROSTATICHE + MAGNETICHE LENTI ELETTROMAGNETICHE (SOLENOIDE) N N S S Una lente elettromagnetica è formata da un nucleo cilindrico di ferro dolce contenente un avvolgimento di spire di ferro. Quando viene fatta passare una corrente si genera un campo elettro-magnetico parallelo all asse della lente. Il campo, agendo sulla carica elettrica dell elettrone, devia il suo moto. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 16

17 OTTICA ELETTRONICA IN UNA LENTE PERFETTA (SENZA ABERRAZIONI) C È UNA PERDITA DI INFORMAZIONI DOVUTA ALLE DIMENSIONI FINITE DELLA SUA APERTURA. AD UN PUNTO NEL PIANO OGGETTO CORRISPONDE UN DISCO DI AIRY CON UN DISCO CENTRALE DI RAGGIO. NEI SISTEMI OTTICI (CHE SONO PRATICAMENTE PERFETTI) È POSSIBILE OPERARE CON GRANDI ANGOLI DI CONVERGENZA IN MODO DA RIDURRE IL RAGGIO QUINDI LA RISOLUZIONE RISULTA DELL ORDINE DI. NEI SISTEMI ELETTRO-OTTICI LE ABERRAZIONI IMPONGONO DI UTILIZZARE ANGOLI MOLTO PICCOLI E LA RISOLUZIONE RISULTA MOLTO PIÙ ALTA DI (DI CIRCA UN FATTORE 10 2 ). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 17

18 POTERE RISOLUTIVO IL POTERE RISOLUTIVO DI UN SISTEMA OTTICO È LA MINIMA DISTANZA TRA DUE PUNTI CHE RIESCO AD OSSERVARE COME DISTINTI. PER LA LUCE VISIBILE IL PRINCIPALE FATTORE LIMITANTE È DOVUTO AL FENOMENO DELLA DIFFRAZIONE CHE PORTA AD UN LIMITE DEL POTERE RISOLUTIVO (CRITERIO DI RAYLEIGH). LA MINIMA DISTANZA FRA I DISCHI DI AIRY, PERCHÉ SIANO DISTINGUIBILI, DEVE ESSERE UGUALE AL LORO RAGGIO.

19 POTERE RISOLUTIVO PUÒ ESSERE DEFINITO DALLA TEORIA DI ABBE E DAL CRITERIO DI RAYLEIGH. sen PER MIGLIORARE IL POTERE RISOLUTIVO DOVREI AUMENTARE L APERTURA DEL DIAFRAMMA (AUMENTA Α) MA QUESTO INTRODUCE MAGGIORI ABERRAZIONI (RAGGI MENO PARASSIALI). NEI SISTEMI OTTICI (CHE SONO PRATICAMENTE PERFETTI) È POSSIBILE OPERARE CON GRANDI ANGOLI DI CONVERGENZA IN MODO DA RIDURRE IL RAGGIO QUINDI LA RISOLUZIONE RISULTA DELL ORDINE DI. NEI SISTEMI ELETTRO-OTTICI LE ABERRAZIONI IMPONGONO DI UTILIZZARE ANGOLI MOLTO PICCOLI E LA RISOLUZIONE RISULTA MOLTO PIÙ ALTA DI (DI CIRCA UN FATTORE 10 2 ).

20 POTERE RISOLUTIVO COME MIGLIORARE IL POTERE RISOLUTIVO??? sen d n sen Indice di rifrazione n >> Obiettivi ad immersione Olio n = 1.56 Angolo a >> Avvicino il campione alla lente obiettivo Lunghezza d onda << Dalla luce Vis al fascio di elettroni Elettroni accelerati con V = 25 KV corrispondono a λ = 0.08 nm. Elettroni accelerati con V = 100 KV corrispondono a λ = 0.04 nm. A = 70, sen a = 0.94 Luce Blu = 450 nm Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 20

21 BRILLANZA E ABERRAZIONE BRILLANZA ASSIALE (DELLA SORGENTE): PER UN FASCIO IDEALE È PUNTUALE, PER UN FASCIO REALE SI TIENE CONTO DI UNA CERTA DIVERGENZA (ABERRAZIONE). TIPI DI ABERRAZIONE: (DI DIFFRAZIONE, SFERICA, CROMATICA, ASTIGMATICA ASSIALE, DIAMETRO GAUSSIANO) IL DIAMETRO REALE DELLA SORGENTE È DATO DALLA SOMMATORIA DELLE DIVERSE COMPONENTI DI ABERRAZIONE (d 2 = i d i2 ). USO UNA CURVA DI CALIBRAZIONE PER CALCOLARE IL DIAMETRO MINIMO DEL FASCIO (FACCIO VARIARE L'INTENSITÀ E VEDO COME VARIANO LE ABERRAZIONI). LAVORARE CON UN FASCIO CON PICCOLO DIAMETRO VUOL DIRE AVERE BASSE INTENSITÀ DI FASCIO (BASSA BRILLANZA) MA UN MIGLIORE CONTRASTO (RAPPORTO SEGNALE/RUMORE). LAVORARE CON UN FASCIO AD ALTA ENERGIA MI DA ALTA BRILLANZA, MA ANCHE MAGGIORI ABERRAZIONI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 21

22 BRILLANZA LA MASSIMA DENSITÀ DI CORRENTE CHE PUÒ ESSERE FOCALIZZATA SUL CAMPIONE È: J b = 4i b / d 0 2 i b = CORRENTE TOTALE DEL FASCIO d 0 = DIAMETRO DEL CROSS OVER BRILLANZA: DENSITÀ DI CORRENTE PER UNITÀ DI ANGOLO SOLIDO 4 /( d i b 2 0 0) 0 Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 22

23 ESEMPI DI ABERRAZIONI Aberrazione sferica Aberrazione cromatica DISTORSIONE OTTICA Elettroni che si muovono a diversa distanza dall asse vengono focalizzati in punti diversi Elettroni con diversa energia vengono focalizzati in punti diversi L'ABERRAZIONE DI UN SISTEMA OTTICO È LA DIFFERENZA TRA L'IMMAGINE EFFETTIVA, REALE O VIRTUALE, FORMATA DAL SISTEMA E L'IMMAGINE CHE SI VOLEVA OTTENERE, Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 23

24 CONFRONTO TRA FILAMENTI Emettitore Vita media (ore) Source size Brillanza a 25KV W (termoionico) m 1 A cm 2 sr -1 LaB m A cm 2 sr -1 W (emissione di campo) <100 A A cm 2 sr -1 Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 24

25 Sorgente SCHEMA STRUMENTO (TEM) Lenti condensatore (x 2) Campione Lenti obiettivo (x 2) Lente di diffrazione Lente intermedia Lenti proiettrici (x 2) Immagine reale LE ENERGIE IN GIOCO DEL FASCIO SONO ELEVATE (100 KeV MeV). IL BOMBARDAMENTO ELETTRONICO MODIFICA IL MATERIALE FINO A DANNEGGIARLO. L'USO DI LENTI CONDENSATORI RIDUCE IL FASCIO E DA UNA PROTEZIONE TERMICA. DANNEGGIAMENTO CAMPIONE: DANNEGGIAMENTO PER RISCALDAMENTO, DANNI STRUTTURALI, PERDITA DI MASSA, EFFETTO DI CARICA. IL RIVELATORE SI TROVA SOTTO IL CAMPIONE (TRASMISSIONE). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 25

26 PREPARAZIONE CAMPIONI TEM SI USANO DEI PORTA CAMPIONE (DISCHI DI CIRCA 3 mm DI DIAMETRO) POSSO USARE DELLE GRIGLIE DI RAME RICOPERTE DI CARBONIO SU CUI DEPOSITO IL MIO CAMPIONE. POSSO ALTRIMENTI ASSOTTIGLIARE IL CAMPIONE (BULK). 1. SEGA DIAMANTATA: TAGLIO IL CAMPIONE FINO A SPESSORI DI 0.5 mm 2. DISCHI ABRASIVI: ASSOTTIGLIAMENTO MECCANICO FINO A 20 m 3. TRAPANO AD ULTRASUONI: OTTENGO UN DISCO DI 50 m 4. SPUTTERING (BOMBARDAMENTO CON IONI Ar) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 26

27 PREPARAZIONE CAMPIONI TEM 1) 2) Slot Cu o Mo 2 mm 3) 200 nm campione massivo 20 m 200 nm 3 mm assottigliamento meccanico eventuale incollaggio slot metallica 4) fascio e - 3 mm rotazione Ar + 5 kev assottigliamento ionico SEZIONE PLANARE Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 27

28 1) 200 nm 2) SEZIONE TRASVERSALE 3) 2 mm C incollaggio supporto taglio con sega diamantata (spessore ~ 1 mm) assottigliamento meccanico incollaggio slot metallica campione massivo Supporto (S) Campione (C) slot Cu o Mo S 20 m S C C 4) 3 mm 3 mm 5) fascio e - assottigliamento ionico Ar + 5 kev sezione trasversale

29 MECCANISMI DI CONTRASTO IN TRASMISSIONE CONTRASTO DI AMPIEZZA: LEGATO ALL'INTERAZIONE DEGLI ELETTRONI CON IL CAMPO COULOMBIANO DEGLI ELETTRONI DEL CAMPIONE (SCATTERING INCOERENTE ANELASTICO) BRIGHT FIELD (CAMPO CHIARO) CONTRASTO DI DIFFRAZIONE: DIFFERENZA DOVUTA ALL'INTERAZIONE DEGLI ELETTRONI CON IL CAMPO COULOMBIANO DEI NUCLEI DEGLI ATOMI DEL CAMPIONE (SCATTERING COERENTE ELASTICO) DARK FIELD (CAMPO SCURO) CONTRASTO DI FASE: LEGATO ALL'INTERFERENZA TRA I FASCI DIFFRATTI, IN DIFFERENZA DI FASE (SCATTERING COERENTE ELASTICO) HRTEM (HIGH RESOLUTION TRASMISSION ELECTRON MICROSCOPY) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti Particelle di Au su C 29

30 DIFFRAZIONE - LEGGE DI BRAGG L 2 d sin = n PER MOLTO PICCOLI SI HANNO ANGOLI DI DIFFRAZIONE MOLTO PICCOLI R L = lunghezza di camera R = distanza dal trasmesso ESEMPIO: PER Au(311), d(311) = nm ~ nm (E, 300KV) ~ 0.46 ~ 0.1 nm (RAGGI X, 12.4 KEV) ~ 23.9 Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 30

31 FORMAZIONE FIGURE DI DIFFRAZIONE Campione Lente obiettivo SAED = SELECTED AREA ELECTRON DIFFRACTION SI SELEZIONA LA PARTE DEL CAMPIONE DESIDERATA CON UNA APERTURA APPOSITA SITUATA IN UN PIANO CONIUGATO DEL CAMPIONE (SOTTO L APERTURA DELL OBIETTIVO). Piano focale SAED da cristallo singolo (SPOT) g ( h, k, l) SAED da poli-cristallo (anelli Debye-Scherrer) Asse ottico (h k l) trasmesso Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 31

32 TEM: CONTRASTO DI DIFFRAZIONE IL CONTRASTO DI DIFFRAZIONE E LEGATO ALLO SCATTERING COERENTE ELASTICO ALLA BRAGG ED È PRESENTE IN CAMPIONI CRISTALLINI. SE UN DOMINIO O UNA ZONA DEL CAMPIONE DI TROVA IN CONDIZIONE DI BRAGG E UN ALTRO NO HO CONTRASTO LEGATO AGLI ELETTRONI RIMOSSI DAL FASCIO TRASMESSO (ISOLATO CON UN DIAFRAMMA) non Bragg obiettivo diaframma Bragg schermo I 2 I I 1 Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 32

33 HRTEM - HIGH RESOLUTION TRASMISSION ELECTRON MICROSCOPY SI OTTIENE UNA RISOLUZIONE QUASI ATOMICA (SU CAMPIONI CRISTALLINI), ADATTA A STUDIARE CAMPIONI SOTTILI (< 20 nm). MINIMIZZO LA DIFFUSIONE DEGLI ELETTRONI DOVUTI AD UNO SPESSORE ELEVATO DEL CAMPIONE (ELETTRONI DI BACK SCATTERING). SI BASA SULLA FORMAZIONE DI IMMAGINI DI INTERFERENZA. RIESCO A VEDERE DIFETTI RETICOLARI PUNTUALI O ESTESI (BORDI DI GRANO O DISLOCAZIONI) A RISOLUZIONE ATOMICA, FINO A VERE E PROPRIE STRUTTURE ATOMICHE SUPERFICIALI (DIFETTI NEL Si). sezione trasversale di multistrato InP/InGaAs Zinc blende (cubic) GaAs: a = nm InP: a = nm Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 33

34 IMMAGINI TEM LE IMMAGINI CHE SI OTTENGONO CON LA MICROSCOPIA ELETTRONICA SONO NEI VARI TONI DEL GRIGIO PERTANTO, EVENTUALI COLORAZIONI SONO IL RISULTATO DI MODIFICAZIONI APPORTATE NELL ELABORAZIONE DELLE STESSE. Nanotubi di carbonio Cellula di Chlamydomonas Nanoparticelle a) HfO2, b) Nd2O5, c) Ga2O3, d) In2O3, e) Sn0.90In0.10Ox, f) Fe3O4 Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 34

35 MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE (SEM) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 35

36 e - primari Microscopia elettronica in trasmissione (TEM) e - retrodiffusi (BSE): pochi e - Auger e - secondari (SE) raggi X caratteristici (microanalisi) nm e - diffusi (contrasto Z) raggi X e - continuo trasmessi (immagini/diffrazione/ Energy Loss) Campione sottile ( trasparenza elettronica ) Volume di interazione Microscopia elettronica a scansione (SEM) e - retrodiffusi (BSE): tanti (immagini) e - Auger e - primari e - secondari (SE) (immagini) raggi X caratteristici (microanalisi) e continuo Volume di interazione Campione massivo Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 36

37 INTERAZIONE FASCIO DI ELETTRONI-CAMPIONE Elettroni di Back-Scattering Fascio di elettroni Elettroni secondari ELETTRONI SECONDARI (SE): PROVENGONO DA UNO STRATO DI POCHI nm, DERIVANO DALL'INTERAZIONE DEGLI ELETTRONI DEL FASCIO CON QUELLI DEL CAMPIONE Raggi X Campione Elettroni Auger ELETTRONI DI BACK-SCATTERING (BSE): SONO RETRODIFFUSI, DERIVANO DALLE INTERAZIONI DEGLI ELETTRONI DEL FASCIO CON I NUCLEI DEGLI ATOMI DEL CAMPIONE, QUINDI DA STRATI INFERIORI ( m). POSSONO ESSERE CLASSIFICATI IN BASE ALL'ENERGIA CHE HANNO (SE 1,. SE 2 etc. BSE 1, BSE 2 etc.); GLI ELETTRONI SECONDARI HANNO ENERGIA MINORE DI QUELLI RETRODIFFUSI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 37

38 ELETTRONI TRASMESSI, SECONDARI E RETRODIFFUSI INFORMAZIONI OTTENIBILI DAI DIVERSI TIPI DI ELETTRONI: ELETTRONI TRASMESSI (TE): IMAGING (INGRANDIMENTO OGGETTO) O DIFFRAZIONE. ELETTRONI SECONDARI (SE): CONTRASTO TOPOGRAFICO (IMMAGINE SUPERFICIALE) ELETTRONI DI BACK-SCATTERING (BSE): CONTRASTO COMPOSIZIONALE (FUNZIONE DEL NUMERO ATOMICO DELL'ELEMENTO CAMPIONE) NOTA: TRAMITE L'UTILIZZO DI UN RICOPRIMENTO (MgO) POSSO CONVERTIRE GLI ELETTRONI TE IN SE, E RILEVARE I SECONDI (EVITO IL PROBLEMA DI ATTRAVERSAMENTO DEL CAMPIONE DEL SEGNALE IN TRASMISSIONE). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 38

39 MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE (SEM) UN ALTRO TIPO DI MICROSCOPIO ELETTRONICO (PERFEZIONATO INTORNO AL 1964) È IL MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE (SEM), CHE PERMETTE UNA VISIONE TRIDIMENSIONALE DELLE SUPERFICI ESTERNE DELLE STRUTTURE BIOLOGICHE. NEL SEM, INFATTI, IL FASCIO DI ELETTRONI NON ATTRAVERSA IL PREPARATO, COME NEL TEM, MA COLPISCE PUNTI SUCCESSIVI DELLA SUPERFICIE ESTERNA DI UN CAMPIONE IN ESAME. LE IMMAGINI DEL SEM SONO RACCOLTE E REGISTRATE DA UN PARTICOLARE RIVELATORE. IL SEM HA UN LIMITE DI RISOLUZIONE DI 10 nm (QUINDI, HA UN POTERE DI RISOLUZIONE MINORE RISPETTO AL TEM) E OFFRE INGRANDIMENTI DELL IMMAGINE DELL OGGETTO OSSERVATO DI CIRCA 20000x. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 39

40 SCHEMA STRUMENTO (SEM) LA SORGENTE DI ILLUMINAZIONE: IL CANNONE ELETTRONICO IL SISTEMA PER IL VUOTO SPINTO LE LENTI ELETTROMAGNETICHE (1 O PIÙ A SECONDA DELLO STRUMENTO) LE BOBINE DI DEFLESSIONE LA LENTE OBIETTIVO LA CAMERA PORTA-CAMPIONI I RIVELATORI DI SEGNALE IL SISTEMA DI TRASFORMAZIONE DEI SEGNALI IN IMMAGINI Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 40

41 SORGENTE DI ELETTRONI Catodo a filamento di Tungsteno (W) Catodo ad Esaboruro di Lantanio (LaB 6 ) Filamento ripiegato a forma di V con raggio di curvatura 100 m Temperatura di esercizio (K) Corrente emessa (J c = A/cm 2 ) Vuoto richiesto (Pa) Vita media (h) Asta di 16 mm con sezione di 1 mm 2 Catodo a emissione di campo (monocristallo di Tungsteno, W) Raggio di curvatura del cristallo nm Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 41

42 SCHEMA STRUMENTO (SEM) Sorgente Supporto Lente condensatore Lente condensatore Lente obiettivo Segnale al rivelatore Campione LE DUE LENTI CONDENSATORE DIMINUISCONO LE DIMENSIONI DEL FASCIO E LO RENDONO PIÙ COERENTE. LA LENTE OBIETTIVO FOCALIZZA IL FASCIO SUL CAMPIONE, DANDO INFORMAZIONI SULL'ASPETTO, LA NATURA E LE PROPRIETÀ DELLA SUPERFICIE E DEGLI STRATI SOTTOSTANTI. INFATTI SI GENERANO ELETTRONI SECONDARI E DI BACK- SCATTERING. IL RIVELATORE SI TROVA AD UNA CERTA ANGOLAZIONE DALL'ASSE DEL FASCIO-CAMPIONE. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 42

43 LENTI ELETTROMAGNETICHE UNA LENTE ELETTRONICA È FORMATA DA UN NUCLEO CILINDRICO DI FERRO DOLCE CONTENENTE UN AVVOLGIMENTO DI SPIRE DI FERRO. QUANDO VIENE FATTA PASSARE UNA CORRENTE SI GENERA UN CAMPO ELETTRO- MAGNETICO PARALLELO ALL ASSE DELLA LENTE. IL CAMPO, AGENDO SULLA CARICA ELETTRICA DELL ELETTRONE (CARICHE ELETTRICHE IN MOVIMENTO, RISPONDONO ALLA LEGGE DI LORENTZ), DEVIA IL SUO MOTO, FACENDO CONVERGERE LE TRAIETTORIE DEGLI ELETTRONI CON UGUALE ENERGIA IN UN PUNTO CHE DIVENTA IL FUOCO DELLA LENTE. LA VARIAZIONE DELL ENERGIA DEGLI ELETTRONI È L EQUIVALENTE DELL ABERRAZIONE CROMATICA IN OTTICA. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 43

44 SCHEMA ELETTRO-OTTICO TRAIETTORIE ELETTRONICHE LE BOBINE DI DEFLESSIONE PERMETTONO DI EFFETTUARE UNA SCANSIONE DEL FASCIO LUNGO UN AREA DEL CAMPIONE. UNA COPPIA DI BOBINE DEFLETTE IL FASCIO LUNGO L ASSE X, UNA SECONDA COPPIA LUNGO L ASSE Y. IL SISTEMA DI SCANSIONE È SINCRONIZZATO CON IL CON IL SISTEMA DI RACCOLTA E FORMAZIONE DELL IMMAGINE (TUBO A RAGGI CATODICI, CRT). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 44

45 ELETTRONI SECONDARI E RETRODIFFUSI INFORMAZIONI OTTENIBILI DAI DIVERSI TIPI DI ELETTRONI: ELETTRONI SECONDARI (SE): HANNO BASSA ENERGIA E VENGONO FACILMENTE ATTRATTI DAL RIVELATORE (A SCINTILLAZIONE). A SECONDA DELL'ANGOLO TRA FASCIO E SUPERFICIE, E DELL'INTENSITÀ DEL FASCIO POSSONO DARE CONTRASTO TOPOGRAFICO (IMMAGINE SUPERFICIALE ALTO ANGOLO) O CONTRASTO DI COMPOSIZIONE (BASSA ENERGIA). ELETTRONI DI BACK-SCATTERING (BSE): PROVENGONO DA UNA ZONA PIÙ PROFONDA DEL CAMPIONE E LA LORO EMISSIONE DIPENDERÀ FORTEMENTE DAL PESO E DAL NUMERO ATOMICO. ALL'AUMENTARE DELL'ENERGIA DEL FASCIO AUMENTERÀ LA LORO EMISSIONE E POSSO AVERE INFORMAZIONI SUL CONTRASTO COMPOSIZIONALE (FUNZIONE DEL NUMERO ATOMICO DELL'ELEMENTO CAMPIONE). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 45

46 RIVELATORI SEM A SCINTILLAZIONE (PER GLI ELETTRONI SECONDARI): IL RIVELATORE È COSTITUITO DA UN MATERIALE SCINTILLANTE CHE VIENE PORTATO AD UN CERTO POTENZIALE POSITIVO (10 KV) RISPETTO AL CAMPIONE. GLI ELETTRONI VENGONO ACCELERATI VERSO LO SCINTILLATORE, LO IRRAGGIANO E NE PROVOCANO L EMISSIONE DI LUCE. A STATO SOLIDO (PER GLI ELETTRONI RETRODIFFUSI): GLI ELETTRONI CHE DEVONO ESSERE RIVELATI VANNO AD INTERAGIRE ALL INTERNO DEL SEMICONDUTTORE E PRODUCONO DELLE COPPIE ELETTRONE-LACUNA CHE GENERANO UNA CORRENTE ELETTRICA (GIUNZIONE p-n). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 46

47 RIVELATORI A SCINTILLAZIONE GLI ELETTRONI SECONDARI FUORIESCONO DAL CAMPIONE AD ENERGIE MOLTO BASSE, INTORNO AI 50 ev. QUESTE ENERGIE SONO TROPPO PICCOLE PER LA RIVELAZIONE DEGLI ELETTRONI (NON RIESCONO AD ECCITARE UNO SCINTILLATORE), PER QUESTO MOTIVO È NECESSARIO ACCELERARE GLI ELETTRONI SECONDARI FINO AD UNA ENERGIA DI QUALCHE KeV. LO SCINTILLATORE È POSTO A CIRCA 90 RISPETTO ALLA NORMALE DEL CAMPIONE. RIESCE A DISCRIMINARE ELETTRONI SECONDARI E RETRODIFFUSI (FUORIESCONO DAL CAMPIONE AD ALTE ENERGIE, TALI PER CUI LA LORO TRAIETTORIA NON VIENE INCURVATA SIGNIFICATIVAMENTE DAL CAMPO ELETTRICO DOVUTO ALLO SCINTILLATORE, IL QUALE DUNQUE NON RIESCE A RACCOGLIERLI). VEDE LA MORFOLOGIA E LE «OMBRE» DEL CAMPIONE Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 47

48 LIMITI DI RISOLUZIONE DIMENSIONI FASCIO (FUNZIONE DELL'OTTICA ELETTRONICA USATA): DIPENDE DALLA BRILLANZA E DALLE ABERRAZIONI (OLTRE CHE DA FENOMENI DI DIFFRAZIONE) VOLUME DI GENERAZIONE (FUNZIONE DELL'ENERGIA DEL FASCIO E DEL NUMERO ATOMICO) RAPPORTO SEGNALE/RUMORE Spot-size stretto Spot-size largo Spot size piccolo porta ad una maggiore risoluzione ma ho un minor numero di elettroni generati e diminuisce il rapporto segnale rumore: ottengo immagini rumorose che devo filtrare Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 48

49 MINORE È L APERTURA DELLA LENTE OBIETTIVO E MAGGIORE È LA DISTANZA DI LAVORO, MAGGIORE È LA PROFONDITÀ DI FUOCO. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 49

50 IMMAGINI SEM LE IMMAGINI CHE SI OTTENGONO CON LA MICROSCOPIA ELETTRONICA SONO NEI VARI TONI DEL GRIGIO; PERTANTO, EVENTUALI COLORAZIONI SONO IL RISULTATO DI MODIFICAZIONI APPORTATE NELL ELABORAZIONE DELLE STESSE. Immagine SEM di granelli di polline Immagine SEM di un fiocco di neve Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 50

51 IMMAGINI SEM Filtro con particolato urbano Cimice Alga Chlamydomonas Granuli di quarzo utilizzati per sabbiare le superfici metalliche Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 51

52 PREPARAZIONE CAMPIONI SEM SI POSSONO USARE CAMPIONI CONDUTTORI O NON CONDUTTORI, MA NEL SECONDO CASO BISOGNA RENDERLI CONDUTTORI PER: METALLIZZAZIONE SUPERFICIALE: TRAMITE DEPOSIZIONE DI UNO STRATO SOTTILE DI ORO O CARBONIO (10-20 nm) BOMBARDAMENTO AD ULTRA ALTO VUOTO CON RADICALI Ar (ACCUMULO DI CARICHE SULLA SUPERFICIE) IN ENTRAMBI I CASI SI HA UNA ALTERAZIONE DEL CAMPIONE, IRREVERSIBILE. IL RICOPRIMENTO DEI CAMPIONI ISOLANTI EVITA L'ECCESSIVO CARICAMENTO ELETTRICO NEL MATERIALE. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 52

53 PREPARAZIONE DEL CAMPIONE STABILIZZAZIONE - FISSAGGIO E DEIDRATAZIONE PREPARAZIONE DELLA SUPERFICIE - PULIZIA MONTAGGIO CAMPIONE SU UNA MATRICE (SEM) CAMERA PORTA CAMPIONI DISCHI DI ALLUMINIO: mm, MONTAGGIO SUL PORTA CAMPIONE CON ADESIVO O PASTA D ARGENTO. I CAMPIONI DEVONO ESSERE COMPLETAMENTE PRIVI DI QUALUNQUE MATERIALE CHE POSSA VAPORIZZARE IN VUOTO COME ACQUA, SOLVENTI ED ALTRI MATERIALI (DISIDRATAZIONE CON ALCOOL). Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 53

54 ESSICCAMENTO CAMPIONI BIOLOGICI L ESSICCAMENTO AD ARIA PUÒ DANNEGGIARE I CAMPIONI A CAUSA DELLA TENSIONE SUPERFICIALE L ESSICCAMENTO DA PUNTO CRITICO (CRITICAL POINT DRYING, CPD) È UNA TECNICA DI ESSICCAMENTO USATA PER PREVENIRE DANNI SUI CAMPIONI BIOLOGICI. LA TENSIONE SUPERFICIALE È EVITATA ESSICCANDO IL CAMPIONE CON UNA SOLUZIONE (L'ANIDRIDE CARBONICA È LA SOSTANZA IL PIÙ FREQUENTEMENTE USATA) CHE È PORTATA DA UN LIQUIDO SUBCRITICO A LIQUIDO IPERCRITICO EVITANDO UN PASSAGGIO LIQUIDO-GAS PERCHÉ LE DENSITÀ DEL GAS E DEL LIQUIDO SONO EQUIVALENTI. Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 54

55 ESEMPIO SEM CAMPIONI BIOLOGICI 850x Immagine SEM Petalo di Rosa (CPD) Immagine SEM Petalo di Rosa fissato e seccato all aria Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 55

56 VANTAGGI DEL SEM DA INDICAZIONI SU: MORFOLOGIA DELLA SUPERFICIE DEL CAMPIONE COMPOSIZIONE CHIMICO FISICA DIFETTOSITÀ ELETTRICHE CONTAMINAZIONE DELLE SUPERFICI MISURA DEI POTENZIALI SUPERFICIALI ALTA RISOLUZIONE (LIMITE 2 nm) ALTI INGRANDIMENTI (FINO A x) ALTA PROFONDITÀ DI CAMPO FACILE PREPARAZIONE DEL CAMPIONE Profondità di campo: Intervallo, misurato lungo l asse ottico (asse z nel microscopio), entro il quale si può spostare il campione senza che la sua immagine appaia fuori fuoco Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 56

57 CONFRONTO TRA MICROSCOPIE Microscopia Ottica SEM TEM Range di ingrandimento Risoluzione Ordinaria 5 mm 0,1mm 5 nm Per osservazioni accurate 0,2 mm 20 nm 1nm Limite 0,1 mm 1nm 0,2 nm Profondità di campo 0,1 mm a 10x 10 mm a 10x limitata allo spessore del film 1 mm a 100x 1 mm a 100x limitata allo spessore del film Ambiente versatile richiede il vuoto (0,03 Pa) richiede il vuoto (0,03 Pa) Corso di Chimica delle Superfici ed Interfasi - G. Fioravanti 57